輪廓儀對精密加工的意義現(xiàn)代化高新技術(shù)的飛速發(fā)展離不開硬件設(shè)施和軟件系統(tǒng)的配套支持，在精密加工領(lǐng)域同樣如此，雖然我們在生活中不曾注意到超精密加工產(chǎn)品的“身影”,，但是它卻與我們的生活息息相關(guān),。例如在光學(xué)玻璃、集成電路,、汽車零部件,、機器人和新器件、航空航天材料,、國fang jun工設(shè)備等領(lǐng)域,，都需要對加工的成品進行檢測，從物體表面光滑到粗糙的參數(shù),，其中包含了從納米到微米級別的輪廓,、線粗糙度,、面粗糙度等二維、三維參數(shù),，作為評定該物件是否合格的標(biāo)準(zhǔn),。因此光學(xué)輪廓儀應(yīng)運而生，以下是表面三維輪廓儀對精密加工的作用：在共焦圖像中,，通過多珍孔盤的操作濾除模糊細(xì)節(jié)（未聚焦）,，只有來自聚焦平面的光到達CCD相機。廣東碳化硅輪廓儀

輪廓儀的物鏡知多少?白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,，以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,，典型結(jié)果包括：表面形貌（粗糙度，平面度,，平行度,，臺階高度，錐角等）幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸,，曲率半徑,，特征區(qū)域的面積和集體，特征圖形的位置和數(shù)量等）白光干涉系統(tǒng)基于無限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng),，通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,，使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。因此物鏡是輪廓儀蕞河心的部件,，物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求,，為了滿足各種精度的需求，需要提供各種物鏡,，例如標(biāo)配的10×,，還有2.5×，5×,，20×,，50×，100×,，可選,。不同的鏡頭價格有很大的差別，因此需要量力根據(jù)需求選配對應(yīng)的鏡頭哦,。晶圓片輪廓儀干涉測量應(yīng)用輪廓儀可用于：散熱材料表面粗糙度分析（粗糙度控制）,，生物、醫(yī)藥新技術(shù),，微流控器件,。

1）白光輪廓儀的典型應(yīng)用：對各種產(chǎn)品，不見和材料表面的平面度,，粗糙度,，波溫度,，面型輪廓，表面缺陷,，磨損情況,，腐蝕情況，孔隙間隙,，臺階高度,，完全變形情況，加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。2）共聚焦顯微鏡方法共聚焦顯微鏡包括LED光源,、旋轉(zhuǎn)多珍孔盤、帶有壓電驅(qū)動器的物鏡和CCD相機,。LED光源通過多珍孔盤（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面上,，從而反射光。反射光通過MPD的珍孔減小到聚焦的部分落在CCD相機上,。傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細(xì)節(jié),，但是在共焦圖像中，通過多珍孔盤的操作濾除模糊細(xì)節(jié)（未聚焦）,，只有來自聚焦平面的光到達CCD相機,。因此，共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內(nèi)獲得高分辨率,。每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片,，在不同的焦點高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊，共焦顯微鏡通過壓電驅(qū)動器和物鏡的精確垂直位移來實現(xiàn),。200到400個共焦圖像通常在幾秒內(nèi)被捕獲,，之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像。

輪廓儀是一種兩坐標(biāo)測量儀器,，儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行,，傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化，在X和Z方向分別采樣,，并轉(zhuǎn)換成電信號,，該電信號經(jīng)放大和處理，再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號儲存在計算機系統(tǒng)的存儲器中,，計算機對原始表而輪廓進行數(shù)字濾波,，分離掉表而粗糙度成分后再進行計算，測量結(jié)果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準(zhǔn)點的坐標(biāo),，或放大的實際輪廓曲線，測量結(jié)果通過顯示器輸出,，也可由打印機輸出,。（來自網(wǎng)絡(luò)）輪廓儀在集成電路的應(yīng)用：封磚Bump測量視場：72*96（um）物鏡：干涉50X檢測位置：樣品局部面減薄表面粗糙度分析封裝：300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析面粗糙度分析：2D,3D顯示,；線粗糙度分析：Ra,Ry，Rz,，…器件多層結(jié)構(gòu)臺階高MEMS器件多層結(jié)構(gòu)分析,、工藝控制參數(shù)分析激光隱形切割工藝控制世界微一的能夠?qū)崿F(xiàn)激光槽寬度、深度自動識別和數(shù)據(jù)自動生成,，大達地縮短了激光槽工藝在線檢測的時間,，避免人工操作帶來的一致性，可靠性問題反射光通過MPD的珍孔減小到聚焦的部分落在CCD相機上,。

NanoX-80003D輪廓測量主要技術(shù)參數(shù)3D測量主要技術(shù)指標(biāo)（1）：測量模式：PSI+VSI+CSIZ軸測量范圍：大行程PZT掃描（300um標(biāo)配/500um選配）10mm精密電機拓展掃描CCD相機：1920x1200高速相機（標(biāo)配）干涉物鏡：（標(biāo)配）,20X,50X,100X(NIKON)物鏡切換：5孔電動鼻切換FOV：1100x700um(10X物鏡),220x140um(50X物鏡)Z軸聚焦：高精密直線平臺自動聚焦照明系統(tǒng)：高效長壽白光LED+濾色鏡片電動切換（綠色/藍色）傾斜調(diào)節(jié)：±5°電動調(diào)節(jié)橫向分辨率：≥μm（與所配物鏡有關(guān)）3D測量主要技術(shù)指標(biāo)（2）：垂直掃描速度：PSI:<10s,，VSI/CSI：<38um/s高度測量范圍：–10mm表面反射率：>(1σ)臺階高重復(fù)性：(1σ)VSI/CSI：垂直分辨率<(1σ，10um臺階高),。表面形貌（粗糙度,，平面度，平行度,，臺階高度,，錐角等）。碳化硅輪廓儀參數(shù)

粗糙度儀的功能是測量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量,。廣東碳化硅輪廓儀

輪廓儀,，能描繪工件表面波度與粗糙度，并給出其數(shù)值的儀器,，采用精密氣浮導(dǎo)軌為直線基準(zhǔn),。輪廓測試儀是對物體的輪廓、二維尺寸,、二維位移進行測試與檢驗的儀器,，作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分廣范。（來自網(wǎng)絡(luò)）先進的輪廓儀集成模塊60年世界水平半導(dǎo)體檢測技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗所有的關(guān)鍵硬件采用美國,、德國,、日本等PI，納米移動平臺及控制Nikon,，干涉物鏡NI,，信號控制板和Labview64控制軟件TMC隔震平臺世界先進水平的計算機軟硬件技術(shù)平臺VS2012/64位。廣東碳化硅輪廓儀