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3D形貌輪廓儀自動化測量

來源: 發(fā)布時(shí)間:2023-12-30

輪廓儀,,能描繪工件表面波度與粗糙度,,并給出其數(shù)值的儀器,采用精密氣浮導(dǎo)軌為直線基準(zhǔn),。輪廓測試儀是對物體的輪廓,、二維尺寸、二維位移進(jìn)行測試與檢驗(yàn)的儀器,,作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分廣范,。(來自網(wǎng)絡(luò))先進(jìn)的輪廓儀集成模塊60年世界水平半導(dǎo)體檢測技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗(yàn)所有的關(guān)鍵硬件采用美國,、德國、日本等PI,,納米移動平臺及控制Nikon,,干涉物鏡NI,信號控制板和Labview64控制軟件TMC隔震平臺世界先進(jìn)水平的計(jì)算機(jī)軟硬件技術(shù)平臺VS2012/64位,,.NET/C#/WPFIntelXeon計(jì)算機(jī)在共焦圖像中,,通過多珍孔盤的操作濾除模糊細(xì)節(jié)(未聚焦),只有來自聚焦平面的光到達(dá)CCD相機(jī),。3D形貌輪廓儀自動化測量

3D形貌輪廓儀自動化測量,輪廓儀

輪廓儀,,能描繪工件表面波度與粗糙度,并給出其數(shù)值的儀器,,采用精密氣浮導(dǎo)軌為直線基準(zhǔn),。輪廓測試儀是對物體的輪廓、二維尺寸,、二維位移進(jìn)行測試與檢驗(yàn)的儀器,,作為精密測量儀器,在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分廣范,。(來自網(wǎng)絡(luò))先進(jìn)的輪廓儀集成模塊60年世界水平半導(dǎo)體檢測技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗(yàn)所有的關(guān)鍵硬件采用美國,、德國、日本等PI,,納米移動平臺及控制Nikon,,干涉物鏡NI,信號控制板和Labview64控制軟件TMC隔震平臺世界先進(jìn)水平的計(jì)算機(jī)軟硬件技術(shù)平臺VS2012/64位,,.NET/C#/WPFIntelXeon計(jì)算機(jī)中端輪廓儀測量模式:移相干涉(PSI),,白光垂直掃描干涉(VSI),單色光垂直掃描干涉(CSI),。

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輪廓儀的自動拼接功能:條件:被測區(qū)域明顯大于視場的區(qū)域,,使用自動圖片拼接。需要點(diǎn)擊自動拼接,,輪廓儀會把移動路徑上的拍圖自動拼接起來,。軟件會自適應(yīng)計(jì)算路徑上移動的偏差,自動消除移動中偏差,,減小誤差。但是誤差是一定存在的,。白光輪廓儀的典型應(yīng)用:對各種產(chǎn)品,,不見和材料表面的平面度,粗糙度,,波溫度,,面型輪廓,,表面缺陷,磨損情況,,腐蝕情況,,孔隙間隙,臺階高度,,完全變形情況,,加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

輪廓儀是用容易理解的機(jī)械技術(shù)測量薄膜厚度,。它的工作原理是測量測量劃過薄膜的檢測筆的高度(見右圖),。輪廓儀的主要優(yōu)點(diǎn)是可以測量所有固體膜,包括不透明的厚金屬膜,。更昂貴的系統(tǒng)能測繪整個(gè)表面輪廓,。(有關(guān)我們的低成本光學(xué)輪廓儀的資訊,請點(diǎn)擊這里).獲取反射光譜指南然而輪廓儀也有不足之處,。首先,,樣本上必須有個(gè)小坎才能測量薄膜厚度,而小坎通常無法很標(biāo)準(zhǔn)(見圖),。這樣,,標(biāo)定誤差加上機(jī)械漂移造成5%-10%的測量誤差。與此相比,,光譜反射儀使用非接觸技術(shù),,不需要任何樣本準(zhǔn)備就可以測量厚度。只需一秒鐘分析從薄膜反射的光就可確定薄膜厚度和折射率,。光譜反射儀還可以測量多層薄膜,。輪廓儀和光譜反射儀的主要優(yōu)點(diǎn)列表于下。如需更多光譜反射儀信息請?jiān)L問岱美儀器的官網(wǎng),。通過光學(xué)表面三維輪廓儀的掃描檢測,,得出物件的誤差和超差參數(shù),大達(dá)提高物件在生產(chǎn)加工時(shí)的精確度,。

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NanoX-系列產(chǎn)品PCB測量應(yīng)用測試案例測量種類?基板ASoldMask3D形貌,、尺寸?基板ASoldMask粗糙度?基板A綠油區(qū)域3D形貌?基板A綠油區(qū)域Pad粗糙度?基板A綠油區(qū)域粗糙度?基板A綠油區(qū)域pad寬度?基板ATrace3D形貌和尺寸?基板B背面PadNanoX-8000系統(tǒng)主要性能?菜單式系統(tǒng)設(shè)置,一鍵式操作,,自動數(shù)據(jù)存儲?一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)?支持連接MES系統(tǒng),,數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC?具備異常報(bào)警,急停等功能,,報(bào)警信息可儲存?MTBF≥1500hrs?產(chǎn)能:45s/點(diǎn)(移動+聚焦+測量)(掃描范圍50um)?具備Globalalignment&Unitalignment?自動聚焦范圍:±0.3mm?XY運(yùn)動速度蕞快產(chǎn)能 : 45s/點(diǎn) (移動 + 聚焦 + 測量)(掃描范圍 50um),。高校輪廓儀用途是什么

儀器運(yùn)用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計(jì),不受外部環(huán)境影響測量的準(zhǔn)確性,。3D形貌輪廓儀自動化測量

filmOnline查film3D圖像並與其互動.請參考我們新型光學(xué)輪廓儀!film3D使得光學(xué)輪廓測量更易負(fù)擔(dān)蕞后,,表面粗糙度和表面形貌測量可以用比探針式輪廓儀成本更低的儀器來進(jìn)行,。film3D具有3倍於于其成本儀器的次納米級垂直分辨率,film3D同樣使用了現(xiàn)今蕞高 分辨率之光學(xué)輪廓儀的測量技術(shù)包含白光干涉(WSI)及相移干涉(PSI)。索取技術(shù)資料索取報(bào)價(jià)這就是您需要的解析力Thefilm3D的直觀軟件包括表面粗糙度,,形狀和臺階高度的測量,。在數(shù)秒內(nèi),您可以獲得平面和曲面表面上測量所有常見的粗糙度參數(shù),。也可以選擇拼接功能軟件升級來組合多個(gè)影像以提供大面積測量,。蕞新!免廢的網(wǎng)路3D影像瀏覽/分析filmOnline可存儲、共享,、查看與分析來自您的光學(xué)輪廓儀或3D顯微鏡之3D影像,。任何臺式電腦,平板電腦或智能手機(jī)上都能查看和操作,。享受權(quán)面的圖像分析功能,,包括表面輪廓(粗糙度)和階高 分析。其他輪廓儀列為選備的功能已經(jīng)是我們的標(biāo)準(zhǔn)配備為什么需要額外支付每位使用者所需要的功能,?每film3D都已標(biāo)配自動化X/Y平臺包含tip/tilt功能,。以我們的階高標(biāo)準(zhǔn)片建立標(biāo)準(zhǔn)每film3D配備了一個(gè)10微米階高標(biāo)準(zhǔn)片,可達(dá)%準(zhǔn)確度,。另我們還提供具有100nm,,2微米以及4微米等多階高標(biāo)準(zhǔn)片。3D形貌輪廓儀自動化測量