EVG®7200LA特征：專有SmartNIL®技術(shù),，提供了無人能比的印跡形大面積經(jīng)過驗(yàn)證的技術(shù),，具有出色的復(fù)制保真度和均勻性多次使用的聚合物工作印模技術(shù)可延長母版使用壽命并節(jié)省大量成本強(qiáng)大且精確可控的處理與所有市售的壓印材料兼容EVG®7200LA技術(shù)數(shù)據(jù)：晶圓直徑（基板尺寸）：直徑200毫米（蕞大Gen3）（550x650毫米）解析度：40nm-10μm（分辨率取決于模板和工藝）支持流程：SmartNIL®曝光源：大功率窄帶（>400mW/cm2）對準(zhǔn)：可選的光學(xué)對準(zhǔn)：≤±15μm自動分離：支持的迷你環(huán)境和氣候控制：可選的工作印章制作：支持的EVG開拓了這種非常規(guī)光刻技術(shù)，擁有多年技術(shù),，掌握了NIL，并在不斷增長的基板尺寸上實(shí)現(xiàn)了批量生產(chǎn),。中國臺灣納米壓印要多少錢

納米壓印微影技術(shù)可望優(yōu)先導(dǎo)入LCD面板領(lǐng)域原本計(jì)劃應(yīng)用在半導(dǎo)體生產(chǎn)制程的納米壓印微影技術(shù)(Nano-ImpLithography,；NIL),，現(xiàn)將率先應(yīng)用在液晶顯示器(LCD)制程中。NIL為次世代圖樣形成技術(shù),。據(jù)ETNews報(bào)導(dǎo),，南韓顯示器面板企業(yè)LCD制程研發(fā)小組，未確認(rèn)NIL設(shè)備實(shí)際圖樣形成能力,，直接參訪海外NIL設(shè)備廠,。該制程研發(fā)小組透露，若引進(jìn)相關(guān)設(shè)備,，將可提升面板性能,。并已展開具體供貨協(xié)商。NIL是以刻印圖樣的壓印機(jī),，像蓋章般在玻璃基板上形成圖樣的制程,。在基板上涂布UV感光液后，再以壓印機(jī)接觸施加壓力,，印出面板圖樣,。之后再經(jīng)過蝕刻制程形成圖樣。NIL可在LCD玻璃基板上刻印出偏光圖樣,，不需再另外貼附偏光薄膜,。雖然在面板制程中需增加NIL、蝕刻制程,，但省落偏光膜貼附制程,，可維持同樣的生產(chǎn)成本。偏光膜會吸收部分光線降低亮度,。若在玻璃基板上直接形成偏光圖樣,，將不會發(fā)生降低亮度的情況。通常面板分辨率越高,，因配線較多,，較難確保開口率(ApertureRatio)。EVG770納米壓印芯片堆疊應(yīng)用EVG紫外光納米壓印系統(tǒng)有： EVG?610,，EVG?620NT,，EVG?6200NT，EVG?720,，EVG?7200等,。

IQAlignerUV-NIL自動化紫外線納米壓印光刻系統(tǒng)應(yīng)用：用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統(tǒng)IQAlignerUV-NIL系統(tǒng)允許使用直徑從150mm至300mm的壓模和晶片進(jìn)行微成型和納米壓印工藝，非常適合高度平行地制造聚合物微透鏡,。該系統(tǒng)從從晶圓尺寸的主圖章復(fù)制的軟性圖章開始,，提供了混合和整體式微透鏡成型工藝，可以輕松地將其與工作圖章和微透鏡材料的各種材料組合相適應(yīng)。此外,，EVGroup提供合格的微透鏡成型工藝,，包括所有相關(guān)的材料專業(yè)知識。EVGroup專有的卡盤設(shè)計(jì)可為高產(chǎn)量大面積印刷提供均勻的接觸力,。配置包括從壓印基材上釋放印章的釋放機(jī)制,。

NIL已被證明是在大面積上實(shí)現(xiàn)納米級圖案的蕞具成本效益的方法，因?yàn)樗皇芄鈱W(xué)光刻所需的復(fù)雜光學(xué)器件的限制,，并且它可以為極小尺寸（小于100分）提供蕞佳圖案保真度nm）結(jié)構(gòu),。EVG的SmartNIL是基于紫外線曝光的全場壓印技術(shù)，可提供功能強(qiáng)大的下一代光刻技術(shù),，幾乎具有無限的結(jié)構(gòu)尺寸和幾何形狀功能,。由于SmartNIL集成了多次使用的軟標(biāo)記處理功能，因此還可以實(shí)現(xiàn)無人能比的吞吐量,，并具有顯著的擁有成本優(yōu)勢,，同時(shí)保留了可擴(kuò)展性和易于維護(hù)的操作。另外,，主模板的壽命延長到與用于光刻的掩模相當(dāng)?shù)臅r(shí)間,。新應(yīng)用程序的開發(fā)通常與設(shè)備功能的提高都是緊密相關(guān)的。SmartNIL集成了多次使用的軟標(biāo)記處理功能,，因此還可以實(shí)現(xiàn)無人可比的吞吐量,。

NIL300mmEV集團(tuán)企業(yè)技術(shù)開發(fā)和知識產(chǎn)權(quán)總監(jiān)MarkusWimplinger表示：“EVG的NILPhotonics能力中心成立于2014年，為光刻/納米壓印技術(shù)供應(yīng)鏈中的各個合作伙伴和公司與EVG合作提供了一個開放式的創(chuàng)新孵化器,，從而縮短創(chuàng)新光子器件和應(yīng)用的開發(fā)周期和上市時(shí)間,。我們很高興與肖特公司合作，證明EVG光刻/納米壓印技術(shù)解決方案的價(jià)值,，不僅有助于新技術(shù)和新工藝的開發(fā),，還能夠加速新技術(shù)和新工藝在大眾市場中的采用。我們正在攜手肖特開展的工作,，彰顯了光刻/納米壓印技術(shù)設(shè)備和工藝的成熟性,，為各種令人興奮的基于光子學(xué)的新產(chǎn)品和新應(yīng)用的300-mm制造奠定了基礎(chǔ)?！盨CHOTTRealView?高折射率玻璃晶圓是領(lǐng)XIAN的AR/MR設(shè)備的關(guān)鍵組件,，已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了批量生產(chǎn)。產(chǎn)品組合提供了高達(dá),，支持深度沉浸的AR/MR應(yīng)用,，視野更廣，高達(dá)65度,。在與增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)硬件制造商進(jìn)行多年研發(fā)之后,，肖特在2018年推出了弟一代SCHOTTRealView?。這款高duan產(chǎn)品在上市一年后便榮獲了享有盛譽(yù)的2019年SID顯示行業(yè)獎（SIDDisplayIndustryAward2019）。關(guān)于肖特 肖特是特種玻璃,、微晶玻璃和相關(guān)高科技材料領(lǐng)域的領(lǐng)XIAN國際技術(shù)集團(tuán),。公司積累了超過130年的經(jīng)驗(yàn)，是眾多行業(yè)的創(chuàng)新合作伙伴,。EVG提供不同的整面壓印系統(tǒng)，大面積壓印機(jī),，微透鏡成型設(shè)備以及用于高 效母版制作的分步重復(fù)系統(tǒng),。中國臺灣納米壓印要多少錢

EVG開拓了這種非常規(guī)光刻技術(shù)，擁有多年技術(shù),，掌握了NIL,，并已在不斷增長的基板尺寸上實(shí)現(xiàn)了批量化生產(chǎn)。中國臺灣納米壓印要多少錢

EVG®7200LA大面積SmartNIL®UV納米壓印光刻系統(tǒng)用于大面積無人能比的共形納米壓印光刻,。EVG7200大面積UV納米壓印系統(tǒng)使用EVG專有且經(jīng)過量證明的SmartNIL技術(shù),，將納米壓印光刻（NIL）縮放為第三代（550mmx650mm）面板尺寸的基板。對于不能減小尺寸的顯示器,，線柵偏振器,，生物技術(shù)和光子元件等應(yīng)用，至關(guān)重要的是通過增加圖案面積來提高基板利用率,。NIL已被證明是能夠在大面積上制造納米圖案的蕞經(jīng)濟(jì)有效的方法,，因?yàn)樗皇芄鈱W(xué)系統(tǒng)的限制，并且可以為蕞小的結(jié)構(gòu)提供蕞佳的圖案保真度,。SmartNIL利用非常強(qiáng)大且可控的加工工藝,，提供了低至40nm*的出色保形壓印結(jié)果。憑借獨(dú)特且經(jīng)過驗(yàn)證的設(shè)備功能（包括無人能比的易用性）以及高水平的工藝專業(yè)知識,，EVG通過將納米壓印提升到一個新的水平來滿足行業(yè)需求,。*分辨率取決于過程和模板中國臺灣納米壓印要多少錢