輪廓儀對所測樣品的尺寸有何要求,？答：輪廓儀對載物臺xy行程為140*110mm（可擴(kuò)展），Z向測量范圍蕞大可達(dá)10mm,，但由于白光干涉儀單次測量區(qū)域比較?。ㄒ?0X鏡頭為例，在1mm左右）,，因而在測量大尺寸的樣品時,，全檢的方式需要進(jìn)行拼接測量，檢測效率會比較低,，建議尋找樣品表面的特征位置或抽取若干區(qū)域進(jìn)行抽點檢測,，以單點或多點反映整個面的粗糙度參數(shù)；4.測量的蕞小尺寸是否可以達(dá)到12mm,，或者能夠測到更小的尺寸,？如果需要了解更多，還請訪問岱美儀器的官網(wǎng),。輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用,。北京晶圓輪廓儀

強大的輪廓儀光電一體軟件美國硅谷研發(fā)、中英文自由切換光機電一體化軟硬件集成三維分析處理迅速,，結(jié)果實時更新縮放,、定位、平移,、旋轉(zhuǎn)等三維圖像處理自主設(shè)定測量閾值,，三維處理自動標(biāo)注測量模式可根據(jù)需求自由切換三維圖像支持高清打印菜單式參數(shù)設(shè)置，一鍵式操作,，人機界面?zhèn)€性直觀個性化軟件應(yīng)用支持可進(jìn)行軟件在線升級和遠(yuǎn)程支持服務(wù)10年硅谷世界500強研發(fā)經(jīng)驗（BDMedicalInstrument）光學(xué)測量,、軟件系統(tǒng)岱美儀器將為您提供全程的服務(wù)。北京晶圓輪廓儀當(dāng)激光或光電傳感器沿著物體表面移動時,，輪廓儀會記錄下物體表面的高度或位置信息,。

輪廓儀,、粗糙度儀、三坐標(biāo)的區(qū)別關(guān)于輪廓儀和粗糙度儀輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品,，輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀,，比如：汽車零件中的溝槽的槽深、槽寬,、倒角（包括倒角位置,、倒角尺寸、角度等）,，圓柱表面素線的直線度等參數(shù),。總之,，輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓,。粗糙度儀的功能是測量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量，通俗地講,，就是零件表面加工得光不光（粗糙度老國標(biāo)叫光潔度）,，即粗糙度反映的是零件加工表面的微觀情況。關(guān)于三坐標(biāo)測量輪廓度及粗糙度三坐標(biāo)測量機是不能測量粗糙度的,，至于測量零件的表面輪廓,，要視三坐標(biāo)的測量精度及零件表面輪廓度的要求了，如果你的三坐標(biāo)測量機精度比較高,，但零件輪廓度要求不可,，是可以用三坐標(biāo)來代替的。一般三坐標(biāo)精度都在2-3um左右,，而輪廓儀都在2um以內(nèi),，還有就是三坐標(biāo)可以測量大尺寸零件的輪廓,，因為它有龍門式三坐標(biāo)和關(guān)節(jié)臂三坐標(biāo),，而輪廓儀主要是用來測量一些小的精密零件輪廓尺寸的，加上粗糙度模塊也可以測量粗糙度,。

一,、從根源保障物件成品的準(zhǔn)確性：通過光學(xué)表面三維輪廓儀的掃描檢測，得出物件的誤差和超差參數(shù),，積大提高物件在生產(chǎn)加工時的精確度,。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應(yīng)”，造成下游生產(chǎn)加工的更大偏離,，蕞終導(dǎo)致整個生產(chǎn)鏈更大的損失,。二、提高效率：智能化檢測,，全自動測量,，檢測時只需將物件放置在載物臺,，然后在檢定軟件上選擇相關(guān)參數(shù)，即可一鍵分析批量測量,。擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力,，精確度低的缺點，積大提高加工效率,。由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小,，任何微小的黏附異物和下次均會導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺 陷。

    白光干涉輪廓儀對比激光共聚焦輪廓儀白光干涉3D顯微鏡：干涉面成像,，多層垂直掃描蕞好高度測量精度：<1nm高度精度不受物鏡影響性價比好,。激光共聚焦3D顯微鏡：點掃描合成面成像，多層垂直掃描Keyence（日本）蕞好高度測量精度：～10nm高度精度由物鏡決定,，1um精度@10倍90萬-130萬三維光學(xué)輪廓儀采用白光軸向色差原理（性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀）對樣品表面進(jìn)行快速,、重復(fù)性高、高分辨率的三維測量,，測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌,，臺階高度，給MEMS,、半導(dǎo)體材料,、太陽能電池、醫(yī)療工程,、制藥,、生物材料，光學(xué)元件,、陶瓷和先進(jìn)材料的研發(fā)和生產(chǎn)提供了一個精確的,、價格合理的計量方案。（來自網(wǎng)絡(luò)）,。 NanoX-8000隔振系統(tǒng)：集成氣浮隔振 + 大理石基石,。湖北輪廓儀質(zhì)保期多久

光學(xué)系統(tǒng)：同軸照明無限遠(yuǎn)干涉成像系統(tǒng)。北京晶圓輪廓儀

涵蓋面廣的2D,、3D形貌參數(shù)分析：表面三維輪廓儀可測量300余種2D,、3D參數(shù)，無論加工的物件使用哪一種評定標(biāo)準(zhǔn),，都可以提供權(quán)面的檢測結(jié)果作為評定依據(jù),，可輕松獲取被測物件精確的線粗糙度、面粗糙度,、輪廓度等參數(shù),。四、穩(wěn)定性強,，高重復(fù)性：儀器運用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計,，不受外部環(huán)境影響測量的準(zhǔn)確性,。超精密的Z向掃描模塊和測量軟件完美結(jié)合，保證高重復(fù)性,，將測量誤差降低到亞納米級別,。三維表面輪廓儀是精密加工領(lǐng)域必不可少的檢測設(shè)備，它既保障了生產(chǎn)加工的準(zhǔn)確性,，又提高了成品的出產(chǎn)效率,，滿足用戶對各項2D，3D參數(shù)檢測需求的同時,，還依然能夠保持高重復(fù)性,，高穩(wěn)定性的運行，其對精密加工所產(chǎn)生的的作用是舉足輕重的,。北京晶圓輪廓儀