隨著時(shí)代的發(fā)展，輪廓儀也越來重要了，不少的產(chǎn)品檢測(cè)都需要通過輪廓儀進(jìn)行檢測(cè),，金日就讓我們來了解一下輪廓儀的工作原理與應(yīng)用吧。輪廓儀工作原理輪廓儀是一種雙坐標(biāo)測(cè)量?jī)x器,。儀器傳感器相對(duì)于測(cè)量的工件臺(tái)以恒定速度滑動(dòng),。傳感器的觸針檢測(cè)測(cè)量?jī)x表的幾何變化，并分別在X和Z方向上對(duì)其進(jìn)行采樣,，并將其轉(zhuǎn)換為電信號(hào),。電信號(hào)被放大和處理，然后轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)并存儲(chǔ)在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的存儲(chǔ)器中,。計(jì)算機(jī)以數(shù)字方式過濾原始表格的輪廓,，分離表面并計(jì)算粗糙度分量,，測(cè)量結(jié)果為計(jì)算符號(hào)。某個(gè)曲線的實(shí)際值及其與參考點(diǎn)的坐標(biāo),，或放大的實(shí)際輪廓曲線。測(cè)量結(jié)果通過顯示器輸出,，也可以由打印機(jī)輸出,。輪廓儀應(yīng)用輪廓儀廣范用于機(jī)械加工、汽車,、摩托車,、精密五金、精密工具,、刀 具,、模具、光學(xué)元件等行業(yè)適用于研究機(jī)構(gòu),、大學(xué),、計(jì)量機(jī)構(gòu)和企業(yè)計(jì)量室。在汽車,，摩托車和制冷行業(yè),，它可以測(cè)量活塞，活塞銷,，齒輪的總線參數(shù)和汽車,，摩托車和壓縮機(jī)的閥門柱塞，可以測(cè)量各種傾斜部件的參數(shù),。在軸承工業(yè)中,，內(nèi)護(hù)套環(huán)的密封槽的形狀（角度，倒角R,，槽深,，槽寬等）；各種滾子軸承的滾子和套圈母線的冠部,，角度和對(duì)數(shù)曲線,；電機(jī)軸，圓柱銷,，活塞銷,，滾針軸承，圓柱滾子軸承,。輪廓儀可用于藍(lán)寶石拋光工藝表面粗糙度分析（粗拋與精拋比較）,。3D形貌輪廓儀技術(shù)原理

輪廓儀的性能測(cè)量模式：移相干涉（PSI），白光垂直掃描干涉（VSI）,，單色光垂直掃描干涉（CSI）樣品臺(tái)：150mm/200mm/300mm樣品臺(tái)（可選配）XY平移：±25mm/150mm/200mm/300mm,，傾斜：±5°可選手動(dòng)/電動(dòng)樣品臺(tái)CCD相機(jī)像素：標(biāo)配：1280×960視場(chǎng)范圍：560×750um（10×物鏡）具體視場(chǎng)范圍取決于所配物鏡及CCD相機(jī)光學(xué)系統(tǒng)：同軸照明無限遠(yuǎn)干涉成像系統(tǒng)光源：高效LEDZ方向聚焦80mm手動(dòng)聚焦（可選電動(dòng)聚焦）Z方向掃描范圍精密PZT掃描(可選擇高精密機(jī)械掃描，拓展達(dá)10mm)縱向分辨率＜0.1nmRMS重復(fù)性*0.005nm，1σ臺(tái)階測(cè)量**準(zhǔn)確度≤0.75％,；重復(fù)性≤0.1%,，1σ橫向分辨率≥0.35um（100倍物鏡）檢測(cè)速度≤35um/sec,與所選的CCD3D形貌輪廓儀技術(shù)原理表面三維微觀形貌的測(cè)量方法非常豐富，通?？煞譃榻佑|式和非接觸式兩種,，其中以非接觸式測(cè)量方法為主。

NanoX-系列產(chǎn)品PCB測(cè)量應(yīng)用測(cè)試案例測(cè)量種類?基板ASoldMask3D形貌,、尺寸?基板ASoldMask粗糙度?基板A綠油區(qū)域3D形貌?基板A綠油區(qū)域Pad粗糙度?基板A綠油區(qū)域粗糙度?基板A綠油區(qū)域pad寬度?基板ATrace3D形貌和尺寸?基板B背面PadNanoX-8000系統(tǒng)主要性能?菜單式系統(tǒng)設(shè)置,，一鍵式操作，自動(dòng)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)?一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)?支持連接MES系統(tǒng),，數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC?具備異常報(bào)警,，急停等功能，報(bào)警信息可儲(chǔ)存?MTBF≥1500hrs?產(chǎn)能:45s/點(diǎn)（移動(dòng)+聚焦+測(cè)量）（掃描范圍50um）?具備Globalalignment&Unitalignment?自動(dòng)聚焦范圍：±0.3mm?XY運(yùn)動(dòng)速度蕞快

輪廓儀的物鏡知多少?白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,，以三維非接觸時(shí)方法測(cè)量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,，典型結(jié)果包括：表面形貌（粗糙度，平面度,，平行度,，臺(tái)階高度，錐角等）幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸,，曲率半徑,，特征區(qū)域的面積和集體，特征圖形的位置和數(shù)量等）白光干涉系統(tǒng)基于無限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng),，通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,，使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。因此物鏡是輪廓儀蕞河心的部件,，物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測(cè)的精度提出需求,，為了滿足各種精度的需求，需要提供各種物鏡,，例如標(biāo)配的10×,，還有2.5×，5×,，20×,，50×，100×,，可選,。不同的鏡頭價(jià)格有很大的差別，因此需要量力根據(jù)需求來選擇配對(duì)應(yīng)的鏡頭,。輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品,，輪廓儀主要功能是測(cè)量零件表面的輪廓形狀,。

輪廓儀能夠描繪工件表面波度與粗糙度，并給出其數(shù)值的儀器,，采用精密氣浮導(dǎo)軌為直線基準(zhǔn),。輪廓測(cè)試儀是對(duì)物體的輪廓、二維尺寸,、二維位移進(jìn)行測(cè)試與檢驗(yàn)的儀器,，作為精密測(cè)量?jī)x器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分廣范。（來自網(wǎng)絡(luò)）先進(jìn)的輪廓儀集成模塊60年世界水平半導(dǎo)體檢測(cè)技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗(yàn)所有的關(guān)鍵硬件采用美國(guó),、德國(guó)、日本等PI,，納米移動(dòng)平臺(tái)及控制Nikon,，干涉物鏡NI，信號(hào)控制板和Labview64控制軟件TMC隔震平臺(tái)世界先進(jìn)水平的計(jì)算機(jī)軟硬件技術(shù)平臺(tái)VS2012/64位,。NanoX-2000/3000 系列 3D 光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測(cè)量（PSI）,、白光垂直掃描干涉測(cè)量（VSI）和單色光。浙江輪廓儀國(guó)內(nèi)代理

在結(jié)構(gòu)上,，輪廓儀基本上都是臺(tái)式的,，而粗糙度儀以手持式的居多，當(dāng)然也有臺(tái)式的,。3D形貌輪廓儀技術(shù)原理

涵蓋面廣的2D,、3D形貌參數(shù)分析：表面三維輪廓儀可測(cè)量300余種2D、3D參數(shù),，無論加工的物件使用哪一種評(píng)定標(biāo)準(zhǔn),，都可以提供權(quán)面的檢測(cè)結(jié)果作為評(píng)定依據(jù)，可輕松獲取被測(cè)物件精確的線粗糙度,、面粗糙度,、輪廓度等參數(shù)。四,、穩(wěn)定性強(qiáng),，高重復(fù)性：儀器運(yùn)用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計(jì)，不受外部環(huán)境影響測(cè)量的準(zhǔn)確性,。超精密的Z向掃描模塊和測(cè)量軟件完美結(jié)合,，保證高重復(fù)性，將測(cè)量誤差降低到亞納米級(jí)別,。三維表面輪廓儀是精密加工領(lǐng)域必不可少的檢測(cè)設(shè)備,，它既保障了生產(chǎn)加工的準(zhǔn)確性，又提高了成品的出產(chǎn)效率,，滿足用戶對(duì)各項(xiàng)2D,，3D參數(shù)檢測(cè)需求的同時(shí),，依然能夠保持高重復(fù)性，高穩(wěn)定性的運(yùn)行,，其對(duì)精密加工所產(chǎn)生的的作用是舉足輕重的,。3D形貌輪廓儀技術(shù)原理