NanoX-8000系統(tǒng)主要性能?菜單式系統(tǒng)設(shè)置,，一鍵式操作,，自動數(shù)據(jù)存儲?一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)?支持連接MES系統(tǒng)，數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC?具備異常報警,，急停等功能,，報警信息可儲存?MTBF≥1500hrs?產(chǎn)能:45s/點（移動+聚焦+測量）（掃描范圍50um）?具備Globalalignment&Unitalignment?自動聚焦范圍：±0.3mm?XY運動速度蕞快如果需要了解更多詳細(xì)參數(shù),，請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。我們主要經(jīng)營鍵合機,、光刻機,、輪廓儀，隔振臺等設(shè)備,。共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉(zhuǎn)多珍孔盤,、帶有壓電驅(qū)動器的物鏡和CCD相機。Nano X-2000輪廓儀測樣

涵蓋面廣的2D,、3D形貌參數(shù)分析：表面三維輪廓儀可測量300余種2D、3D參數(shù),，無論加工的物件使用哪一種評定標(biāo)準(zhǔn)，都可以提供權(quán)面的檢測結(jié)果作為評定依據(jù),，可輕松獲取被測物件精確的線粗糙度,、面粗糙度,、輪廓度等參數(shù)。四,、穩(wěn)定性強，高重復(fù)性：儀器運用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計,，不受外部環(huán)境影響測量的準(zhǔn)確性,。超精密的Z向掃描模塊和測量軟件完美結(jié)合，保證高重復(fù)性,，將測量誤差降低到亞納米級別,。三維表面輪廓儀是精密加工領(lǐng)域必不可少的檢測設(shè)備，它既保障了生產(chǎn)加工的準(zhǔn)確性,，又提高了成品的出產(chǎn)效率,，滿足用戶對各項2D，3D參數(shù)檢測需求的同時,，依然能夠保持高重復(fù)性,，高穩(wěn)定性的運行，其對精密加工所產(chǎn)生的的作用是舉足輕重的,。高靈敏度的實驗設(shè)備輪廓儀美元價格包含了從納米到微米級別的輪廓,、線粗糙度,、面粗糙度等二維、三維參數(shù),，作為評定該物件是否合格的標(biāo)準(zhǔn),。

NanoX-80003D輪廓測量主要技術(shù)參數(shù)3D測量主要技術(shù)指標(biāo)（1）：測量模式：PSI+VSI+CSIZ軸測量范圍：大行程PZT掃描（300um標(biāo)配/500um選配）10mm精密電機拓展掃描CCD相機：1920x1200高速相機（標(biāo)配）干涉物鏡：（標(biāo)配）,20X,50X,100X(NIKON)物鏡切換：5孔電動鼻切換FOV：1100x700um(10X物鏡),220x140um(50X物鏡)Z軸聚焦：高精密直線平臺自動聚焦照明系統(tǒng)：高效長壽白光LED+濾色鏡片電動切換（綠色/藍(lán)色）傾斜調(diào)節(jié)：±5°電動調(diào)節(jié)橫向分辨率：≥μm（與所配物鏡有關(guān)）3D測量主要技術(shù)指標(biāo)（2）：垂直掃描速度：PSI:<10s，VSI/CSI：<38um/s高度測量范圍：–10mm表面反射率：>(1σ)臺階高重復(fù)性：(1σ)VSI/CSI：垂直分辨率<(1σ,，10um臺階高),。

    輪廓儀是一種兩坐標(biāo)測量儀器，儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行,，傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化,，在X和Z方向分別采樣，并轉(zhuǎn)換成電信號,，該電信號經(jīng)放大和處理,，再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號儲存在計算機系統(tǒng)的存儲器中，計算機對原始表而輪廓進(jìn)行數(shù)字濾波,，分離掉表而粗糙度成分后再進(jìn)行計算,，測量結(jié)果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準(zhǔn)點的坐標(biāo)，或放大的實際輪廓曲線,，測量結(jié)果通過顯示器輸出,，也可由打印機輸出。（來自網(wǎng)絡(luò)）輪廓儀在集成電路的應(yīng)用：封磚Bump測量視場：72*96（um）物鏡：干涉50X檢測位置：樣品局部面減薄表面粗糙度分析封裝：300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析面粗糙度分析：2D,3D顯示,；線粗糙度分析：Ra,Ry,，Rz，…器件多層結(jié)構(gòu)臺階高M(jìn)EMS器件多層結(jié)構(gòu)分析,、工藝控制參數(shù)分析激光隱形切割工藝控制世界微一的能夠?qū)崿F(xiàn)激光槽寬度,、深度自動識別和數(shù)據(jù)自動生成，大達(dá)地縮短了激光槽工藝在線檢測的時間,，避免人工操作帶來的一致性,。 NanoX-8000主設(shè)備尺寸：1290(W)x1390(D)x2190(H) mm。

輪廓儀的和新團(tuán)隊夏勇博士,，江蘇省雙創(chuàng)人才15年ADE,，KAL-Tencor半導(dǎo)體檢測設(shè)備公司研發(fā)、項目管理經(jīng)驗SuperSightInc.CEO/共同創(chuàng)始人,，太陽能在線檢測設(shè)備唐壽鴻博士,，國家千人****25年ADE，KAL-Tencor半導(dǎo)體檢測設(shè)備公司研發(fā)經(jīng)驗KLA-Tencor資申研發(fā)總監(jiān),，世界即圖像處理,、算法**許衡博士，軟件系統(tǒng)研發(fā)10年硅谷世界500強研發(fā)經(jīng)驗（BDMedicalInstrument）光學(xué)測量、軟件系統(tǒng)岱美儀器與**組為您提供輪廓儀的技術(shù)支持,，為您排憂解難,。表面形貌（粗糙度，平面度,，平行度,，臺階高度，錐角等）,。白光干涉輪廓儀用途是什么

通過收集多個點的數(shù)據(jù),，輪廓儀可以生成物體的三維輪廓圖或曲線圖。Nano X-2000輪廓儀測樣

表面三維微觀形貌測量的意義在生產(chǎn)中,，表面三維微觀形貌對工程零件的許多技術(shù)性能的評家具有蕞直接的影響,，而且表面三維評定參數(shù)由于能更權(quán)面，更真實的反應(yīng)零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來越受到重視,，因此表面三維微觀形貌的測量就越顯重要,。通過兌三維形貌的測量可以比較權(quán)面的評定表面質(zhì)量的優(yōu)劣，進(jìn)而確認(rèn)加工方法的好壞以及設(shè)計要求的合理性,，這樣就可以反過來通過知道加工,，優(yōu)化加工工藝以及加工出高質(zhì)量的表面,，確保零件使用功能的實現(xiàn),。表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富，通?？煞譃榻佑|時和非接觸時兩種,，其中以非接觸式測量方法為主。Nano X-2000輪廓儀測樣