輪廓儀對所測樣品的尺寸有何要求,?答:輪廓儀對載物臺xy行程為140*110mm(可擴展),,Z向測量范圍蕞大可達10mm,但由于白光干涉儀單次測量區(qū)域比較?。ㄒ?0X鏡頭為例,,在1mm左右),因而在測量大尺寸的樣品時,,全檢的方式需要進行拼接測量,,檢測效率會比較低,建議尋找樣品表面的特征位置或抽取若干區(qū)域進行抽點檢測,,以單點或多點反映整個面的粗糙度參數(shù),;4.測量的蕞小尺寸是否可以達到12mm,或者能夠測到更小的尺寸,?如果需要了解更多,,請訪問官網(wǎng)。輪廓儀可用于Oled 特征結構測量,,表面粗糙度,,外延片表面缺 陷檢測,硅片外延表面缺 陷檢測,。VSI輪廓儀值得買
輪廓的角度處理:角度處理:兩直線夾角,、直線與Y軸夾角,、直線與X軸夾角點線處理:兩直線交點、交點到直線距離,、交點到交點距離,、交點到圓心距離、交點到點距離圓處理:圓心距離,、圓心到直線的距離,、交點到圓心的距離、直線到切點的距離線處理:直線度,、凸度,、LG凸度、對數(shù)曲線,。白光輪廓儀的典型應用:對各種產品,,不見和材料表面的平面度,粗糙度,,波溫度,,面型輪廓,表面缺陷,,磨損情況,,腐蝕情況,孔隙間隙,,臺階高度,,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。Nano X-2000輪廓儀輪廓儀可以用于測量產品的尺寸,、形狀和曲率,以確保產品符合設計要求,。
表面三維微觀形貌測量的意義在生產中,,表面三維微觀形貌對工程零件的許多技術性能的評家具有蕞直接的影響,而且表面三維評定參數(shù)由于能更權面,,更真實的反應零件表面的特征及衡量表面的質量而越來越受到重視,,因此表面三維微觀形貌的測量就越顯重要。通過兌三維形貌的測量可以比較權面的評定表面質量的優(yōu)劣,,進而確認加工方法的好壞以及設計要求的合理性,,這樣就可以反過來通過知道加工,優(yōu)化加工工藝以及加工出高質量的表面,,確保零件使用功能的實現(xiàn),。表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富,通??煞譃榻佑|時和非接觸時兩種,,其中以非接觸式測量方法為主,。
輪廓儀對精密加工的意義現(xiàn)代化高新技術的飛速發(fā)展離不開硬件設施和軟件系統(tǒng)的配套支持,在精密加工領域同樣如此,,雖然我們在生活中不曾注意到超精密加工產品的“身影”,,但是它卻與我們的生活息息相關。例如在光學玻璃,、集成電路,、汽車零部件、機器人和新器件,、航空航天材料、國fang jun工設備等領域,,都需要對加工的成品進行檢測,,從物體表面光滑到粗糙的參數(shù),其中包含了從納米到微米級別的輪廓,、線粗糙度,、面粗糙度等二維、三維參數(shù),,作為評定該物件是否合格的標準,。因此光學輪廓儀應運而生,以下是表面三維輪廓儀對精密加工的作用:當激光或光電傳感器沿著物體表面移動時,,輪廓儀會記錄下物體表面的高度或位置信息,。
輪廓儀的性能測量模式移相干涉(PSI),白光垂直掃描干涉(VSI),,單色光垂直掃描干涉(CSI)樣品臺150mm/200mm/300mm樣品臺(可選配)XY平移:±25mm/150mm/200mm/300mm,,傾斜:±5°可選手動/電動樣品臺CCD相機像素標配:1280×960視場范圍560×750um(10×物鏡)具體視場范圍取決于所配物鏡及CCD相機光學系統(tǒng)同軸照明無限遠干涉成像系統(tǒng)光源高效LEDZ方向聚焦80mm手動聚焦(可選電動聚焦)Z方向掃描范圍精密PZT掃描(可選擇高精密機械掃描,拓展達10mm)縱向分辨率<0.1nmRMS重復性*0.005nm,,1σ臺階測量**準確度≤0.75%,;重復性≤0.1%,1σ橫向分辨率≥0.35um(100倍物鏡)檢測速度≤35um/sec,與所選的CCD反射光通過MPD的珍孔減小到聚焦的部分落在CCD相機上,。光電輪廓儀用途是什么
傳統(tǒng)光學顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細節(jié),。VSI輪廓儀值得買
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