如何正確使用輪廓儀準(zhǔn)備工作1.測(cè)量前準(zhǔn)備,。2.開啟電腦、打開機(jī)器電源開關(guān),、檢查機(jī)器啟動(dòng)是否正常,。3.擦凈工件被測(cè)表面。測(cè)量1.將測(cè)針正確,、平穩(wěn),、可靠地移動(dòng)在工件被測(cè)表面上。2.工件固定確認(rèn)工件不會(huì)出現(xiàn)松動(dòng)或者其它因素導(dǎo)致測(cè)針與工件相撞的情況出現(xiàn)3.在儀器上設(shè)置所需的測(cè)量條件,。4.開始測(cè)量,。測(cè)量過程中不可觸摸工件更不可人為震動(dòng)桌子的情況產(chǎn)生。5.測(cè)量完畢,,根據(jù)圖紙對(duì)結(jié)果進(jìn)行分析,,標(biāo)出結(jié)果,并保存,、打印。輪廓的角度處理:角度處理:兩直線夾角,、直線與Y軸夾角,、直線與X軸夾角點(diǎn)線處理:兩直線交點(diǎn)、交點(diǎn)到直線距離,、交點(diǎn)到交點(diǎn)距離,、交點(diǎn)到圓心距離,、交點(diǎn)到點(diǎn)距離圓處理:圓心距離、圓心到直線的距離,、交點(diǎn)到圓心的距離,、直線到切點(diǎn)的距離線處理:直線度、凸度,、LG凸度,、對(duì)數(shù)曲線幾何特征(關(guān)鍵孔徑尺寸,曲率半徑,,特征區(qū)域的面積和集體,,特征圖形的位置和數(shù)量等)。輪廓儀廠家
輪廓儀,,能描繪工件表面波度與粗糙度,,并給出其數(shù)值的儀器,采用精密氣浮導(dǎo)軌為直線基準(zhǔn),。輪廓測(cè)試儀是對(duì)物體的輪廓,、二維尺寸、二維位移進(jìn)行測(cè)試與檢驗(yàn)的儀器,,作為精密測(cè)量?jī)x器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分廣范,。(來自網(wǎng)絡(luò))先進(jìn)的輪廓儀集成模塊60年世界水平半導(dǎo)體檢測(cè)技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗(yàn)所有的關(guān)鍵硬件采用美國(guó)、德國(guó),、日本等PI,,納米移動(dòng)平臺(tái)及控制Nikon,干涉物鏡NI,,信號(hào)控制板和Labview64控制軟件TMC隔震平臺(tái)世界先進(jìn)水平的計(jì)算機(jī)軟硬件技術(shù)平臺(tái)VS2012/64位,。3D形貌輪廓儀質(zhì)量怎么樣輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用。
強(qiáng)大的輪廓儀光電一體軟件美國(guó)硅谷研發(fā),、中英文自由切換光機(jī)電一體化軟硬件集成三維分析處理迅速,,結(jié)果實(shí)時(shí)更新縮放、定位,、平移,、旋轉(zhuǎn)等三維圖像處理自主設(shè)定測(cè)量閾值,三維處理自動(dòng)標(biāo)注測(cè)量模式可根據(jù)需求自由切換三維圖像支持高清打印菜單式參數(shù)設(shè)置,,一鍵式操作,,人機(jī)界面?zhèn)€性直觀個(gè)性化軟件應(yīng)用支持可進(jìn)行軟件在線升級(jí)和遠(yuǎn)程支持服務(wù)10年硅谷世界500強(qiáng)研發(fā)經(jīng)驗(yàn)(BDMedicalInstrument)光學(xué)測(cè)量、軟件系統(tǒng)岱美儀器將為您提供全程的服務(wù),。
輪廓儀是一種兩坐標(biāo)測(cè)量?jī)x器,,儀器傳感器相對(duì)被測(cè)工件表而作勻速滑行,傳感器的觸針感受到被測(cè)表而的幾何變化,,在X和Z方向分別采樣,,并轉(zhuǎn)換成電信號(hào),,該電信號(hào)經(jīng)放大和處理,再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)儲(chǔ)存在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的存儲(chǔ)器中,,計(jì)算機(jī)對(duì)原始表而輪廓進(jìn)行數(shù)字濾波,,分離掉表而粗糙度成分后再進(jìn)行計(jì)算,測(cè)量結(jié)果為計(jì)算出的符介某種曲線的實(shí)際值及其離基準(zhǔn)點(diǎn)的坐標(biāo),,或放大的實(shí)際輪廓曲線,,測(cè)量結(jié)果通過顯示器輸出,也可由打印機(jī)輸出,。(來自網(wǎng)絡(luò))輪廓儀在集成電路的應(yīng)用:封磚Bump測(cè)量視場(chǎng):72*96(um)物鏡:干涉50X檢測(cè)位置:樣品局部面減薄表面粗糙度分析封裝:300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析面粗糙度分析:2D,3D顯示,;線粗糙度分析:Ra,Ry,Rz,,…器件多層結(jié)構(gòu)臺(tái)階高M(jìn)EMS器件多層結(jié)構(gòu)分析,、工藝控制參數(shù)分析激光隱形切割工藝控制世界微一的能夠?qū)崿F(xiàn)激光槽寬度、深度自動(dòng)識(shí)別和數(shù)據(jù)自動(dòng)生成,,大達(dá)地縮短了激光槽工藝在線檢測(cè)的時(shí)間,,避免人工操作帶來的一致性。 輪廓儀可用于:散熱材料表面粗糙度分析(粗糙度控制),,生物,、醫(yī)藥新技術(shù),微流控器件,。
輪廓儀的物鏡知多少,?白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,以三維非接觸時(shí)方法測(cè)量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,,典型結(jié)果包括:表面形貌(粗糙度,,平面度,平行度,,臺(tái)階高度,,錐角等)幾何特征(關(guān)鍵孔徑尺寸,曲率半徑,,特征區(qū)域的面積和集體,,特征圖形的位置和數(shù)量等)白光干涉系統(tǒng)基于無限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng),通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,,使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x,。因此物鏡是輪廓儀*重要部件,物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測(cè)的精度提出需求,,為了滿足各種精度的需求,,需要提供各種物鏡,例如標(biāo)配的10×,還有×,,5×,20×,,50×,,100×,可選,。不同的鏡頭價(jià)格有很大的差別,,因此需要量力根據(jù)需求選配對(duì)應(yīng)的鏡頭哦。 輪廓儀對(duì)載物臺(tái)xy行程為140*110mm(可擴(kuò)展),,Z向測(cè)量范圍ZUI大可達(dá)10mm,。計(jì)量院輪廓儀自動(dòng)化測(cè)量
輪廓儀的優(yōu)點(diǎn)包括測(cè)量速度快、精度高,、非接觸式測(cè)量,、適用于各種形狀和材料的物體。輪廓儀廠家
輪廓儀是用容易理解的機(jī)械技術(shù)測(cè)量薄膜厚度,。它的工作原理是測(cè)量測(cè)量劃過薄膜的檢測(cè)筆的高度(見右圖),。輪廓儀的主要優(yōu)點(diǎn)是可以測(cè)量所有固體膜,包括不透明的厚金屬膜,。更昂貴的系統(tǒng)能測(cè)繪整個(gè)表面輪廓,。(有關(guān)我們的低成本光學(xué)輪廓儀的資訊,請(qǐng)點(diǎn)擊這里).獲取反射光譜指南然而輪廓儀也有不足之處,。首先,,樣本上必須有個(gè)小坎才能測(cè)量薄膜厚度,而小坎通常無法很標(biāo)準(zhǔn)(見圖),。這樣,,標(biāo)定誤差加上機(jī)械漂移造成5%-10%的測(cè)量誤差。與此相比,,光譜反射儀使用非接觸技術(shù),,不需要任何樣本準(zhǔn)備就可以測(cè)量厚度,。只需一秒鐘分析從薄膜反射的光就可確定薄膜厚度和折射率,。光譜反射儀還可以測(cè)量多層薄膜,。輪廓儀和光譜反射儀的主要優(yōu)點(diǎn)列表于下。如需更多光譜反射儀信息請(qǐng)?jiān)L問岱美儀器的官網(wǎng),。輪廓儀廠家