輪廓儀產(chǎn)品概述：NanoX-2000/3000系列3D光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測量（PSI）,、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光垂直掃描干涉測量（CSI）等技術(shù)的基礎(chǔ)上,，以其納米級測量準(zhǔn)確度和重復(fù)性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測件的表面粗糙度,、表面輪廓,、臺階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等,。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天,、精密加工、表面工程技術(shù),、材料,、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域,。想要了解更多的信息，請聯(lián)系我們岱美儀器,。具備異常報(bào)警,，急停等功能,，報(bào)警信息可儲存,。ADE輪廓儀推薦型號

filmOnline查film3D圖像並與其互動.請參考我們新型光學(xué)輪廓儀!film3D使得光學(xué)輪廓測量更易負(fù)擔(dān)蕞后，表面粗糙度和表面形貌測量可以用比探針式輪廓儀成本更低的儀器來進(jìn)行,。film3D具有3倍於于其成本儀器的次納米級垂直分辨率,film3D同樣使用了現(xiàn)今蕞高 分辨率之光學(xué)輪廓儀的測量技術(shù)包含白光干涉(WSI)及相移干涉(PSI)。索取技術(shù)資料索取報(bào)價(jià)這就是您需要的解析力Thefilm3D的直觀軟件包括表面粗糙度,，形狀和臺階高度的測量,。在數(shù)秒內(nèi),，您可以獲得平面和曲面表面上測量所有常見的粗糙度參數(shù)。也可以選擇拼接功能軟件升級來組合多個(gè)影像以提供大面積測量。蕞新!免廢的網(wǎng)路3D影像瀏覽/分析filmOnline可存儲,、共享,、查看與分析來自您的光學(xué)輪廓儀或3D顯微鏡之3D影像,。任何臺式電腦,，平板電腦或智能手機(jī)上都能查看和操作,。享受權(quán)面的圖像分析功能，包括表面輪廓（粗糙度）和階高 分析,。其他輪廓儀列為選備的功能已經(jīng)是我們的標(biāo)準(zhǔn)配備為什么需要額外支付每位使用者所需要的功能,？每film3D都已標(biāo)配自動化X/Y平臺包含tip/tilt功能,。以我們的階高標(biāo)準(zhǔn)片建立標(biāo)準(zhǔn)每film3D配備了一個(gè)10微米階高標(biāo)準(zhǔn)片，可達(dá)％準(zhǔn)確度,。另我們還提供具有100nm,，2微米以及4微米等多階高標(biāo)準(zhǔn)片。粗糙度輪廓儀學(xué)校會用嗎200到400個(gè)共焦圖像通常在幾秒內(nèi)被捕獲,，之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像,。

輪廓儀是用容易理解的機(jī)械技術(shù)測量薄膜厚度,。它的工作原理是測量測量劃過薄膜的檢測筆的高度(見右圖)。輪廓儀的主要優(yōu)點(diǎn)是可以測量所有固體膜，包括不透明的厚金屬膜,。更昂貴的系統(tǒng)能測繪整個(gè)表面輪廓。(有關(guān)我們的低成本光學(xué)輪廓儀的資訊,，請點(diǎn)擊這里).獲取反射光譜指南然而輪廓儀也有不足之處,。首先,，樣本上必須有個(gè)小坎才能測量薄膜厚度，而小坎通常無法很標(biāo)準(zhǔn)(見圖),。這樣，標(biāo)定誤差加上機(jī)械漂移造成5%-10%的測量誤差,。與此相比,，光譜反射儀使用非接觸技術(shù),，不需要任何樣本準(zhǔn)備就可以測量厚度。只需一秒鐘分析從薄膜反射的光就可確定薄膜厚度和折射率,。光譜反射儀還可以測量多層薄膜。輪廓儀和光譜反射儀的主要優(yōu)點(diǎn)列表于下,。如需更多光譜反射儀信息請?jiān)L問岱美儀器的官網(wǎng)。

輪廓儀的自動拼接功能：條件：被測區(qū)域明顯大于視場的區(qū)域,，使用自動圖片拼接。需要點(diǎn)擊自動拼接,，輪廓儀會把移動路徑上的拍圖自動拼接起來,。軟件會自適應(yīng)計(jì)算路徑上移動的偏差,，自動消除移動中偏差，減小誤差,。但是誤差是一定存在的,。白光輪廓儀的典型應(yīng)用：對各種產(chǎn)品,，不見和材料表面的平面度，粗糙度,，波溫度，面型輪廓,，表面缺陷,，磨損情況,，腐蝕情況，孔隙間隙,，臺階高度，完全變形情況,，加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。NanoX-8000的XY光柵分辨率 0.1um，定位精度 5um,，重復(fù)精度 1um。

輪廓儀白光干涉的創(chuàng)始人：邁爾爾遜1852-1931美國物理學(xué)家曾從事光速的精密測量工作邁克爾遜首倡用光波波長作為長度基準(zhǔn),。1881年,，他發(fā)明了一種用以測量微小長度，折射率和光波波長的干涉儀,，邁克爾遜干涉儀,。他和美國物理學(xué)家莫雷合作,，進(jìn)行了注明的邁克爾遜-莫雷實(shí)驗(yàn),，否定了以太de存在,，為愛因斯坦建立狹義相對論奠定了基礎(chǔ),。由于創(chuàng)制了精密的光學(xué)儀器和利用這些儀器所完成光譜學(xué)和基本度量學(xué)研究,，邁克爾遜于1907年獲得諾貝爾物理學(xué)獎,。輪廓儀可用于高精密材料表面缺 陷超精密表面缺 陷分析,，核探測。干涉測量輪廓儀研發(fā)生產(chǎn)

通過光學(xué)表面三維輪廓儀的掃描檢測,，得出物件的誤差和超差參數(shù),，大達(dá)提高物件在生產(chǎn)加工時(shí)的精確度,。ADE輪廓儀推薦型號

NanoX-80003D輪廓測量主要技術(shù)參數(shù)3D測量主要技術(shù)指標(biāo)（1）：測量模式：PSI+VSI+CSIZ軸測量范圍：大行程PZT掃描（300um標(biāo)配/500um選配）10mm精密電機(jī)拓展掃描CCD相機(jī)：1920x1200高速相機(jī)（標(biāo)配）干涉物鏡：（標(biāo)配）,20X,50X,100X(NIKON)物鏡切換：5孔電動鼻切換FOV：1100x700um(10X物鏡),220x140um(50X物鏡)Z軸聚焦：高精密直線平臺自動聚焦照明系統(tǒng)：高效長壽白光LED+濾色鏡片電動切換（綠色/藍(lán)色）傾斜調(diào)節(jié)：±5°電動調(diào)節(jié)橫向分辨率：≥μm（與所配物鏡有關(guān)）3D測量主要技術(shù)指標(biāo)（2）：垂直掃描速度：PSI:<10s,，VSI/CSI：<38um/s高度測量范圍：–10mm表面反射率：>(1σ)臺階高重復(fù)性：(1σ)VSI/CSI：垂直分辨率<(1σ,，10um臺階高)。ADE輪廓儀推薦型號