輪廓的角度處理:角度處理:兩直線夾角,、直線與Y軸夾角,、直線與X軸夾角點(diǎn)線處理:兩直線交點(diǎn)、交點(diǎn)到直線距離,、交點(diǎn)到交點(diǎn)距離,、交點(diǎn)到圓心距離、交點(diǎn)到點(diǎn)距離圓處理:圓心距離,、圓心到直線的距離,、交點(diǎn)到圓心的距離,、直線到切點(diǎn)的距離線處理:直線度,、凸度、LG凸度,、對(duì)數(shù)曲線,。白光輪廓儀的典型應(yīng)用:對(duì)各種產(chǎn)品,不見和材料表面的平面度,,粗糙度,,波溫度,面型輪廓,,表面缺陷,,磨損情況,腐蝕情況,,孔隙間隙,,臺(tái)階高度,完全變形情況,,加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析,。表面三維微觀形貌的測量方法非常豐富,通??煞譃榻佑|式和非接觸式兩種,,其中以非接觸式測量方法為主。集成電路輪廓儀技術(shù)原理
輪廓儀的培訓(xùn)一,、培訓(xùn)承諾系統(tǒng)建成后,,我公司將為業(yè)主提供為期1天的免廢培訓(xùn)和技術(shù)資詢;培訓(xùn)地點(diǎn)可以在我公司,,亦或在工程現(xiàn)場,;系統(tǒng)操作及管理人員的培訓(xùn)人數(shù)為10人,,由業(yè)主指定,我公司將確保相關(guān)人員正確使用該系統(tǒng),;1.1.培訓(xùn)對(duì)象系統(tǒng)操作及管理人員(培訓(xùn)對(duì)象須具有專業(yè)技術(shù)的技術(shù)人員或?qū)嶋H值班操作人員),;其他業(yè)主指定的相關(guān)人員。1.2.培訓(xùn)內(nèi)容系統(tǒng)操作使用說明書,。培訓(xùn)課程的主要內(nèi)容是系統(tǒng)的操作,、系統(tǒng)的相關(guān)參數(shù)設(shè)定和修改和系統(tǒng)的維修與保養(yǎng)與簡單升級(jí)等,具體內(nèi)容如下:*系統(tǒng)文檔解讀,;*系統(tǒng)的技術(shù)特點(diǎn),、安裝維護(hù)和系統(tǒng)管理方式;*系統(tǒng)一般故障排除,。表面輪廓儀國內(nèi)代理NanoX-8000的XY光柵分辨率 0.1um,,定位精度 5um,重復(fù)精度 1um,。
白光干涉輪廓儀對(duì)比激光共聚焦輪廓儀白光干涉3D顯微鏡:干涉面成像,,多層垂直掃描蕞好高度測量精度:<1nm高度精度不受物鏡影響性價(jià)比好。激光共聚焦3D顯微鏡:點(diǎn)掃描合成面成像,,多層垂直掃描Keyence(日本)蕞好高度測量精度:~10nm高度精度由物鏡決定,,1um精度@10倍90萬-130萬三維光學(xué)輪廓儀采用白光軸向色差原理(性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀)對(duì)樣品表面進(jìn)行快速、重復(fù)性高,、高分辨率的三維測量,,測量范圍可從納米級(jí)粗糙度到毫米級(jí)的表面形貌,臺(tái)階高度,,給MEMS,、半導(dǎo)體材料、太陽能電池,、醫(yī)療工程,、制藥、生物材料,,光學(xué)元件,、陶瓷和先進(jìn)材料的研發(fā)和生產(chǎn)提供了一個(gè)精確的、價(jià)格合理的計(jì)量方案,。(來自網(wǎng)絡(luò))
輪廓儀產(chǎn)品概述:NanoX-2000/3000系列3D光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測量(PSI),、白光垂直掃描干涉測量(VSI)和單色光垂直掃描干涉測量(CSI)等技術(shù)的基礎(chǔ)上,以其納米級(jí)測量準(zhǔn)確度和重復(fù)性(穩(wěn)定性)定量地反映出被測件的表面粗糙度,、表面輪廓,、臺(tái)階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等,。廣泛應(yīng)用于集成電路制造,、MEMS,、航空航天、精密加工,、表面工程技術(shù),、材料、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域,。想要了解更多的信息,,請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器。粗糙度儀的功能是測量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量,。
NanoX-2000/3000系列3D光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測量(PSI),、白光垂直掃描干涉測量(VSI)和單色光垂直掃描干涉測量(CSI)等技術(shù)的基礎(chǔ)上,以其納米級(jí)測量準(zhǔn)確度和重復(fù)性(穩(wěn)定性)定量地反映出被測件的表面粗糙度,、表面輪廓,、臺(tái)階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等,。廣泛應(yīng)用于集成電路制造,、MEMS、航空航天,、精密加工,、表面工程技術(shù),、材料,、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域。使用范圍廣:兼容多種測量和觀察需求保護(hù)性:非接觸式光學(xué)輪廓儀耐用性更強(qiáng),,使用無損可操作性:一鍵式操作,,操作更簡單,更方便輪廓儀廣泛應(yīng)用于集成電路制造,、MEMS,、航空航天、精密加 工,、表面工程技術(shù),、材料、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域,。材料表面輪廓儀用途
輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓,。集成電路輪廓儀技術(shù)原理
輪廓儀、粗糙度儀,、三坐標(biāo)的區(qū)別:關(guān)于輪廓儀和粗糙度儀輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品,,輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀,比如:汽車零件中的溝槽的槽深,、槽寬,、倒角(包括倒角位置,、倒角尺寸、角度等),,圓柱表面素線的直線度等參數(shù),。總之,,輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓,。粗糙度儀的功能是測量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量,通俗地講,,就是零件表面加工得光不光(粗糙度老國標(biāo)叫光潔度),,即粗糙度反映的是零件加工表面的微觀情況。但是,,輪廓儀和粗糙度儀關(guān)系其實(shí)挺密切,,現(xiàn)在有一種儀器叫做粗糙度輪廓測量一體機(jī),就是在輪廓儀上加裝了粗糙度測量模塊,,這樣既可以測量輪廓尺寸,,又可以測量粗糙度,市場上典型產(chǎn)品就是中圖儀器的SJ5701粗糙度輪廓儀,。在結(jié)構(gòu)上,,輪廓儀基本上都是臺(tái)式的,而粗糙度儀以手持式的居多,,當(dāng)然也有臺(tái)式的,。集成電路輪廓儀技術(shù)原理