NanoX-系列輪廓儀**性客戶(hù)

? 集成電路相關(guān)產(chǎn)業(yè)

– 集成電路先進(jìn)封裝和材料：華天科技,，通富微電子,，江蘇納佩斯

半導(dǎo)體，華潤(rùn)安盛等

? MEMS相關(guān)產(chǎn)業(yè)

– 中科院蘇州納米所,，中科電子46所,，華東光電集成器件等

? 高 效太陽(yáng)能電池相關(guān)產(chǎn)業(yè)

– 常州億晶光電，中國(guó)臺(tái)灣速位科技,、山東衡力新能源等

? 微電子,、FPD、PCB等產(chǎn)業(yè)

– 三星電機(jī)、京東方,、深圳夏瑞科技等  

具備 Global alignment & Unit alignment

自動(dòng)聚焦范圍 ： ± 0.3mm

XY運(yùn)動(dòng)速度 **快

如果有什么問(wèn)題,，請(qǐng)聯(lián)系我們。

具備異常報(bào)警,，急停等功能,，報(bào)警信息可儲(chǔ)存。VSI輪廓儀價(jià)格怎么樣

白光干涉輪廓儀對(duì)比激光共聚焦輪廓儀

白光干涉3D顯微鏡：

干涉面成像,，

多層垂直掃描

比較好高度測(cè)量精度：< 1nm

高度精度不受物鏡影響

性?xún)r(jià)比好

激光共聚焦3D顯微鏡：

點(diǎn)掃描合成面成像,，

多層垂直掃描

Keyence（日本）

比較好高度測(cè)量精度：～10nm

高度精度由物鏡決定，1um精度@10倍

90萬(wàn)-130萬(wàn)

三維光學(xué)輪廓儀采用白光軸向色差原理（性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀）對(duì)樣品表面進(jìn)行快速,、重復(fù)性高,、高 分辨率的三維測(cè)量，測(cè)量范圍可從納米級(jí)粗糙度到毫米級(jí)的表面形貌,，臺(tái)階高度,，給MEMS,、半導(dǎo)體材料,、太陽(yáng)能電池、醫(yī)療工程,、制藥,、生物材料，光學(xué)元件,、陶瓷和先進(jìn)材料的研發(fā)和生產(chǎn)提供了一個(gè)精確的,、價(jià)格合理的計(jì)量方案。（來(lái)自網(wǎng)絡(luò)） 霍梅爾輪廓儀供應(yīng)商家共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內(nèi)獲得高 分辨率,。

輪廓儀的物鏡知多少?  

白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,，以三維非接觸時(shí)方法測(cè)量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，典型結(jié)果包括：

表面形貌（粗糙度,，平面度,，平行度，臺(tái)階高度,，錐角等）

幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸,，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和集體,，特征圖形的位置和數(shù)量等）

白光干涉系統(tǒng)基于無(wú)限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng),，通過(guò)干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋，使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x,。  

因此物鏡是輪廓儀****的部件,，

物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測(cè)的精度提出需求，為了滿(mǎn)足各種精度的需求，需要提供各種物鏡,，例如標(biāo)配的10×,， 還有2.5×，5×,，20×,，50×，100×,，可選,。  

不同的鏡頭價(jià)格有很大的差別，因此需要量力根據(jù)需求選配對(duì)應(yīng)的鏡頭哦,。

輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用：

晶圓的IC制造過(guò)程可簡(jiǎn)單看作是將光罩上的電路圖通過(guò)UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過(guò)程,，其中由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小，任何微小的黏附異物和下次均會(huì)導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺 陷,，因此必須對(duì)光罩和晶圓的表面輪廓進(jìn)行檢測(cè),，檢測(cè)相應(yīng)的輪廓尺寸。

輪廓儀的自動(dòng)拼接功能：

條件： 被測(cè)區(qū)域明顯大于視場(chǎng)的區(qū)域,，使用自動(dòng)圖片拼接,。  

需要點(diǎn)擊自動(dòng)拼接， 輪廓儀會(huì)把移動(dòng)路徑上的拍圖自動(dòng)拼接起來(lái),。

軟件會(huì)自適應(yīng)計(jì)算路徑上移動(dòng)的偏差,，自動(dòng)消除移動(dòng)中偏差，減小誤差,。

但是誤差是一定存在的,。

白光輪廓儀的典型應(yīng)用：

對(duì)各種產(chǎn)品，不見(jiàn)和材料表面的平面度,，粗糙度,，波溫度，面型輪廓,，表面缺 陷,，磨損情況，腐蝕情況,，孔隙間隙,，臺(tái)階高度，完全變形情況,，加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析,。  

共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉(zhuǎn)多***盤(pán),、帶有壓電驅(qū)動(dòng)器的物鏡和CCD相機(jī),。

輪廓儀的培訓(xùn)

一、 培訓(xùn)承諾

    系統(tǒng)建成后，我公司將為業(yè)主提供為期1天的**培訓(xùn)和技術(shù)資詢(xún),；培訓(xùn)地點(diǎn)可以在我公司,，亦或在工程現(xiàn)場(chǎng)；

    系統(tǒng)操作及管理人員的培訓(xùn)人數(shù)為10人,，由業(yè)主指定,，我公司將確保相關(guān)人員正確使用該系統(tǒng)；

1.1. 培訓(xùn)對(duì)象

    系統(tǒng)操作及管理人員（培訓(xùn)對(duì)象須具有專(zhuān)業(yè)技術(shù)的技術(shù)人員或?qū)嶋H值班操作人員）,；

    其他業(yè)主指定的相關(guān)人員,。

1.2. 培訓(xùn)內(nèi)容

    系統(tǒng)操作使用說(shuō)明書(shū)。

    培訓(xùn)課程的主要內(nèi)容是系統(tǒng)的操作,、系統(tǒng)的相關(guān)參數(shù)設(shè)定和修改和系統(tǒng)的維修與保養(yǎng)與簡(jiǎn)單升級(jí)等,，具體內(nèi)容如下：

    * 系統(tǒng)文檔解讀；

    * 系統(tǒng)的技術(shù)特點(diǎn),、安裝維護(hù)和系統(tǒng)管理方式,；

    * 系統(tǒng)一般故障排除。

NanoX-2000/3000 系列 3D 光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測(cè)量（PSI）,、白光垂直掃描干涉測(cè)量（VSI）和單色光,。高靈敏度的實(shí)驗(yàn)設(shè)備輪廓儀用途是什么

輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用。VSI輪廓儀價(jià)格怎么樣

輪廓儀,、粗糙度儀,、三坐標(biāo)的區(qū)別：

關(guān)于輪廓儀和粗糙度儀

  輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品，輪廓儀主要功能是測(cè)量零件表面的輪廓形狀,，比如：汽車(chē)零件中的溝槽的槽深、槽寬,、倒角（包括倒角位置,、倒角尺寸、角度等）,，圓柱表面素線(xiàn)的直線(xiàn)度等參數(shù),。總之,，輪廓儀反映的是零件的宏觀(guān)輪廓,。粗糙度儀的功能是測(cè)量零件表面的磨加工/精車(chē)加工工序的表面加工質(zhì)量，通俗地講,，就是零件表面加工得光不光（粗糙度老國(guó)標(biāo)叫光潔度）,，即粗糙度反映的是零件加工表面的微觀(guān)情況。

  但是,，輪廓儀和粗糙度儀關(guān)系其實(shí)挺密切,，現(xiàn)在有一種儀器叫做粗糙度輪廓測(cè)量一體機(jī)，就是在輪廓儀上加裝了粗糙度測(cè)量模塊，這樣既可以測(cè)量輪廓尺寸,，又可以測(cè)量粗糙度,，市場(chǎng)上典型產(chǎn)品就是中圖儀器的SJ5701粗糙度輪廓儀。

  在結(jié)構(gòu)上,，輪廓儀基本上都是臺(tái)式的,，而粗糙度儀以手持式的居多，當(dāng)然也有臺(tái)式的,。 VSI輪廓儀價(jià)格怎么樣