首先準備一塊柔性薄膜作為彈性基底層,，然后將巰基-烯預聚物旋涂在具有表面結(jié)構(gòu)的母板上,，彈性薄膜壓印在巰基-烯層上，與材料均勻接觸,。巰基-烯材料可以在自然環(huán)境中固化通過“點擊反應”形成交聯(lián)聚合物,，不受氧氣和水的阻聚作用。順利分離開母板后,，彈性薄膜與固化后的巰基-烯層緊密連接在一起,，獲得雙層結(jié)構(gòu)的復合柔性模板。由于良好的材料特性,，剛性巰基-烯結(jié)構(gòu)層可以實現(xiàn)較高的分辨率,。因此，利用該方法可以制備高 分辨的復合柔性模板,，經(jīng)過表面防粘處理后可以作為軟壓印模板使用,。該研究利用新方法制備了以PDMS和PET為彈性基底的亞100nm線寬的光柵結(jié)構(gòu)復合軟壓印模板。相關研究成果發(fā)表于《納米科技與納米技術雜志》（JournalofNanoscienceandNanotechnology）,。（來自網(wǎng)絡,。EVG開拓了這種非常規(guī)光刻技術，擁有多年技術,，掌握了NIL,，并已在不斷增長的基板尺寸上實現(xiàn)了批量生產(chǎn)。EVG7200LA納米壓印

UV-NIL/SmartNIL納米壓印系統(tǒng)EVGroup為基于紫外線的納米壓印光刻（UV-NIL）提供完整的產(chǎn)品線,，包括不同的單步壓印系統(tǒng),，大面積壓印機以及用于高效母版制作的分步重復系統(tǒng)。除了柔軟的UV-NIL,，EVG還提供其專有的SmartNIL技術以及多種用途的聚合物印模技術,。高效，強大的SmartNIL工藝可提供高圖案保真度，高度均勻的圖案層和蕞少的殘留層,，并具有易于調(diào)整的晶圓尺寸和產(chǎn)量,。EVG的SmartNIL兌現(xiàn)了納米壓印的長期承諾，即納米壓印是一種用于大規(guī)模生產(chǎn)微米和納米級結(jié)構(gòu)的高性能,，低成本和具有批量生產(chǎn)能力的技術,。這個系列的型號包括：EVG®610；EVG®620NT,；EVG®6200NT,；EVG®720；EVG®7200,；EVG®7200LA,；HERCULES®NIL；EVG®770,；IQAligner®,。遼寧納米壓印有哪些應用納米壓印設備哪個好？預墨印章可用于將材料以明顯的圖案轉(zhuǎn)移到基材上,。

EVGROUP®|產(chǎn)品/納米壓印光刻解決方案納米壓印光刻的介紹：EVGroup是納米壓印光刻（NIL）的市場領仙設備供應商,。EVG開拓了這種非常規(guī)光刻技術多年，掌握了NIL并已在不斷增長的基板尺寸上實現(xiàn)了批量生產(chǎn),。EVG的專有SmartNIL技術通過多年的研究,，開發(fā)和現(xiàn)場經(jīng)驗進行了優(yōu)化，以解決常規(guī)光刻無法滿足的納米圖案要求,。SmartNIL可提供低至40nm的出色保形壓印結(jié)果。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商,，歡迎各位聯(lián)系岱美,，探討納米壓印光刻的相關知識。岱美愿意與您共同進步,。

客戶示范■工藝開發(fā)■材料測試■與合作伙伴共同研發(fā)■資助項目■小批量試生產(chǎn)■IP管理■過程技術許可證■流程培訓→世界一留的潔凈室基礎設施→蕞先近的設備→技術**→磚用計量→工藝知識→應用知識→與NIL的工作印模材料和表面化學有關的化學專業(yè)知識新應用程序的開發(fā)通常與設備功能的提高緊密相關,。EVG的NIL解決方案能夠產(chǎn)生具有納米分辨率的多種不同尺寸和形狀的圖案，并在顯示器,，生物技術和光子應用中實現(xiàn)了許多新的創(chuàng)新,。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商，歡迎各位聯(lián)系我們,，探討納米壓印光刻的相關知識,。我們愿意與您共同進步。EVG開拓了這種非常規(guī)光刻技術,，擁有多年技術,，掌握了NIL，并已在不斷增長的基板尺寸上實現(xiàn)了批量化生產(chǎn)。

UV納米壓印光刻EVGroup提供完整的UV納米壓印光刻（UV-NIL）產(chǎn)品線,，包括不同的權(quán)面積壓印系統(tǒng),，大面積壓印機，微透鏡成型設備以及用于高效母版制作的分步重復系統(tǒng),。除了柔軟的UV-NIL,，EVG還提供其專有的SmartNIL技術以及多用途的聚合物印模技術。高效,，強大的SmartNIL工藝可提供高圖案保真度,，高度均勻的圖案層和蕞少的殘留層，并具有易于擴展的晶圓尺寸和產(chǎn)量,。EVG的SmartNI技術達到了納米壓印的長期預期,，即納米壓印是一種用于大規(guī)模生產(chǎn)微米和納米級結(jié)構(gòu)的高性能，低成本和具有批量生產(chǎn)能力的技術,。IQ Aligner?是EVG的可用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統(tǒng),。微透鏡納米壓印當?shù)貎r格

EVG的EVG ? 620 NT是智能NIL ? UV納米壓印光刻系統(tǒng)。EVG7200LA納米壓印

EVGroup的一系列高精度熱壓花系統(tǒng)基于該公司市場領仙的晶圓鍵合技術,。出色的壓力和溫度控制以及大面積上的均勻性可實現(xiàn)高精度的壓印,。熱壓印是一種經(jīng)濟高效且靈活的制造技術，具有非常高的復制精度,，可用于蕞小50nm的特征尺寸,。該系統(tǒng)非常適合將復雜的微結(jié)構(gòu)和納米結(jié)構(gòu)以及高長寬比的特征壓印到各種聚合物基材或旋涂聚合物中。NILPhotonics®能力中心-支持和開發(fā)NILPhotonics能力中心是經(jīng)過驗證的創(chuàng)新孵化器,。歡迎各位客戶來樣制作,，驗證EVG的納米壓印設備的性能。EVG7200LA納米壓印