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來源: 發(fā)布時(shí)間:2024-12-07

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輪廓儀的性能測(cè)量模式:移相干涉(PSI),,白光垂直掃描干涉(VSI),單色光垂直掃描干涉(CSI)樣品臺(tái):150mm/200mm/300mm樣品臺(tái)(可選配)XY平移:±25mm/150mm/200mm/300mm,,傾斜:±5°可選手動(dòng)/電動(dòng)樣品臺(tái)CCD相機(jī)像素:標(biāo)配:1280×960視場范圍:560×750um(10×物鏡)具體視場范圍取決于所配物鏡及CCD相機(jī)光學(xué)系統(tǒng):同軸照明無限遠(yuǎn)干涉成像系統(tǒng)光源:高效LEDZ方向聚焦80mm手動(dòng)聚焦(可選電動(dòng)聚焦)Z方向掃描范圍精密PZT掃描(可選擇高精密機(jī)械掃描,,拓展達(dá)10mm)縱向分辨率<0.1nmRMS重復(fù)性*0.005nm,1σ臺(tái)階測(cè)量**準(zhǔn)確度≤0.75%,;重復(fù)性≤0.1%,,1σ橫向分辨率≥0.35um(100倍物鏡)檢測(cè)速度≤35um/sec,與所選的CCD掩模對(duì)準(zhǔn)輪廓儀免稅價(jià)格通過光學(xué)表面三維輪廓儀的掃描檢測(cè),得出物件的誤差和超差參數(shù),,大達(dá)提高物件在生產(chǎn)加工時(shí)的精確度,。

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NanoX-系列產(chǎn)品PCB測(cè)量應(yīng)用測(cè)試案例測(cè)量種類?基板ASoldMask3D形貌、尺寸?基板ASoldMask粗糙度?基板A綠油區(qū)域3D形貌?基板A綠油區(qū)域Pad粗糙度?基板A綠油區(qū)域粗糙度?基板A綠油區(qū)域pad寬度?基板ATrace3D形貌和尺寸?基板B背面PadNanoX-8000系統(tǒng)主要性能?菜單式系統(tǒng)設(shè)置,,一鍵式操作,,自動(dòng)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)?一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)?支持連接MES系統(tǒng),數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC?具備異常報(bào)警,,急停等功能,,報(bào)警信息可儲(chǔ)存?MTBF≥1500hrs?產(chǎn)能:45s/點(diǎn)(移動(dòng)+聚焦+測(cè)量)(掃描范圍50um)?具備Globalalignment&Unitalignment?自動(dòng)聚焦范圍:±0.3mm?XY運(yùn)動(dòng)速度蕞快

輪廓儀白光干涉的創(chuàng)始人:邁爾爾遜1852-1931美國物理學(xué)家曾從事光速的精密測(cè)量工作邁克爾遜首倡用光波波長作為長度基準(zhǔn)。1881年,,他發(fā)明了一種用以測(cè)量微小長度,,折射率和光波波長的干涉儀,邁克爾遜干涉儀,。他和美國物理學(xué)家莫雷合作,,進(jìn)行了注明的邁克爾遜-莫雷實(shí)驗(yàn),否定了以太de存在,,為愛因斯坦建立狹義相對(duì)論奠定了基礎(chǔ),。由于創(chuàng)制了精密的光學(xué)儀器和利用這些儀器所完成光譜學(xué)和基本度量學(xué)研究,邁克爾遜于1907年獲得諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng),。輪廓儀可以用于測(cè)量產(chǎn)品的尺寸,、形狀和曲率,以確保產(chǎn)品符合設(shè)計(jì)要求,。

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輪廓儀是一種兩坐標(biāo)測(cè)量儀器,,儀器傳感器相對(duì)被測(cè)工件表而作勻速滑行,傳感器的觸針感受到被測(cè)表而的幾何變化,,在X和Z方向分別采樣,,并轉(zhuǎn)換成電信號(hào),該電信號(hào)經(jīng)放大和處理,再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)儲(chǔ)存在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的存儲(chǔ)器中,,計(jì)算機(jī)對(duì)原始表而輪廓進(jìn)行數(shù)字濾波,分離掉表而粗糙度成分后再進(jìn)行計(jì)算,,測(cè)量結(jié)果為計(jì)算出的符介某種曲線的實(shí)際值及其離基準(zhǔn)點(diǎn)的坐標(biāo),,或放大的實(shí)際輪廓曲線,測(cè)量結(jié)果通過顯示器輸出,,也可由打印機(jī)輸出,。(來自網(wǎng)絡(luò))輪廓儀在集成電路的應(yīng)用:封磚Bump測(cè)量視場:72*96(um)物鏡:干涉50X檢測(cè)位置:樣品局部面減薄表面粗糙度分析封裝:300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析面粗糙度分析:2D,3D顯示;線粗糙度分析:Ra,Ry,,Rz,,…器件多層結(jié)構(gòu)臺(tái)階高M(jìn)EMS器件多層結(jié)構(gòu)分析、工藝控制參數(shù)分析激光隱形切割工藝控制世界微一的能夠?qū)崿F(xiàn)激光槽寬度,、深度自動(dòng)識(shí)別和數(shù)據(jù)自動(dòng)生成,,大達(dá)地縮短了激光槽工藝在線檢測(cè)的時(shí)間,避免人工操作帶來的一致性,,可靠性問題自動(dòng)聚焦范圍 : ± 0.3mm,。晶片輪廓儀美元價(jià)

輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用。江蘇輪廓儀推薦廠家

NanoX-8000系統(tǒng)主要性能?菜單式系統(tǒng)設(shè)置,,一鍵式操作,,自動(dòng)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)?一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)?支持連接MES系統(tǒng),數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC?具備異常報(bào)警,,急停等功能,,報(bào)警信息可儲(chǔ)存?MTBF≥1500hrs?產(chǎn)能:45s/點(diǎn)(移動(dòng)+聚焦+測(cè)量)(掃描范圍50um)?具備Globalalignment&Unitalignment?自動(dòng)聚焦范圍:±0.3mm?XY運(yùn)動(dòng)速度蕞快表面三維微觀形貌測(cè)量的意義在生產(chǎn)中,表面三維微觀形貌對(duì)工程零件的許多技術(shù)性能的評(píng)家具有蕞直接的影響,,而且表面三維評(píng)定參數(shù)由于能更權(quán)面,,更真實(shí)的反應(yīng)零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來越受到重視,因此表面三維微觀形貌的測(cè)量就越顯重要,。通過兌三維形貌的測(cè)量可以比較權(quán)面的評(píng)定表面質(zhì)量的優(yōu)劣,,進(jìn)而確認(rèn)加工方法的好壞以及設(shè)計(jì)要求的合理性,這樣就可以反過來通過知道加工,,優(yōu)化加工工藝以及加工出高質(zhì)量的表面,,確保零件使用功能的實(shí)現(xiàn)。表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富,,通??煞譃榻佑|時(shí)和非接觸時(shí)兩種,其中以非接觸式測(cè)量方法為主,。江蘇輪廓儀推薦廠家