關(guān)于三坐標測量輪廓度及粗糙度三坐標測量機是不能測量粗糙度的,，至于測量零件的表面輪廓,，要視三坐標的測量精度及零件表面輪廓度的要求了，如果你的三坐標測量機精度比較高,，但零件輪廓度要求不可,，是可以用三坐標來代替的,。一般三坐標精度都在2-3um左右，而輪廓儀都在2um以內(nèi),，還有就是三坐標可以測量大尺寸零件的輪廓,，因為它有龍門式三坐標和關(guān)節(jié)臂三坐標，而輪廓儀主要用來測量一些小的精密零件輪廓尺寸,，加上粗糙度模塊也可以測量粗糙度,。視場范圍：560×750um（10×物鏡） 具體視場范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機 。晶片輪廓儀樣機試用

NanoX-8000系統(tǒng)主要性能?菜單式系統(tǒng)設(shè)置,，一鍵式操作,，自動數(shù)據(jù)存儲?一鍵式系統(tǒng)校準?支持連接MES系統(tǒng)，數(shù)據(jù)可導入SPC?具備異常報警,，急停等功能,，報警信息可儲存?MTBF≥1500hrs?產(chǎn)能:45s/點（移動+聚焦+測量）（掃描范圍50um）?具備Globalalignment&Unitalignment?自動聚焦范圍：±0.3mm?XY運動速度蕞快如果需要了解更多詳細參數(shù)，請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司,。我們主要經(jīng)營鍵合機,、光刻機、輪廓儀,，隔振臺等設(shè)備,。輪廓測量輪廓儀代理價格輪廓儀廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS,、航空航天,、精密加 工,、表面工程技術(shù),、材料、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域,。

涵蓋面廣的2D,、3D形貌參數(shù)分析：表面三維輪廓儀可測量300余種2D、3D參數(shù),，無論加工的物件使用哪一種評定標準,，都可以提供權(quán)面的檢測結(jié)果作為評定依據(jù)，可輕松獲取被測物件精確的線粗糙度,、面粗糙度,、輪廓度等參數(shù)。四,、穩(wěn)定性強,，高重復(fù)性：儀器運用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計，不受外部環(huán)境影響測量的準確性,。超精密的Z向掃描模塊和測量軟件完美結(jié)合,，保證高重復(fù)性,，將測量誤差降低到亞納米級別。三維表面輪廓儀是精密加工領(lǐng)域必不可少的檢測設(shè)備,，它既保障了生產(chǎn)加工的準確性,，又提高了成品的出產(chǎn)效率，滿足用戶對各項2D,，3D參數(shù)檢測需求的同時,，還依然能夠保持高重復(fù)性，高穩(wěn)定性的運行,，其對精密加工所產(chǎn)生的的作用是舉足輕重的,。

輪廓儀在集成電路的應(yīng)用封裝Bump測量視場：72*96（um）物鏡：干涉50X檢測位置：樣品局部面減薄表面粗糙度分析封裝：300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析面粗糙度分析：2D,3D顯示；線粗糙度分析：Ra,Ry,，Rz,，…器件多層結(jié)構(gòu)臺階高MEMS器件多層結(jié)構(gòu)分析、工藝控制參數(shù)分析激光隱形切割工藝控制世界為一的能夠?qū)崿F(xiàn)激光槽寬度,、深度自動識別和數(shù)據(jù)自動生成,，大達地縮短了激光槽工藝在線檢測的時間，避免人工操作帶來的一致性,，可靠性問題歡迎咨詢,。輪廓儀可用于藍寶石拋光工藝表面粗糙度分析（粗拋與精拋比較）。

    輪廓儀是一種兩坐標測量儀器,，儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行,，傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化，在X和Z方向分別采樣,，并轉(zhuǎn)換成電信號,，該電信號經(jīng)放大和處理，再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號儲存在計算機系統(tǒng)的存儲器中,，計算機對原始表而輪廓進行數(shù)字濾波,，分離掉表而粗糙度成分后再進行計算，測量結(jié)果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準點的坐標,，或放大的實際輪廓曲線,，測量結(jié)果通過顯示器輸出，也可由打印機輸出,。（來自網(wǎng)絡(luò)）輪廓儀在集成電路的應(yīng)用：封磚Bump測量視場：72*96（um）物鏡：干涉50X檢測位置：樣品局部面減薄表面粗糙度分析封裝：300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析面粗糙度分析：2D,3D顯示,；線粗糙度分析：Ra,Ry，Rz,，…器件多層結(jié)構(gòu)臺階高MEMS器件多層結(jié)構(gòu)分析,、工藝控制參數(shù)分析激光隱形切割工藝控制世界微一的能夠?qū)崿F(xiàn)激光槽寬度、深度自動識別和數(shù)據(jù)自動生成，大達地縮短了激光槽工藝在線檢測的時間,，避免人工操作帶來的一致性,。 當激光或光電傳感器沿著物體表面移動時，輪廓儀會記錄下物體表面的高度或位置信息,。輪廓測量輪廓儀代理價格

通過光學表面三維輪廓儀的掃描檢測,，得出物件的誤差和超差參數(shù)，大達提高物件在生產(chǎn)加工時的精確度,。晶片輪廓儀樣機試用

白光干涉輪廓儀對比激光共聚焦輪廓儀白光干涉3D顯微鏡：干涉面成像,，多層垂直掃描蕞好高度測量精度：<1nm高度精度不受物鏡影響性價比好。激光共聚焦3D顯微鏡：點掃描合成面成像,，多層垂直掃描Keyence（日本）蕞好高度測量精度：～10nm高度精度由物鏡決定,，1um精度@10倍90萬-130萬三維光學輪廓儀采用白光軸向色差原理（性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀）對樣品表面進行快速、重復(fù)性高,、高分辨率的三維測量,，測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌，臺階高度,，給MEMS,、半導體材料、太陽能電池,、醫(yī)療工程,、制藥、生物材料,，光學元件,、陶瓷和先進材料的研發(fā)和生產(chǎn)提供了一個精確的、價格合理的計量方案,。（來自網(wǎng)絡(luò)）晶片輪廓儀樣機試用