首先準備一塊柔性薄膜作為彈性基底層，然后將巰基-烯預聚物旋涂在具有表面結(jié)構(gòu)的母板上,，彈性薄膜壓印在巰基-烯層上，與材料均勻接觸,。巰基-烯材料可以在自然環(huán)境中固化通過“點擊反應”形成交聯(lián)聚合物，不受氧氣和水的阻聚作用,。順利分離開母板后,，彈性薄膜與固化后的巰基-烯層緊密連接在一起，獲得雙層結(jié)構(gòu)的復合柔性模板,。由于良好的材料特性，剛性巰基-烯結(jié)構(gòu)層可以實現(xiàn)較高的分辨率,。因此,，利用該方法可以制備高 分辨的復合柔性模板，經(jīng)過表面防粘處理后可以作為軟壓印模板使用,。該研究利用新方法制備了以PDMS和PET為彈性基底的亞100nm線寬的光柵結(jié)構(gòu)復合軟壓印模板,。相關(guān)研究成果發(fā)表于《納米科技與納米技術(shù)雜志》（JournalofNanoscienceandNanotechnology）。（來自網(wǎng)絡,。EVG ? 720是自動SmartNIL ? UV紫外光納米壓印光刻系統(tǒng),。青海納米壓印研發(fā)可以用嗎

SmartNIL是行業(yè)領(lǐng)仙的NIL技術(shù)，可對小于40nm*的極小特征進行圖案化,，并可以對各種結(jié)構(gòu)尺寸和形狀進行圖案化,。SmartNIL與多用途軟戳技術(shù)相結(jié)合，可實現(xiàn)無人可比的吞吐量,，并具有顯著的擁有成本優(yōu)勢,，同時保留了可擴展性和易于維護的操作。EVG的SmartNIL兌現(xiàn)了納米壓印的長期前景,，即納米壓印是一種用于大規(guī)模制造微米級和納米級結(jié)構(gòu)的低成本,，大批量替代光刻技術(shù)。注：*分辨率取決于過程和模板,。如果需要詳細的信息,，請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務有限公司。鏡片成型納米壓印試用在納米光學器件中,，納米壓印可以用于制備納米級的光學結(jié)構(gòu),，用于改善光學器件的性能。

納米壓印應用一：鏡片成型晶圓級光學（WLO）的制造得到EVG高達300mm的高精度聚合物透鏡成型和堆疊設(shè)備的支持,。使用從晶片尺寸的主印模復制來的工作印模,，通過軟UV壓印光刻將透鏡圖案轉(zhuǎn)移到光學聚合物材料中,。EVGroup提供混合和單片微透鏡成型工藝，可以輕松地適應各種材料組合,，以用于工作印模和微透鏡材料,。EVG系統(tǒng)是客戶進行大批量晶圓級鏡頭復制的手選。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商,，歡迎各位聯(lián)系我們,，探討納米壓印光刻的相關(guān)知識。我們愿意與您共同進步,。

納米壓印微影技術(shù)有望優(yōu)先導入LCD面板領(lǐng)域原本計劃應用在半導體生產(chǎn)制程的納米壓印微影技術(shù)(Nano-ImpLithography,；NIL)，現(xiàn)將率先應用在液晶顯示器(LCD)制程中,。NIL為次世代圖樣形成技術(shù),。據(jù)ETNews報導，南韓顯示器面板企業(yè)LCD制程研發(fā)小組,，未確認NIL設(shè)備實際圖樣形成能力,，直接參訪海外NIL設(shè)備廠。該制程研發(fā)小組透露,，若引進相關(guān)設(shè)備,，將可提升面板性能。并已展開具體供貨協(xié)商,。NIL是以刻印圖樣的壓印機,，像蓋章般在玻璃基板上形成圖樣的制程。在基板上涂布UV感光液后,，再以壓印機接觸施加壓力,，印出面板圖樣。之后再經(jīng)過蝕刻制程形成圖樣,。NIL可在LCD玻璃基板上刻印出偏光圖樣,，不需再另外貼附偏光薄膜。雖然在面板制程中需增加NIL,、蝕刻制程,，但省落偏光膜貼附制程，可維持同樣的生產(chǎn)成本,。偏光膜會吸收部分光線降低亮度,。若在玻璃基板上直接形成偏光圖樣，將不會發(fā)生降低亮度的情況,。通常面板分辨率越高,，因配線較多，較難確保開口率(ApertureRatio),。EVG的納米壓印設(shè)備已使納米圖案能夠在面板尺寸蕞大為第三代（550 mm x 650 mm）的基板上實現(xiàn),。

EVG®610紫外線納米壓印光刻系統(tǒng)具有紫外線納米壓印功能的通用研發(fā)掩膜對準系統(tǒng),，從碎片到蕞大達150毫米。該工具支持多種標準光刻工藝,，例如真空,，軟，硬和接近曝光模式,，并且可以選擇背面對準,。此外，該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能,，包括鍵對準和納米壓印光刻（NIL）,。EVG610提供快速的處理和重新安裝工具，以改變用戶需求,，光刻和NIL之間的轉(zhuǎn)換時間瑾為幾分鐘,。其先進的多用戶概念可以適應從初學者到**級別的所有需求，因此使其成為大學和研發(fā)應用程序的理想選擇,。NIL已被證明是能夠在大面積上制造納米圖案的蕞經(jīng)濟,、高效的方法。鏡片成型納米壓印試用

HERCULES?NIL是完全集成的納米壓印光刻解決方案,，可實現(xiàn)300 mm的大批量生產(chǎn)。青海納米壓印研發(fā)可以用嗎

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