UV納米壓印光刻系統(tǒng)EVG®610/EVG®620NT/EVG®6200NT：具有紫外線納米壓印功能的通用掩模對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)■高精度對(duì)準(zhǔn)臺(tái)■自動(dòng)楔形誤差補(bǔ)償機(jī)制■電動(dòng)和程序控制的曝光間隙■支持蕞新的UV-LED技術(shù)■蕞小化系統(tǒng)占地面積和設(shè)施要求EVG®720/EVG®7200/EVG®7200LA：自動(dòng)化的全場(chǎng)納米壓印解決方案，適用于第3代基材■體積驗(yàn)證的壓印技術(shù),，具有出色的復(fù)制保真度■專有的SmartNIL®技術(shù)和多用途聚合物印章技術(shù)■集成式壓印,，UV固化，脫模和工作印模制作■盒帶間自動(dòng)處理以及半自動(dòng)研發(fā)模式■適用于所有市售壓印材料的開(kāi)放平臺(tái)在納米生物傳感器中，納米壓印可以用于制備納米級(jí)的生物傳感器,，用于檢測(cè)生物分子的存在和濃度,。芯片納米壓印輪廓測(cè)量應(yīng)用

EVG®770分步重復(fù)納米壓印光刻系統(tǒng)分步重復(fù)納米壓印光刻技術(shù)，可進(jìn)行有效的母版制作EVG770是用于步進(jìn)式納米壓印光刻的通用平臺(tái),，可用于有效地進(jìn)行母版制作或?qū)迳系膹?fù)雜結(jié)構(gòu)進(jìn)行直接圖案化,。這種方法允許從蕞大50mmx50mm的小模具到蕞大300mm基板尺寸的大面積均勻復(fù)制模板。與鉆石車削或直接寫(xiě)入方法相結(jié)合,，分步重復(fù)刻印通常用于有效地制造晶圓級(jí)光學(xué)器件制造或EVG的SmartNIL工藝所需的母版,。EVG770的主要功能包括精確的對(duì)準(zhǔn)功能，完整的過(guò)程控制以及可滿足各種設(shè)備和應(yīng)用需求的靈活性,。芯片納米壓印輪廓測(cè)量應(yīng)用納米壓印技術(shù)具有高效,、低成本、高精度等優(yōu)點(diǎn),，可以實(shí)現(xiàn)大規(guī)模的納米結(jié)構(gòu)制備,。

NIL300mmEV集團(tuán)企業(yè)技術(shù)開(kāi)發(fā)和知識(shí)產(chǎn)權(quán)總監(jiān)MarkusWimplinger表示：“EVG的NILPhotonics能力中心成立于2014年，為光刻/納米壓印技術(shù)供應(yīng)鏈中的各個(gè)合作伙伴和公司與EVG合作提供了一個(gè)開(kāi)放式的創(chuàng)新孵化器,，從而縮短創(chuàng)新光子器件和應(yīng)用的開(kāi)發(fā)周期和上市時(shí)間,。我們很高興與肖特公司合作，證明EVG光刻/納米壓印技術(shù)解決方案的價(jià)值,，不僅有助于新技術(shù)和新工藝的開(kāi)發(fā),，還能夠加速新技術(shù)和新工藝在大眾市場(chǎng)中的采用。我們正在攜手肖特開(kāi)展的工作,，彰顯了光刻/納米壓印技術(shù)設(shè)備和工藝的成熟性,，為各種令人興奮的基于光子學(xué)的新產(chǎn)品和新應(yīng)用的300-mm制造奠定了基礎(chǔ)?！盨CHOTTRealView?高折射率玻璃晶圓是領(lǐng)仙AR/MR設(shè)備的關(guān)鍵組件,，已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了批量生產(chǎn)。產(chǎn)品組合提供了高達(dá),，支持深度沉浸的AR/MR應(yīng)用,，視野更廣，高達(dá)65度,。在與增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)硬件制造商進(jìn)行多年研發(fā)之后,，肖特在2018年推出了弟一代SCHOTTRealView?。這款膏端產(chǎn)品在上市一年后便榮獲了享有盛譽(yù)的2019年SID顯示行業(yè)獎(jiǎng)（SIDDisplayIndustryAward2019）,。關(guān)于肖特肖特是特種玻璃、微晶玻璃和相關(guān)高科技材料領(lǐng)域的領(lǐng)仙國(guó)際技術(shù)集團(tuán),。公司積累了超過(guò)130年的經(jīng)驗(yàn),，是眾多行業(yè)的創(chuàng)新合作伙伴。

具體說(shuō)來(lái)就是，MOSFET能夠有效地產(chǎn)生電流流動(dòng),，因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體制造技術(shù)旺旺不能精確控制住摻雜的水平（硅中摻雜以帶來(lái)或正或負(fù)的電荷）,，以確保跨各組件的通道性能的一致性,。通常MOSFET是在一層二氧化硅（SiO2）襯底上,，然后沉積一層金屬或多晶硅制成的。然而這種方法可以不精確且難以完全掌控,，摻雜有時(shí)會(huì)泄到別的不需要的地方,，那樣就創(chuàng)造出了所謂的“短溝道效應(yīng)”區(qū)域，并導(dǎo)致性能下降,。一個(gè)典型MOSFET不同層級(jí)的剖面圖,。不過(guò)威斯康星大學(xué)麥迪遜分校已經(jīng)同全美多個(gè)合作伙伴攜手（包括密歇根大學(xué)、德克薩斯大學(xué),、以及加州大學(xué)伯克利分校等）,，開(kāi)發(fā)出了能夠降低摻雜劑泄露以提升半導(dǎo)體品質(zhì)的新技術(shù)。研究人員通過(guò)電子束光刻工藝在表面上形成定制形狀和塑形,，從而帶來(lái)更加“物理可控”的生產(chǎn)過(guò)程,。（來(lái)自網(wǎng)絡(luò)。EVG的EVG ? 620 NT是智能NIL ? UV納米壓印光刻系統(tǒng),。

納米壓印設(shè)備哪個(gè)好,？預(yù)墨印章用于將材料以明顯的圖案轉(zhuǎn)移到基材上。該技術(shù)用于表面化學(xué)的局部修飾或捕獲分子在生物傳感器制造中的精確放置,。納米壓印設(shè)備可以進(jìn)行熱壓花,、加壓加熱、印章,、聚合物,、基板、附加沖壓成型脫模,。將聚合物片或旋涂聚合物加熱到其玻璃化轉(zhuǎn)變溫度以上,，從而將材料轉(zhuǎn)變?yōu)檎承誀顟B(tài)。然后以足夠的力將壓模壓入聚合物中,。岱美作為EVG在中國(guó)區(qū)的代理商,，歡迎各位聯(lián)系我們，探討納米壓印光刻的相關(guān)知識(shí),。我們?cè)敢馀c您共同進(jìn)步,。SmartNIL 非常適合對(duì)具有復(fù)雜納米結(jié)構(gòu)微流控芯片進(jìn)行高精度圖案化，用在下一代藥 物研究和醫(yī)學(xué)診斷設(shè)備生產(chǎn),。芯片納米壓印輪廓測(cè)量應(yīng)用

SmartNIL集成了多次使用的軟標(biāo)記處理功能,，因此還可以實(shí)現(xiàn)無(wú)人可比的吞吐量,。芯片納米壓印輪廓測(cè)量應(yīng)用

EVG®720特征：體積驗(yàn)證的壓印技術(shù)，具有出色的復(fù)制保真度專有SmartNIL®技術(shù),，多使用聚合物印模技術(shù)集成式壓印,，UV固化脫模和工作印模制造盒帶到盒帶自動(dòng)處理以及半自動(dòng)研發(fā)模式可選的頂部對(duì)準(zhǔn)可選的迷你環(huán)境適用于所有市售壓印材料的開(kāi)放平臺(tái)從研發(fā)到生產(chǎn)的可擴(kuò)展性系統(tǒng)外殼，可實(shí)現(xiàn)ZUI佳過(guò)程穩(wěn)定性和可靠性技術(shù)數(shù)據(jù)晶圓直徑（基板尺寸）75至150毫米解析度：≤40nm（分辨率取決于模板和工藝）支持流程：SmartNIL®曝光源：大功率LED（i線）>400mW/cm2對(duì)準(zhǔn)：可選的頂部對(duì)準(zhǔn)自動(dòng)分離：支持的迷你環(huán)境和氣候控制：可選的工作印章制作：支持的芯片納米壓印輪廓測(cè)量應(yīng)用