厚度標(biāo)準(zhǔn)：

所有 Filmetrics 厚度標(biāo)準(zhǔn)都是得到驗(yàn)證可追溯的 NIST 標(biāo)準(zhǔn),。

S-Custom-NIST：在客戶提供的樣品上定制可追溯的 NIST 厚度校準(zhǔn),。 

TS-Focus-SiO2-4-3100SiO2-on-Si ：厚度標(biāo)準(zhǔn),，外加調(diào)焦區(qū)和單晶硅基準(zhǔn),，厚度大約 3100A,，4" 晶圓,。

TS-Focus-SiO2-4-10000SiO2-on-Si ：厚度標(biāo)準(zhǔn),，外加調(diào)焦區(qū)和單晶硅基準(zhǔn),，厚度大約 10000A,，4" 晶圓,。

TS-Hardcoat-4μm：丙烯酸塑料硬涂層厚度標(biāo)準(zhǔn)，厚度大約 4um,，直徑 2",。

TS-Hardcoat-Trans：背面透明的硬涂層,，可用于透射測(cè)量。

TS-Parylene-4um：丙烯酸塑料上的聚對(duì)二甲苯厚度標(biāo)準(zhǔn),，厚度大約 4um ,，直徑2"。

TS-Parylene-8um：硅基上的聚對(duì)二甲苯厚度標(biāo)準(zhǔn),，厚度大約 8um,，23mm x 23mm。

TS-SiO2-4-7200：硅基上的二氧化硅厚度標(biāo)準(zhǔn),，厚度大約 7200A,，4" 晶圓。

TS-SiO2-4-7200-NIST：可追溯的 NIST SiO2-4-7200 厚度標(biāo)準(zhǔn),。

TS-SiO2-6-Multi：多厚度硅基上的二氧化硅標(biāo)準(zhǔn): 125埃米,，250埃米，500埃米,，1000埃米,，5000埃米，和 10000埃米 (+/-10%誤差),，6英寸晶圓,。TS-SS3-SiO2-8000：專為SS-3樣品平臺(tái)設(shè)計(jì)之二氧化硅厚度標(biāo)準(zhǔn)片,厚度大約為 8000A。 監(jiān)測(cè)控制生產(chǎn)過(guò)程中移動(dòng)薄膜厚度,。高達(dá)100 Hz的采樣率可以在多個(gè)測(cè)量位置得到,。Filmetrics F20膜厚儀美元價(jià)

不管您參與對(duì)顯示器的基礎(chǔ)研究還是制造，F(xiàn)ilmetrics 都能夠提供您所需要的...測(cè)量液晶層- 聚酰亞胺,、硬涂層,、液晶、間隙測(cè)量有機(jī)發(fā)光二極管層- 發(fā)光,、電注入,、緩沖墊、封裝對(duì)于空白樣品,，我們建議使用 F20 系列儀器,。 對(duì)于圖案片，F(xiàn)ilmetrics的F40用于測(cè)量薄膜厚度已經(jīng)找到了顯示器應(yīng)用***使用,。

測(cè)量范例此案例中,，我們成功地測(cè)量了藍(lán)寶石和硼硅玻璃基底上銦錫氧化物薄膜厚度。與Filmetrics專有的ITO擴(kuò)散模型結(jié)合的F10-RTA-EXR儀器,，可以很容易地在380納米到1700納米內(nèi)同時(shí)測(cè)量透射率和反射率以確定厚度,，折射率，消光系數(shù),。由于ITO薄膜在各種基底上不同尋常的的擴(kuò)散,，這個(gè)擴(kuò)展的波長(zhǎng)范圍是必要的,。 有機(jī)發(fā)光膜厚儀保修期多久可測(cè)量的層數(shù): 通常能夠測(cè)量薄膜堆內(nèi)的三層**薄膜。 在某些情況下,，能夠測(cè)量到十幾層,。

F60 系列

包含的內(nèi)容：集成平臺(tái)/光譜儀/光源裝置（不含平臺(tái)）4", 6" and 200mm 參考晶圓TS-SiO2-4-7200 厚度標(biāo)準(zhǔn)真空泵備用燈

型號(hào)厚度范圍*波長(zhǎng)范圍

F60-t:20nm-70μm 380-1050nm

F60-t-UV:5nm-40μm 190-1100nm

F60-t-NIR:100nm-250μm 950-1700nm

F60-t-EXR:20nm-250μm 380-1700nm

F60-t-UVX:5nm-250μm 190-1700nm

F60-t-XT0:2μm-450μm 1440-1690nm

F60-t-s980:4μm-1mm 960-1000nm

F60-t-s1310:7μm-2mm 1280-1340nm

F60-t-s1550:10μm-3mm 1520-1580nm

額外的好處：每臺(tái)系統(tǒng)內(nèi)建超過(guò)130種材料庫(kù), 隨著不同應(yīng)用更超過(guò)數(shù)百種應(yīng)用工程師可立刻提供幫助（周一 - 周五）網(wǎng)上的 “手把手” 支持 (需要連接互聯(lián)網(wǎng))硬件升級(jí)計(jì)劃

    F20系列是世界上****的臺(tái)式薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng)，只需按下一個(gè)按鈕,，不到一秒鐘即可同時(shí)測(cè)量厚度和折射率,。設(shè)置也非常簡(jiǎn)單,只需把設(shè)備連接到您運(yùn)行Windows?系統(tǒng)的計(jì)算機(jī)USB端口,并連接樣品平臺(tái)就可以了。F20系列不同型號(hào)的選擇,，主要取決于您需要測(cè)量的薄膜厚度（確定所需的波長(zhǎng)范圍）。型號(hào)厚度范圍*波長(zhǎng)范圍F2015nm-70μm380-1050nmF20-EXR15nm-250μm380-1700nmF20-NIR100nm-250μm950-1700nmF20-UV1nm-40μm190-1100nmF20-UVX1nm-250μm190-1700nmF20-XTμm-450μm1440-1690nm*取決于薄膜種類Filmetrics膜厚測(cè)試儀通過(guò)分析薄膜的反射光譜來(lái)測(cè)量薄膜的厚度,，通過(guò)非可見(jiàn)光的測(cè)量,，可以測(cè)量薄至1nm或厚至13mm的薄膜。測(cè)量結(jié)果可在幾秒鐘顯示：薄膜厚度,、顏色,、折射率甚至是表面粗糙度。1.有五種不同波長(zhǎng)選擇(波長(zhǎng)范圍從紫外220nm至近紅外1700nm)2.比較大樣品薄膜厚度的測(cè)量范圍是：3nm～25um3.精度高于,、氧化物,、氮化物；,、Polyimides,；3.光電鍍膜應(yīng)用:硬化膜、抗反射膜,、濾波片,。1.光源有壽命，不用時(shí)請(qǐng)關(guān)閉2.光纖易損,，不要彎折,，不要頻繁插拔3.精密儀器。F3-s980 是波長(zhǎng)為980奈米的版本,，是為了針對(duì)成本敏銳的應(yīng)用而設(shè)計(jì),。

FSM 413SP

AND FSM 413C2C 紅外干涉測(cè)量設(shè)備

適用于所有可讓紅外線通過(guò)的材料：硅、藍(lán)寶石,、砷化鎵,、磷化銦、碳化硅,、玻璃,、石  英、聚合物…………

應(yīng)用:

   襯底厚度(不受圖案硅片,、有膠帶,、凹凸或者粘合硅片影響)

   平整度

   厚度變化 (TTV)

   溝槽深度

   過(guò)孔尺寸,、深度、側(cè)壁角度

   粗糙度

薄膜厚度

不同半導(dǎo)體材料的厚度

   環(huán)氧樹(shù)脂厚度

   襯底翹曲度

   晶圓凸點(diǎn)高度(bump height)

MEMS 薄膜測(cè)量

TSV 深度,、側(cè)壁角度...

FSM413SP半自動(dòng)機(jī)臺(tái)人工取放芯片

Wafer 厚度3D圖形

FSM413C2C Fully

automatic 全自動(dòng)機(jī)臺(tái)人工取放芯片

可適配Cassette,、SMIF POD、FOUP.

Filmetrics 提供一系列的和測(cè)繪系統(tǒng)來(lái)測(cè)量 3nm 到 1mm 的單層,、 多層、 以及單獨(dú)的光刻膠薄膜,。Filmetrics F20膜厚儀美元價(jià)

    軟件升級(jí)提供專門(mén)用途的軟件,。UPG-RT-to-Thickness升級(jí)的厚度求解軟件，需要UPG-Spec-to-RT,。UPG-Thickness-to-n&k升級(jí)的折射率求解軟件,，需要UPG-RT-to-Thickness。UPG-F10-AR-HC為F10-AR升級(jí)的FFT硬涂層厚度測(cè)量軟件,。包括TS-Hardcoat-4um厚度標(biāo)準(zhǔn),。厚度測(cè)量范圍。UPG-RT-to-Color&Regions升級(jí)的色彩與光譜區(qū)域分析軟件,，需要UPG-Spec-to-RT,。

其他：手提電腦手提電腦預(yù)裝FILMeasure軟件、XP和Microsoft辦公軟件,。電腦提箱用于攜帶F10,、F20、F30和F40系統(tǒng)的提箱,。ConflatFeedthrough真空穿通,，"conflat、雙出入孔SMA,，并通過(guò)泄漏測(cè)試,。LensPaper-CenterHole**開(kāi)孔鏡頭紙，用于保護(hù)面朝下的樣品,，5本各100張,。 Filmetrics F20膜厚儀美元價(jià)

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司主要經(jīng)營(yíng)范圍是儀器儀表，擁有一支專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)和良好的市場(chǎng)口碑,。公司自成立以來(lái),，以質(zhì)量為發(fā)展，讓匠心彌散在每個(gè)細(xì)節(jié),，公司旗下磁記錄,，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn),，測(cè)試儀器的批發(fā)深受客戶的喜愛(ài),。公司秉持誠(chéng)信為本的經(jīng)營(yíng)理念,，在儀器儀表深耕多年，以技術(shù)為先導(dǎo),，以自主產(chǎn)品為重點(diǎn),，發(fā)揮人才優(yōu)勢(shì)，打造儀器儀表良好品牌,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)立足于全國(guó)市場(chǎng),，依托強(qiáng)大的研發(fā)實(shí)力，融合前沿的技術(shù)理念,，飛快響應(yīng)客戶的變化需求,。