白光干涉輪廓儀對比激光共聚焦輪廓儀

白光干涉3D顯微鏡：

干涉面成像,，

多層垂直掃描

比較好高度測量精度：< 1nm

高度精度不受物鏡影響

性價(jià)比好

激光共聚焦3D顯微鏡：

點(diǎn)掃描合成面成像，

多層垂直掃描

Keyence（日本）

比較好高度測量精度：～10nm

高度精度由物鏡決定,，1um精度@10倍

90萬-130萬

三維光學(xué)輪廓儀采用白光軸向色差原理（性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀）對樣品表面進(jìn)行快速,、重復(fù)性高、高 分辨率的三維測量,，測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌,，臺階高度，給MEMS,、半導(dǎo)體材料,、太陽能電池、醫(yī)療工程,、制藥,、生物材料，光學(xué)元件,、陶瓷和先進(jìn)材料的研發(fā)和生產(chǎn)提供了一個(gè)精確的,、價(jià)格合理的計(jì)量方案。（來自網(wǎng)絡(luò)） 表面形貌（粗糙度,，平面度,，平行度，臺階高度,，錐角等）,。江蘇輪廓儀廠家

輪廓儀的物鏡知多少?  

白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理，以三維非接觸時(shí)方法測量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,，典型結(jié)果包括：

表面形貌（粗糙度,，平面度，平行度,，臺階高度,，錐角等）

幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸,，曲率半徑,，特征區(qū)域的面積和集體，特征圖形的位置和數(shù)量等）

白光干涉系統(tǒng)基于無限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng),，通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,，使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x,。  

因此物鏡是輪廓儀****的部件，

物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求,，為了滿足各種精度的需求,，需要提供各種物鏡，例如標(biāo)配的10×,， 還有2.5×,，5×，20×,，50×,，100×，可選,。  

不同的鏡頭價(jià)格有很大的差別,，因此需要量力根據(jù)需求選配對應(yīng)的鏡頭哦。

輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用：

晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程,，其中由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小,，任何微小的黏附異物和下次均會導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺 陷，因此必須對光罩和晶圓的表面輪廓進(jìn)行檢測,，檢測相應(yīng)的輪廓尺寸,。 四川輪廓儀出廠價(jià)物鏡是輪廓儀****的部件， 物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求,。

輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用：

晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程,，其中由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小，任何微小的黏附異物和下次均會導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺 陷,，因此必須對光罩和晶圓的表面輪廓進(jìn)行檢測,，檢測相應(yīng)的輪廓尺寸。

白光輪廓儀的典型應(yīng)用：

對各種產(chǎn)品,，不見和材料表面的平面度,，粗糙度，波溫度,，面型輪廓,，表面缺 陷，磨損情況,，腐蝕情況,，孔隙間隙，臺階高度,，完全變形情況,，加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

NanoX-8000輪廓儀的自動化系統(tǒng)主要配置 ：

? XY比較大行程650*650mm

? 支持415*510mm/510*610mm兩種尺寸

? XY光柵分辨率 0.1um,，定位精度 5um,，重復(fù)精度

1um

? XY 平臺比較大移動速度：200mm/s

? Z 軸聚焦：100mm行程自動聚焦,，0.1um移動步進(jìn)

? 隔振系統(tǒng)：集成氣浮隔振 + 大理石基石

? 配置真空臺面

? 配置Barcode 掃描板邊二維碼，可自動識別產(chǎn)品信息

? 主設(shè)備尺寸：1290(W)x1390(D)x2190(H) mm

如果想要了解更加詳細(xì)的產(chǎn)品信息,，請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司,。 產(chǎn)能 : 45s/點(diǎn) （移動 + 聚焦 + 測量）（掃描范圍 50um）。

輪廓儀的**團(tuán)隊(duì)

夏勇博士,，江蘇省雙創(chuàng)人才

15年ADE,，KAL-Tencor半導(dǎo)體檢測設(shè)備公司研發(fā)、項(xiàng)目管理經(jīng)驗(yàn)

SuperSight Inc. CEO/共同創(chuàng)始人,，太陽能在線檢測設(shè)備

唐壽鴻博士,，國家千人****

25年 ADE，KAL-Tencor半導(dǎo)體檢測設(shè)備公司研發(fā)經(jīng)驗(yàn)

KLA-Tencor ***研發(fā)總監(jiān),，***圖像處理,、算法**

許衡博士，軟件系統(tǒng)研發(fā)

10 年硅谷世界500強(qiáng)研發(fā)經(jīng)驗(yàn)（BD Medical

Instrument）

光學(xué)測量,、軟件系統(tǒng)

岱美儀器與**組為您提供輪廓儀的技術(shù)支持,，為您排憂解難。 儀器運(yùn)用高性能內(nèi)部抗震設(shè)計(jì),，不受外部環(huán)境影響測量的準(zhǔn)確性,。半導(dǎo)體輪廓儀國內(nèi)代理

測量模式：移相干涉（PSI），白光垂直掃描干涉（VSI）,，單色光垂直掃描干涉（CSI）,。江蘇輪廓儀廠家

隨著儀器儀表和計(jì)算機(jī)的完美結(jié)合，為了更好的滿足人們對精神世界的需求,，體驗(yàn)多維世界給人們帶來的**,，儀器儀表的虛擬化開始發(fā)展。身臨其境接受客觀實(shí)物,，給美又增添了一絲創(chuàng)意,。在計(jì)算機(jī)和互聯(lián)網(wǎng)的急速發(fā)展到整個(gè)世界的背景下，儀器儀表也開始向網(wǎng)絡(luò)化突進(jìn),，結(jié)合新的科技設(shè)備,，通過廣域網(wǎng)和局域網(wǎng)直接操控儀器儀表，對公司的管理,，經(jīng)營一體化,，應(yīng)用模式的分析等各大方面產(chǎn)生影響。有限責(zé)任公司企業(yè)通過網(wǎng)絡(luò)這個(gè)平臺與客戶直接的交流,，突破了世界和空間的限制,，行家遠(yuǎn)程操控對儀器儀表進(jìn)行維護(hù)和分析。高科技的產(chǎn)品也隨之而來。工業(yè)領(lǐng)域轉(zhuǎn)型升級,、提升發(fā)展質(zhì)量等有利于儀器儀表行業(yè)的發(fā)展,；**安全,、社會安全,、產(chǎn)業(yè)和信息安全等需要自主、磁記錄,，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā)裝備,，成為全社會共識,；隨著中國的不斷進(jìn)步，世界上只有一個(gè)救世主——市場,，能救企業(yè)的只有你自己——自強(qiáng),，提高其他型重點(diǎn)競爭力才是中國制造業(yè)的獨(dú)一出路。以顯微科學(xué)儀器行業(yè)的發(fā)展與變化為例,，以親身的實(shí)踐為例,，毛磊認(rèn)為，隨著經(jīng)濟(jì)的不斷發(fā)展,，我國的環(huán)境和實(shí)力都發(fā)生了巨大變化,，有了完全不同的基礎(chǔ)，這為國產(chǎn)科學(xué)儀器走向**增強(qiáng)了信心,。江蘇輪廓儀廠家

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司總部位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)加太路39號第五層六十五部位,，是一家磁記錄、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】的公司,。公司自創(chuàng)立以來，投身于磁記錄,，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā),，是儀器儀表的主力軍,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終以本分踏實(shí)的精神和必勝的信念，影響并帶動團(tuán)隊(duì)取得成功,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終關(guān)注自身,，在風(fēng)云變化的時(shí)代，對自身的建設(shè)毫不懈怠,，高度的專注與執(zhí)著使岱美儀器技術(shù)服務(wù)在行業(yè)的從容而自信,。