EVG ® 610 紫外線納米壓印光刻系統(tǒng)

具有紫外線納米壓印功能的通用研發(fā)掩膜對準系統(tǒng),，從碎片到比較大150毫米,。

該工具支持多種標準光刻工藝，例如真空,，軟,，硬和接近曝光模式，并且可以選擇背面對準。此外，該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能,，包括鍵對準和納米壓印光刻（NIL）。EVG610提供快速的處理和重新安裝工具,，以改變用戶需求,，光刻和NIL之間的轉(zhuǎn)換時間*為幾分鐘。其先進的多用戶概念可以適應(yīng)從初學(xué)者到**級別的所有需求,，因此使其成為大學(xué)和研發(fā)應(yīng)用程序的理想選擇,。

EVG開拓了這種非常規(guī)光刻技術(shù)，擁有多年技術(shù),，掌握了NIL,，并已在不斷增長的基板尺寸上實現(xiàn)了批量生產(chǎn)。高校納米壓印報價

HERCULES NIL 300 mm提供了市場上**的納米壓印功能,，具有較低的力和保形壓印,，快速的高功率曝光和平滑的壓模分離。該系統(tǒng)支持各種設(shè)備和應(yīng)用程序的生產(chǎn),，包括用于增強/虛擬現(xiàn)實（AR / VR）頭戴式耳機的光學(xué)設(shè)備，3D傳感器,，生物醫(yī)學(xué)設(shè)備,，納米光子學(xué)和等離激元學(xué)。

HERCULES ® NIL特征：

全自動UV-NIL壓印和低力剝離

**多300毫米的基材

完全模塊化的平臺,，具有多達八個可交換過程模塊（壓印和預(yù)處理）

200毫米/ 300毫米橋接工具能力

全區(qū)域烙印覆蓋

批量生產(chǎn)**小40 nm或更小的結(jié)構(gòu)

支持各種結(jié)構(gòu)尺寸和形狀,，包括3D

適用于高地形（粗糙）表面

*分辨率取決于過程和模板

安徽氮化鎵納米壓印EVG的EVG ? 620 NT是智能NIL ? UV納米壓印光刻系統(tǒng)。

      **的衍射波導(dǎo)設(shè)計商和制造商WaveOptics***宣布與EV Group（EVG）進行合作,，EV Group是晶圓鍵合和納米壓印光刻設(shè)備的**供應(yīng)商,，以帶來高性能增強現(xiàn)實（ AR）波導(dǎo)以當(dāng)今業(yè)界*低的成本進入大眾市場。波導(dǎo)是可穿戴AR的關(guān)鍵光學(xué)組件,。

      WaveOptics首席執(zhí)行官David Hayes評論：“這一合作伙伴關(guān)系標志著增強現(xiàn)實行業(yè)的轉(zhuǎn)折點,，是大規(guī)模生產(chǎn)高質(zhì)量增強現(xiàn)實解決方案的關(guān)鍵步驟，這是迄今為止尚無法實現(xiàn)的能力,?！?EVG的專業(yè)知識與我們可擴展的通用技術(shù)的結(jié)合將使到明年年底，AR終端用戶產(chǎn)品的市場價格將低于600美元,?！斑@項合作是釋放AR可穿戴設(shè)備發(fā)展的關(guān)鍵；我們共同處于有利位置,，可以在AR中引入大眾市場創(chuàng)新,，以比以往更低的成本開辟了可擴展性的新途徑,。”

HERCULES ® NIL完全模塊化和集成SmartNIL ® UV-NIL系統(tǒng)達300毫米

結(jié)合EVG的SmartNIL一個完全模塊化平臺®技術(shù)支持AR / VR,，3D傳感器,，光子和生物技術(shù)生產(chǎn)應(yīng)用

EVG的HERCULES NIL 300 mm是一個完全集成的跟 蹤系統(tǒng)，將清潔,，抗蝕劑涂層和烘烤預(yù)處理步驟與EVG專有的SmartNIL大面積納米壓印光刻（NIL）工藝結(jié)合在一個平臺上,，用于直徑比較大為300 mm的晶圓。它是***個基于EVG的全模塊化設(shè)備平臺和可交換模塊的NIL系統(tǒng),，可為客戶提供比較大的自由度來配置他們的系統(tǒng),，以比較好地滿足其生產(chǎn)需求，包括200 mm和300 mm晶圓的橋接功能,。

納米壓印設(shè)備可用來進行熱壓花,、加壓加熱、印章,、聚合物,、基板、附加沖壓成型脫模,。

納米壓印應(yīng)用一：鏡片成型

晶圓級光學(xué)（WLO）的制造得到EVG高達300 mm的高精度聚合物透鏡成型和堆疊設(shè)備的支持,。使用從晶片尺寸的主印模復(fù)制來的工作印模，通過軟UV壓印光刻將透鏡圖案轉(zhuǎn)移到光學(xué)聚合物材料中,。EV Group提供混合和單片微透鏡成型工藝,，可以輕松地適應(yīng)各種材料組合，以用于工作印模和微透鏡材料,。EVG系統(tǒng)是客戶進行大批量晶圓級鏡頭復(fù)制的優(yōu)先,。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商，歡迎各位聯(lián)系我們,，探討納米壓印光刻的相關(guān)知識,。我們愿意與您共同進步。

EVG ? 720是自動SmartNIL ? UV紫外光納米壓印光刻系統(tǒng),。3D IC納米壓印價格怎么樣

EVG的熱壓印是一種經(jīng)濟高 效且靈活的制造技術(shù),，具有非常高的復(fù)制精度，可用于**小50 nm的特征尺寸,。高校納米壓印報價

EVG ® 770特征：

微透鏡用于晶片級光學(xué)器件的高 效率制造主下降到納米結(jié)構(gòu)為SmartNIL ®

簡單實施不同種類的大師

可變抗蝕劑分配模式

分配,，壓印和脫模過程中的實時圖像

用于壓印和脫模的原位力控制

可選的光學(xué)楔形誤差補償

可選的自動盒帶間處理

EVG ® 770技術(shù)數(shù)據(jù)：

晶圓直徑（基板尺寸）：100至300毫米

解析度：≤50 nm（分辨率取決于模板和工藝）

支持流程：柔軟的UV-NIL

曝光源：大功率LED（i線）> 100 mW /cm2

對準：頂側(cè)顯微鏡，用于實時重疊校準≤±500 nm和精細校準≤±300 nm

較早印刷模具到模具的放置精度：≤1微米

有效印記區(qū)域：長達50 x 50毫米

自動分離：支持的

前處理：涂層：液滴分配（可選）

高校納米壓印報價

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司致力于儀器儀表,，以科技創(chuàng)新實現(xiàn)***管理的追求,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)作為磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】的企業(yè)之一,，為客戶提供良好的磁記錄，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)不斷開拓創(chuàng)新,，追求出色,，以技術(shù)為先導(dǎo)，以產(chǎn)品為平臺,，以應(yīng)用為重點，以服務(wù)為保證,，不斷為客戶創(chuàng)造更高價值,，提供更優(yōu)服務(wù)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終關(guān)注自身,，在風(fēng)云變化的時代,，對自身的建設(shè)毫不懈怠，高度的專注與執(zhí)著使岱美儀器技術(shù)服務(wù)在行業(yè)的從容而自信,。