輪廓儀對精密加工的意義

現(xiàn)代化高新技術(shù)的飛速發(fā)展離不開硬件設(shè)施和軟件系統(tǒng)的配套支持，在精密加工領(lǐng)域同樣如此,，雖然我們在生活中不曾注意到超精密加工產(chǎn)品的“身影”,，但是它卻與我們的生活息息相關(guān)。例如在光學(xué)玻璃,、集成電路,、汽車零部件、機(jī)器人**器件,、航空航天材料,、****設(shè)備等領(lǐng)域，都需要對加工的成品進(jìn)行檢測,，從物體表面光滑到粗糙的參數(shù),，其中包含了從納米到微米級別的輪廓、線粗糙度,、面粗糙度等二維,、三維參數(shù),，作為評定該物件是否合格的標(biāo)準(zhǔn)。因此光學(xué)輪廓儀應(yīng)運而生,，以下是表面三維輪廓儀對精密加工的作用： 包含了從納米到微米級別的輪廓,、線粗糙度、面粗糙度等二維,、三維參數(shù),，作為評定該物件是否合格的標(biāo)準(zhǔn),。實驗室輪廓儀出廠價

輪廓儀、粗糙度儀,、三坐標(biāo)的區(qū)別：

關(guān)于輪廓儀和粗糙度儀

  輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品,，輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀，比如：汽車零件中的溝槽的槽深,、槽寬,、倒角（包括倒角位置、倒角尺寸,、角度等）,，圓柱表面素線的直線度等參數(shù),?？傊喞獌x反映的是零件的宏觀輪廓,。粗糙度儀的功能是測量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量,，通俗地講，就是零件表面加工得光不光（粗糙度老國標(biāo)叫光潔度）,，即粗糙度反映的是零件加工表面的微觀情況,。

  但是，輪廓儀和粗糙度儀關(guān)系其實挺密切,，現(xiàn)在有一種儀器叫做粗糙度輪廓測量一體機(jī),，就是在輪廓儀上加裝了粗糙度測量模塊，這樣既可以測量輪廓尺寸,，又可以測量粗糙度,，市場上典型產(chǎn)品就是中圖儀器的SJ5701粗糙度輪廓儀。

  在結(jié)構(gòu)上,，輪廓儀基本上都是臺式的,，而粗糙度儀以手持式的居多，當(dāng)然也有臺式的,。 晶片輪廓儀研發(fā)生產(chǎn)NanoX-8000的VSI/CSI：垂直分辨率 < 0.5nm ,；準(zhǔn)確度<1% ,；重復(fù)性<0.1% (1σ，10um臺階高),。

1.5. 系統(tǒng)培訓(xùn)的注意事項

    如何使用電子書閱讀軟件和軟,、硬件的操作手冊；

    數(shù)據(jù)采集功能的講解：通訊端口,、連接計算器,、等待時間等參數(shù)的解釋和參數(shù)設(shè)置；

    實際演示一一講解,；

    如何做好備份和恢復(fù)備份資料,；

    當(dāng)場演示各種報表的操作并進(jìn)行操作解說；

    數(shù)據(jù)庫文件應(yīng)定時作備份,，大變動時更應(yīng)做好備份以防止系統(tǒng)重新安裝時造成資料數(shù)據(jù)庫的流失,；

    在系統(tǒng)培訓(xùn)過程中如要輸入一些臨時數(shù)據(jù)應(yīng)在培訓(xùn)結(jié)束后及時刪除這些資料。

    備注：系統(tǒng)培訓(xùn)完成后應(yīng)請顧客詳細(xì)閱讀軟件操作手冊,，并留下公司“客戶服務(wù)中心”的電話與個人名片,，以方便顧客電話聯(lián)系咨詢。

輪廓儀的性能 

測量模式

移相干涉（PSI）,，白光垂直掃描干涉（VSI）,，單色光垂直掃描干涉（CSI）

樣 品 臺

150mm/200mm/300mm 樣品臺（可選配）

XY 平移：±25mm/150mm/200mm/300mm，傾斜：±5°

可選手動/電動樣品臺

CCD 相機(jī)像素

標(biāo)配：1280×960

視場范圍

560×750um（10×物鏡）

具體視場范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機(jī)

光學(xué)系統(tǒng)

同軸照明無限遠(yuǎn)干涉成像系統(tǒng)

光 源

高 效 LED

Z 方向聚焦 80mm 手動聚焦（可選電動聚焦）

Z 方向掃描范圍 精密 PZT 掃描(可選擇高精密機(jī)械掃描,，拓展達(dá) 10mm )

縱向分辨率 ＜0.1nm

RMS 重復(fù)性* 0.005nm,，1σ

臺階測量** 準(zhǔn)確度 ≤0.75％；重復(fù)性 ≤0.1%,，1σ

橫向分辨率 ≥0.35um（100 倍物鏡）

檢測速度 ≤ 35um/sec , 與所選的 CCD  測量模式：移相干涉（PSI）,，白光垂直掃描干涉（VSI），單色光垂直掃描干涉（CSI）,。

輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用：

晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程,，其中由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小，任何微小的黏附異物和下次均會導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺 陷,，因此必須對光罩和晶圓的表面輪廓進(jìn)行檢測,，檢測相應(yīng)的輪廓尺寸。

白光輪廓儀的典型應(yīng)用：

對各種產(chǎn)品,，不見和材料表面的平面度,，粗糙度，波溫度,，面型輪廓,，表面缺 陷，磨損情況，腐蝕情況,，孔隙間隙,，臺階高度，完全變形情況,，加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析,。

具備異常報警，急停等功能,，報警信息可儲存,。NanoX-8000輪廓儀干涉測量應(yīng)用

擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力，精確度低的缺點,，大 大提高加工效率,。實驗室輪廓儀出廠價

一、從根源保障物件成品的準(zhǔn)確性：

通過光學(xué)表面三維輪廓儀的掃描檢測,，得出物件的誤差和超差參數(shù),，大 大提高物件在生產(chǎn)加工時的精確度。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應(yīng)”,，造成下游生產(chǎn)加工的更大偏離,，最終導(dǎo)致整個生產(chǎn)鏈更大的損失。

二,、提高效率：

智能化檢測,，全自動測量，檢測時只需將物件放置在載物臺,，然后在檢定軟件上選擇相關(guān)參數(shù),，即可一鍵分析批量測量。擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力,，精確度低的缺點,，大 大提高加工效率,。 實驗室輪廓儀出廠價

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司總部位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位,，是一家磁記錄、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】的公司,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)擁有一支經(jīng)驗豐富、技術(shù)創(chuàng)新的專業(yè)研發(fā)團(tuán)隊,，以高度的專注和執(zhí)著為客戶提供磁記錄,，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā),。岱美儀器技術(shù)服務(wù)致力于把技術(shù)上的創(chuàng)新展現(xiàn)成對用戶產(chǎn)品上的貼心，為用戶帶來良好體驗,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終關(guān)注自身,，在風(fēng)云變化的時代，對自身的建設(shè)毫不懈怠,，高度的專注與執(zhí)著使岱美儀器技術(shù)服務(wù)在行業(yè)的從容而自信,。