NanoX-系列產(chǎn)品PCB測量應(yīng)用測試案例

測量種類

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基板A Sold Mask 3D形貌,、尺寸

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基板A Sold Mask粗糙度

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基板A 綠油區(qū)域3D 形貌

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基板A 綠油區(qū)域 Pad 粗糙度

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基板A 綠油區(qū)域粗糙度

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基板A 綠油區(qū)域 pad寬度

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基板A Trace 3D形貌和尺寸

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基板B 背面 Pad

NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能

? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置,，一鍵式操作，自動(dòng)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)

? 一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)

? 支持連接MES系統(tǒng),，數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC

? 具備異常報(bào)警,，急停等功能，報(bào)警信息可儲(chǔ)存

? MTBF ≥ 1500 hrs

? 產(chǎn)能 : 45s/點(diǎn) （移動(dòng) + 聚焦 + 測量）（掃描范圍 50um）

? 具備 Global alignment & Unit alignment

? 自動(dòng)聚焦范圍 ： ± 0.3mm

? XY運(yùn)動(dòng)速度 **快

    輪廓儀是用容易理解的機(jī)械技術(shù)測量薄膜厚度,。它的工作原理是測量測量劃過薄膜的檢測筆的高度(見右圖)。輪廓儀的主要優(yōu)點(diǎn)是可以測量所有固體膜,，包括不透明的厚金屬膜,。更昂貴的系統(tǒng)能測繪整個(gè)表面輪廓。(有關(guān)我們的低成本光學(xué)輪廓儀的資訊,，請點(diǎn)擊這里).獲取反射光譜指南然而輪廓儀也有不足之處,。首先，樣本上必須有個(gè)小坎才能測量薄膜厚度,，而小坎通常無法很標(biāo)準(zhǔn)(見圖),。這樣，標(biāo)定誤差加上機(jī)械漂移造成5%-10%的測量誤差,。與此相比,，光譜反射儀使用非接觸技術(shù)，不需要任何樣本準(zhǔn)備就可以測量厚度,。只需一秒鐘分析從薄膜反射的光就可確定薄膜厚度和折射率,。光譜反射儀還可以測量多層薄膜。輪廓儀和光譜反射儀的主要優(yōu)點(diǎn)列表于下,。如需更多光譜反射儀信息請?jiān)L問我們官網(wǎng),。襯底輪廓儀自動(dòng)化測量輪廓儀可用于藍(lán)寶石拋光工藝表面粗糙度分析（粗拋與精拋比較）。

輪廓儀的性能

測量模式 ：

移相干涉（PSI）,，白光垂直掃描干涉（VSI）,，單色光垂直掃描干涉（CSI）

樣 品 臺 ：

150mm/200mm/300mm 樣品臺（可選配）

XY 平移：±25mm/150mm/200mm/300mm，傾斜：±5°

可選手動(dòng)/電動(dòng)樣品臺

CCD 相機(jī)像素：

標(biāo)配：1280×960

視場范圍：

560×750um（10×物鏡）

具體視場范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機(jī)

光學(xué)系統(tǒng)：

同軸照明無限遠(yuǎn)干涉成像系統(tǒng)

光 源：

高 效 LED

Z 方向聚焦 80mm 手動(dòng)聚焦（可選電動(dòng)聚焦）

Z 方向掃描范圍 精密 PZT 掃描(可選擇高精密機(jī)械掃描,，拓展達(dá) 10mm )

縱向分辨率 ＜0.1nm

RMS 重復(fù)性* 0.005nm,，1σ

臺階測量** 準(zhǔn)確度 ≤0.75％；重復(fù)性 ≤0.1%,，1σ

橫向分辨率 ≥0.35um（100 倍物鏡）

檢測速度 ≤ 35um/sec , 與所選的 CCD

NanoX-系列輪廓儀**性客戶

? 集成電路相關(guān)產(chǎn)業(yè)

– 集成電路先進(jìn)封裝和材料：華天科技,，通富微電子，江蘇納佩斯

半導(dǎo)體,，華潤安盛等

? MEMS相關(guān)產(chǎn)業(yè)

– 中科院蘇州納米所,，中科電子46所，華東光電集成器件等

? 高 效太陽能電池相關(guān)產(chǎn)業(yè)

– 常州億晶光電,，中國臺灣速位科技,、山東衡力新能源等

? 微電子、FPD,、PCB等產(chǎn)業(yè)

– 三星電機(jī),、京東方、深圳夏瑞科技等  

具備 Global alignment & Unit alignment

自動(dòng)聚焦范圍 ： ± 0.3mm

XY運(yùn)動(dòng)速度 **快

如果有什么問題,，請聯(lián)系我們,。

物鏡是輪廓儀****的部件， 物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求,。

    新型光學(xué)輪廓儀!film3D使得光學(xué)輪廓測量更易負(fù)擔(dān)*后,，表面粗糙度和表面形貌測量可以用比探針式輪廓儀成本更低的儀器來進(jìn)行。film3D具有3倍於于其成本儀器的次納米級垂直分辨率,film3D同樣使用了現(xiàn)今*高 分辨率之光學(xué)輪廓儀的測量技術(shù)包含垂直掃描干涉(VSI)及相移干涉(PSI),。這就是您需要的解析力每film3D帶有直觀的粗糙度,，表面形貌和臺階高度的測量軟件。所有常見如ISO25178所規(guī)范的粗糙度參數(shù)都支持,，也包括軟件功能用于形貌分析,，如形狀去除和波長過濾，都包含在基film3D軟件,。對于更進(jìn)階的功能,，F(xiàn)ilmetrics提供了我們的合作伙伴TrueGage的TrueMap軟件可進(jìn)一步處理film3D數(shù)據(jù)，這當(dāng)然也與業(yè)界其他標(biāo)準(zhǔn)分析軟件兼容,。其他輪廓儀列為選備的功能已經(jīng)是我們的標(biāo)準(zhǔn)配備為什么需要額外支付每位使用者所需要的功能,？每film3D都已標(biāo)配自動(dòng)化X/Y平臺包含tip/tilt功能。以我們的階高標(biāo)準(zhǔn)片建立標(biāo)準(zhǔn)每film3D配備了一個(gè)10微米階高標(biāo)準(zhǔn)片,，可達(dá)％準(zhǔn)確度,。另我們還提供具有100nm,，2微米以及4微米等多階高標(biāo)準(zhǔn)片。*大視場Thefilm3D以10倍物鏡優(yōu)異地提供更寬廣的2毫米視野,其數(shù)位變焦功能有助于緩解不同應(yīng)用時(shí)切換多個(gè)物鏡的需要,。更進(jìn)一步減少總體成本,。輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用。臺式輪廓儀測樣

NanoX-2000/3000 系列 3D 光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測量（PSI）,、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光,。芯片輪廓儀輪廓測量應(yīng)用

輪廓儀白光干涉的創(chuàng)始人：

邁爾爾遜

1852-1931

美國物理學(xué)家

曾從事光速的精密測量工作  

邁克爾遜首倡用光波波長作為長度基準(zhǔn)。

1881年,，他發(fā)明了一種用以測量微小長度,，折射率和光波波長的干涉儀，邁克爾遜干涉儀,。

他和美國物理學(xué)家莫雷合作,，進(jìn)行了***的邁克爾遜-莫雷實(shí)驗(yàn)，否定了以太de 存在,，為愛因斯坦建立狹義相對論奠定了基礎(chǔ),。

由于創(chuàng)制了精密的光學(xué)儀器和利用這些儀器所完成光譜學(xué)和基本度量學(xué)研究，邁克爾遜于1907年獲得諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng),。 芯片輪廓儀輪廓測量應(yīng)用

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司是一家磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)】磁記錄,、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù)，國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)】的公司,，是一家集研發(fā)、設(shè)計(jì),、生產(chǎn)和銷售為一體的專業(yè)化公司,。公司自創(chuàng)立以來,，投身于磁記錄，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)，是儀器儀表的主力軍,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終以本分踏實(shí)的精神和必勝的信念,，影響并帶動(dòng)團(tuán)隊(duì)取得成功,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終關(guān)注自身,，在風(fēng)云變化的時(shí)代，對自身的建設(shè)毫不懈怠,，高度的專注與執(zhí)著使岱美儀器技術(shù)服務(wù)在行業(yè)的從容而自信,。