接觸探頭測量彎曲和難測的表面

CP-1-1.3測量平面或球形樣品，結(jié)實(shí)耐用的不銹鋼單線圈,。

CP-1-AR-1.3可以抑 制背面反射,，對 1.5mm 厚的基板可抑 制 96%。 鋼制單線圈外加PVC涂層,，比較大可測厚度 15um,。

CP-2-1.3用于探入更小的凹表面，直徑 17.5mm,。

CP-C6-1.3探測直徑小至 6mm 的圓柱形和球形樣品外側(cè),。

CP-C12-1.3用于直徑小至 12mm 圓柱形和球形樣品外側(cè)。

CP-C26-1.3用于直徑小至 26mm 圓柱形和球形樣品外側(cè),。

CP-BendingRod-L350-2彎曲長度 300mm,，總長度 350mm 的接觸探頭。 用于難以到達(dá)的區(qū)域，但不會自動對準(zhǔn)表面,。

CP-ID-0to90Deg-2用于食品和飲料罐頭內(nèi)壁的接觸探頭,。

CP-RA-3mmDia-200mmL-2直徑**小的接觸探頭，配備微型直角反射鏡,，用來測量小至直徑 3mm 管子的內(nèi)壁，不能自動對準(zhǔn)表面,。

CP-RA-10mmHigh-2配備微型直角反射鏡,，可以在相隔 10mm 的兩個平坦表面之間進(jìn)行測量。 F20-EXR測厚范圍：15nm - 250μm,；波長：380-1700nm,。光干涉膜厚儀實(shí)際價格

參考材料

備用 BK7 和二氧化硅參考材料。

BG-Microscope顯微鏡系統(tǒng)內(nèi)取背景反射的小型抗反光鏡

BG-F10-RT平臺系統(tǒng)內(nèi)獲取背景反射的抗反光鏡

REF-Al-1mmSubstrate基底 - 高反射率鋁基準(zhǔn)

REF-Al-3mmSubstrate基底 - 高反射率鋁基準(zhǔn)

REF-BK71?" x 1?" BK7 反射基準(zhǔn),。

REF-F10RT-FusedSilica-2Side背面未經(jīng)處理的石英,，用于雙界面基準(zhǔn)。

REF-Si-22" 單晶硅晶圓

REF-Si-44" 單晶硅晶圓

REF-Si-66" 單晶硅晶圓

REF-Si-88" 單晶硅晶圓

REF-SS3-Al專為SS-3樣品平臺設(shè)計(jì)之鋁反射率基準(zhǔn)片

REF-SS3-BK7專為SS-3樣品平臺設(shè)計(jì)之BK7玻璃反射率基準(zhǔn)片

REF-SS3-Si專為SS-3樣品平臺設(shè)計(jì)之硅反射率基準(zhǔn)片 Filmetrics Profilm3D膜厚儀研發(fā)可以用嗎F30測厚范圍：15nm-70μm,；波長：380-1050nm,。

    更可加裝至三個探頭，同時測量三個樣品,，具紫外線區(qū)或標(biāo)準(zhǔn)波長可供選擇,。F40:這型號安裝在任何顯微鏡外，可提供*小5um光點(diǎn)(100倍放大倍數(shù))來測量微小樣品,。F50:這型號配備全自動XY工作臺,，由8"x8"到18"x18"或客戶提供所需尺寸均可。通過快速掃瞄功能,，可取得整片樣品厚度分布情況(mapping),。F70:*通過在F20基本平臺上增加鏡頭，使用Filmetrics*新的顏色編碼厚度測量法（CTM）,，把設(shè)備的測量范圍極大的拓展至,。F10-RT：在F20實(shí)現(xiàn)反射率跟穿透率的同時測量，特殊光源設(shè)計(jì)特別適用于透明基底樣品的測量,。PARTS：在垂直入射光源基礎(chǔ)上增加70o光源,，特別適用于超薄膜層厚度和n、k值測量,。**膜厚測量儀系統(tǒng)F20使用F20**分光計(jì)系統(tǒng)可以簡便快速的測量厚度和光學(xué)參數(shù)（n和k）,。您可以在幾秒鐘內(nèi)通過薄膜上下面的反射比的頻譜分析得到厚度、折射率和消光系數(shù),。任何具備基本電腦技術(shù)的人都能在幾分鐘內(nèi)將整個桌面系統(tǒng)組裝起來,。F20包括所有測量需要的部件：分光計(jì)、光源、光纖導(dǎo)線,、鏡頭**和Windows下運(yùn)行的軟件,。您需要的只是接上您的電腦。膜層實(shí)例幾乎任何光滑,、半透明,、低吸收的膜都能測。包括：sio2（二氧化硅）sinx（氮化硅）dlc（類金剛石碳）photoresist,。

FSM 413 紅外干涉測量設(shè)備

關(guān)鍵詞：厚度測量,，光學(xué)測厚，非接觸式厚度測量,，硅片厚度,，氮化硅厚度，激光測厚,，近紅外光測厚,，TSV, CD, Trench，砷化鎵厚度,，磷化銦厚度,，玻璃厚度測量，石英厚度,，聚合物厚度, 背磨厚度,，上下兩個測試頭。Michaelson干涉法,，翹曲變形,。    

如果您對該產(chǎn)品感興趣的話，可以給我留言,！

產(chǎn)品名稱：紅外干涉厚度測量設(shè)備

·       產(chǎn)品型號：FSM 413EC, FSM 413MOT,，F(xiàn)SM 413SA DP，F(xiàn)SM413C2C, FSM 8108 VITE C2C

如果您需要更多的信息,，請聯(lián)系我們岱美儀器,。 可選粗糙度: 20 — 1000? (RMS)。

技術(shù)介紹：

紅外干涉測量技術(shù), 非接觸式測量,。采用Michaelson干涉方法,，紅外波段的激光能更好的穿透被測物體，準(zhǔn)確的得到測試結(jié)果,。

產(chǎn)品簡介：FSM 413EC 紅外干涉測量設(shè)備

適用于所有可讓紅外線通過的材料：硅,、藍(lán)寶石、砷化鎵,、磷化銦,、碳化硅,、玻璃、石  英,、聚合物…………

應(yīng)用:

   襯底厚度(不受圖案硅片,、有膠帶、凹凸或者粘合硅片影響)

   平整度   

溝槽深度

   過孔尺寸,、深度,、側(cè)壁角度

   粗糙度

薄膜厚度

硅片厚度

   環(huán)氧樹脂厚度

   襯底翹曲度

   晶圓凸點(diǎn)高度(bump height)

MEMS 薄膜測量

TSV 深度、側(cè)壁角度...

系統(tǒng)測試應(yīng)力的精度小于15mpa (0.03cm-1) ,，全自動的200mm和300mm硅片檢查,，自動檢驗(yàn)和聚焦的能力。晶圓膜厚儀原理

F10-AR在用戶定義的任何波長范圍內(nèi)都能進(jìn)行比較低,、比較高和平均反射測試,。光干涉膜厚儀實(shí)際價格

厚度標(biāo)準(zhǔn)：

所有 Filmetrics 厚度標(biāo)準(zhǔn)都是得到驗(yàn)證可追溯的 NIST 標(biāo)準(zhǔn),。

S-Custom-NIST：在客戶提供的樣品上定制可追溯的 NIST 厚度校準(zhǔn),。 

TS-Focus-SiO2-4-3100SiO2-on-Si ：厚度標(biāo)準(zhǔn)，外加調(diào)焦區(qū)和單晶硅基準(zhǔn),，厚度大約 3100A,，4" 晶圓。

TS-Focus-SiO2-4-10000SiO2-on-Si ：厚度標(biāo)準(zhǔn),，外加調(diào)焦區(qū)和單晶硅基準(zhǔn),，厚度大約 10000A，4" 晶圓,。

TS-Hardcoat-4μm：丙烯酸塑料硬涂層厚度標(biāo)準(zhǔn),，厚度大約 4um，直徑 2",。

TS-Hardcoat-Trans：背面透明的硬涂層,，可用于透射測量。

TS-Parylene-4um：丙烯酸塑料上的聚對二甲苯厚度標(biāo)準(zhǔn),，厚度大約 4um ,，直徑2"。

TS-Parylene-8um：硅基上的聚對二甲苯厚度標(biāo)準(zhǔn),，厚度大約 8um,，23mm x 23mm。

TS-SiO2-4-7200：硅基上的二氧化硅厚度標(biāo)準(zhǔn),，厚度大約 7200A,，4" 晶圓。

TS-SiO2-4-7200-NIST：可追溯的 NIST SiO2-4-7200 厚度標(biāo)準(zhǔn),。

TS-SiO2-6-Multi：多厚度硅基上的二氧化硅標(biāo)準(zhǔn): 125埃米,，250埃米,，500埃米，1000埃米,，5000埃米,，和 10000埃米 (+/-10%誤差)，6英寸晶圓,。TS-SS3-SiO2-8000：專為SS-3樣品平臺設(shè)計(jì)之二氧化硅厚度標(biāo)準(zhǔn)片,厚度大約為 8000A,。 光干涉膜厚儀實(shí)際價格

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司總部位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)加太路39號第五層六十五部位，是一家磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】的公司,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)擁有一支經(jīng)驗(yàn)豐富,、技術(shù)創(chuàng)新的專業(yè)研發(fā)團(tuán)隊(duì)，以高度的專注和執(zhí)著為客戶提供磁記錄,，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā),。岱美儀器技術(shù)服務(wù)致力于把技術(shù)上的創(chuàng)新展現(xiàn)成對用戶產(chǎn)品上的貼心,，為用戶帶來良好體驗(yàn)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終關(guān)注儀器儀表市場,，以敏銳的市場洞察力,，實(shí)現(xiàn)與客戶的成長共贏。