EVG ® 6200 NT是SmartNIL

UV納米壓印光刻系統(tǒng),。

用UV納米壓印能力設(shè)有EVG's專有SmartNIL通用掩模對準(zhǔn)系統(tǒng)®技術(shù)范圍達(dá)150m,。這些系統(tǒng)以其自動化的靈活性和可靠性而著稱，以**小的占地面積提供了**

新的掩模對準(zhǔn)技術(shù),。操作員友好型軟件,，**短的掩模和工具更換時(shí)間以及高 效的全球服務(wù)和支持使它們成為任何研發(fā)環(huán)境（半自動批量生產(chǎn)）的理想解決方案。該工具支持多種標(biāo)準(zhǔn)光刻工藝,，例如真空，軟,，硬和接近曝光模式,，并且可以選擇背面對準(zhǔn)。此外,，該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能,，包括鍵對準(zhǔn)和納米壓印光刻。此外,，半自動和全自動系統(tǒng)配置均支持EVG專有的SmartNIL技術(shù),。

EVG620 NT是以其靈活性和可靠性而聞名的，因?yàn)樗?*小的占位面積提供了***的掩模對準(zhǔn)技術(shù),。江蘇納米壓印學(xué)校會用嗎

EVG610特征：

頂部和底部對準(zhǔn)能力

高精度對準(zhǔn)臺

自動楔形誤差補(bǔ)償機(jī)制

電動和程序控制的曝光間隙

支持***的UV-LED技術(shù)

**小化系統(tǒng)占地面積和設(shè)施要求

分步流程指導(dǎo)

遠(yuǎn)程技術(shù)支持

多用戶概念（無限數(shù)量的用戶帳戶和程序,，可分配的訪問權(quán)限，不同的用戶界面語言）

敏捷處理和光刻工藝之間的轉(zhuǎn)換

臺式或帶防震花崗巖臺的單機(jī)版

EVG610附加功能：

鍵對準(zhǔn)

紅外對準(zhǔn)

納米壓印光刻 

μ接觸印刷

EVG610技術(shù)數(shù)據(jù)：

晶圓直徑（基板尺寸）

標(biāo)準(zhǔn)光刻：比較大150毫米的碎片

柔軟的UV-NIL：比較大150毫米的碎片

解析度：≤40 nm（分辨率取決于模板和工藝）

支持流程：柔軟的UV-NIL

曝光源：汞光源或紫外線LED光源

自動分離：不支持

工作印章制作：外部

微透鏡納米壓印服務(wù)為先EV Group提供混合和單片微透鏡成型工藝,，能夠輕松地適應(yīng)各種材料組合,，以用于工作印模和微透鏡材料。

SmartNIL是一項(xiàng)關(guān)鍵的啟用技術(shù),，可用于顯示器,，生物技術(shù)和光子應(yīng)用中的許多新創(chuàng)新。例如,，SmartNIL提供了****的全區(qū)域共形壓印,，以便滿足面板基板上線柵偏振器的**重要標(biāo)準(zhǔn)。SmartNIL還非常適合對具有復(fù)雜納米結(jié)構(gòu)的微流控芯片進(jìn)行高精度圖案化,，以支持下一代藥 物研究和醫(yī)學(xué)診斷設(shè)備的生產(chǎn),。此外，SmartNIL的***發(fā)展為制造具有比較高功能,，**小外形尺寸和大體積創(chuàng)新型光子結(jié)構(gòu)提供了更多的自由度,，這對于實(shí)現(xiàn)衍射光學(xué)元件（DOE）至關(guān)重要。

特征：

體積驗(yàn)證的壓印技術(shù),，具有出色的復(fù)制保真度

專有SmartNIL ®技術(shù),，多使用聚合物印模技術(shù)

經(jīng)過生產(chǎn)驗(yàn)證的分辨率低至40 nm或更小

大面積全場壓印

總擁有成本比較低

在地形上留下印記

對準(zhǔn)能力

室溫過程

開放式材料平臺

    具體說來就是,，MOSFET能夠有效地產(chǎn)生電流流動，因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體制造技術(shù)旺旺不能精確控制住摻雜的水平（硅中摻雜以帶來或正或負(fù)的電荷）,，以確?？绺鹘M件的通道性能的一致性。通常MOSFET是在一層二氧化硅（SiO2）襯底上,，然后沉積一層金屬或多晶硅制成的,。然而這種方法可以不精確且難以完全掌控，摻雜有時(shí)會泄到別的不需要的地方,，那樣就創(chuàng)造出了所謂的“短溝道效應(yīng)”區(qū)域,，并導(dǎo)致性能下降。一個(gè)典型MOSFET不同層級的剖面圖,。不過威斯康星大學(xué)麥迪遜分校已經(jīng)同全美多個(gè)合作伙伴攜手（包括密歇根大學(xué),、德克薩斯大學(xué)、以及加州大學(xué)伯克利分校等）,，開發(fā)出了能夠降低摻雜劑泄露以提升半導(dǎo)體品質(zhì)的新技術(shù),。研究人員通過電子束光刻工藝在表面上形成定制形狀和塑形，從而帶來更加“物理可控”的生產(chǎn)過程,。（來自網(wǎng)絡(luò),。HERCULES ? NIL是完全集成SmartNIL ?的 UV-NIL紫外光納米壓印系統(tǒng)。

納米壓印光刻（NIL） -SmartNIL ®

用于大批量生產(chǎn)的大面積軟UV納米壓印光刻工藝

介紹：

EVG是納米壓印光刻（NIL）的市場**設(shè)備供應(yīng)商,。EVG開拓了這種非常規(guī)光刻技術(shù)多年,，掌握了NIL并已在不斷增長的基板尺寸上實(shí)現(xiàn)了批量生產(chǎn)。EVG的專有SmartNIL技術(shù)通過多年的研究,，開發(fā)和現(xiàn)場經(jīng)驗(yàn)進(jìn)行了優(yōu)化,，以解決常規(guī)光刻無法滿足的納米圖案要求。SmartNIL可以提供低至40 nm或更小的出色的共形烙印結(jié)果,。

如果要獲得詳細(xì)信息,，請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司或者訪問官網(wǎng)。

EVG ? 7200 LA是大面積SmartNIL ? UV紫外光納米壓印光刻系統(tǒng),。高精密儀器納米壓印代理商

EV Group的一系列高精度熱壓花系統(tǒng)是基于該公司市場**的晶圓鍵合技術(shù),。江蘇納米壓印學(xué)校會用嗎

    EV集團(tuán)和肖特?cái)y手合作，證明300-MM光刻/納米壓印技術(shù)在大體積增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)/混合現(xiàn)實(shí)玻璃制造中已就緒聯(lián)合工作將在EVG的NILPhotonics?能力中心開展,，這是一個(gè)開放式的光刻/納米壓?。∟IL）技術(shù)創(chuàng)新孵化器，同時(shí)也是全球***可及的300-mm光刻/納米壓印技術(shù)線2019年8月28日,，奧地利,，圣弗洛里安――微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）、納米技術(shù)和半導(dǎo)體市場晶圓鍵合與光刻設(shè)備**供應(yīng)商EV集團(tuán)（EVG）***宣布,，與特種玻璃和微晶玻璃領(lǐng)域的**技術(shù)集團(tuán)肖特?cái)y手合作,，證明300-mm（12英寸）光刻/納米壓?。∟IL）技術(shù)在下一代增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)/混合現(xiàn)實(shí)（AR/MR）頭戴顯示設(shè)備的波導(dǎo)/光導(dǎo)制造中使用的高折射率（HRI）玻璃晶圓的大體積圖案成形已就緒。此次合作涉及EVG的專有SmartNIL?工藝和SCHOTTRealView?高折射率玻璃晶圓,，將在EVG位于奧地利總部的NILPhotonics?能力中心進(jìn)行,。肖特將于9月4日至7日在深圳會展中心舉行的中國國際光電博覽會上展示一款采用EVGSmartNIL技術(shù)進(jìn)行圖案成形的300-mmSCHOTTRealView?玻璃晶圓。300-mm和200-mmSCHOTTRealView?玻璃基板,，裝配在應(yīng)用SmartNIL?UV-NIL技術(shù)的EVG?HERCULES?,。江蘇納米壓印學(xué)校會用嗎

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司發(fā)展規(guī)模團(tuán)隊(duì)不斷壯大，現(xiàn)有一支專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì),，各種專業(yè)設(shè)備齊全,。專業(yè)的團(tuán)隊(duì)大多數(shù)員工都有多年工作經(jīng)驗(yàn)，熟悉行業(yè)專業(yè)知識技能,，致力于發(fā)展岱美儀器技術(shù)服務(wù)的品牌,。公司不僅*提供專業(yè)的磁記錄、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】,，同時(shí)還建立了完善的售后服務(wù)體系,，為客戶提供良好的產(chǎn)品和服務(wù)。誠實(shí),、守信是對企業(yè)的經(jīng)營要求,，也是我們做人的基本準(zhǔn)則。公司致力于打造***的磁記錄,，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)。