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碳化硅膜厚儀價(jià)格怎么樣

來源: 發(fā)布時(shí)間:2020-01-16

非晶態(tài)多晶硅硅元素以非晶和晶體兩種形式存在, 在兩級之間是部分結(jié)晶硅。部分結(jié)晶硅又被叫做多晶硅,。


非晶硅和多晶硅的光學(xué)常數(shù)(n和k)對不同沉積條件是獨(dú)特的,,必須有精確的厚度測量。 測量厚度時(shí)還必須考慮粗糙度和硅薄膜結(jié)晶可能的風(fēng)化,。

Filmetrics 設(shè)備提供的復(fù)雜的測量程序同時(shí)測量和輸出每個(gè)要求的硅薄膜參數(shù),, 并且“一鍵”出結(jié)果。

測量范例多晶硅被***用于以硅為基礎(chǔ)的電子設(shè)備中,。這些設(shè)備的效率取決于薄膜的光學(xué)和結(jié)構(gòu)特性,。隨著沉積和退火條件的改變,這些特性隨之改變,,所以準(zhǔn)確地測量這些參數(shù)非常重要,。監(jiān)控晶圓硅基底和多晶硅之間,加入二氧化硅層,以增加光學(xué)對比,,其薄膜厚度和光學(xué)特性均可測得,。F20可以很容易地測量多晶硅薄膜的厚度和光學(xué)常數(shù),以及二氧化硅夾層厚度,。Bruggeman光學(xué)模型被用來測量多晶硅薄膜光學(xué)特性,。


適用于所有可讓紅外線通過的材料 硅、藍(lán)寶石,、砷化鎵,、磷化銦、碳化硅,、玻璃,、石 英、聚合物等,。碳化硅膜厚儀價(jià)格怎么樣

接觸探頭測量彎曲和難測的表面

CP-1-1.3測量平面或球形樣品,,結(jié)實(shí)耐用的不銹鋼單線圈。

CP-1-AR-1.3可以抑 制背面反射,,對 1.5mm 厚的基板可抑 制 96%,。 鋼制單線圈外加PVC涂層,比較大可測厚度 15um,。

CP-2-1.3用于探入更小的凹表面,,直徑 17.5mm。

CP-C6-1.3探測直徑小至 6mm 的圓柱形和球形樣品外側(cè),。

CP-C12-1.3用于直徑小至 12mm 圓柱形和球形樣品外側(cè),。

CP-C26-1.3用于直徑小至 26mm 圓柱形和球形樣品外側(cè)。

CP-BendingRod-L350-2彎曲長度 300mm,,總長度 350mm 的接觸探頭,。 用于難以到達(dá)的區(qū)域,但不會(huì)自動(dòng)對準(zhǔn)表面,。

CP-ID-0to90Deg-2用于食品和飲料罐頭內(nèi)壁的接觸探頭,。

CP-RA-3mmDia-200mmL-2直徑**小的接觸探頭,配備微型直角反射鏡,,用來測量小至直徑 3mm 管子的內(nèi)壁,,不能自動(dòng)對準(zhǔn)表面。

CP-RA-10mmHigh-2配備微型直角反射鏡,,可以在相隔 10mm 的兩個(gè)平坦表面之間進(jìn)行測量,。 重慶晶片膜厚儀F30 系列是監(jiān)控薄膜沉積,**強(qiáng)有力的工具,。

    更可加裝至三個(gè)探頭,,同時(shí)測量三個(gè)樣品,,具紫外線區(qū)或標(biāo)準(zhǔn)波長可供選擇。F40:這型號(hào)安裝在任何顯微鏡外,,可提供*小5um光點(diǎn)(100倍放大倍數(shù))來測量微小樣品,。F50:這型號(hào)配備全自動(dòng)XY工作臺(tái),由8"x8"到18"x18"或客戶提供所需尺寸均可,。通過快速掃瞄功能,,可取得整片樣品厚度分布情況(mapping)。F70:*通過在F20基本平臺(tái)上增加鏡頭,,使用Filmetrics*新的顏色編碼厚度測量法(CTM),,把設(shè)備的測量范圍極大的拓展至。F10-RT:在F20實(shí)現(xiàn)反射率跟穿透率的同時(shí)測量,,特殊光源設(shè)計(jì)特別適用于透明基底樣品的測量,。PARTS:在垂直入射光源基礎(chǔ)上增加70o光源,特別適用于超薄膜層厚度和n,、k值測量,。**膜厚測量儀系統(tǒng)F20使用F20**分光計(jì)系統(tǒng)可以簡便快速的測量厚度和光學(xué)參數(shù)(n和k)。您可以在幾秒鐘內(nèi)通過薄膜上下面的反射比的頻譜分析得到厚度,、折射率和消光系數(shù),。任何具備基本電腦技術(shù)的人都能在幾分鐘內(nèi)將整個(gè)桌面系統(tǒng)組裝起來。F20包括所有測量需要的部件:分光計(jì),、光源,、光纖導(dǎo)線、鏡頭**和Windows下運(yùn)行的軟件,。您需要的只是接上您的電腦,。膜層實(shí)例幾乎任何光滑、半透明,、低吸收的膜都能測,。包括:sio2(二氧化硅)sinx(氮化硅)dlc(類金剛石碳)photoresist。

F3-CS:

Filmetrics的F3-CS 專門為了微小視野及微小樣品測量設(shè)計(jì), 任何人從**操作到研&發(fā)人員都可以此簡易USB供電系統(tǒng)在數(shù)秒鐘內(nèi)測量如聚對二甲苯和真空鍍膜層厚度.

我們具專利的自動(dòng)校正功能大幅縮短測量設(shè)置並可自動(dòng)調(diào)節(jié)儀器的靈敏度, 使用免手持測量模式時(shí), 只需簡單地將樣品面朝下放置在平臺(tái)上測量樣品 , 此時(shí)該系統(tǒng)已具備可測量數(shù)百種膜層所必要的一切設(shè)置不管膜層是否在透明或不透明基底上.

快速厚度測量可選配FILMeasure厚度測量軟件使厚度測量就像在平臺(tái)上放置你的樣品一樣容易, 軟件內(nèi)建所有常見的電介質(zhì)和半導(dǎo)體層(包括C,,N和HT型聚對二甲苯)的光學(xué)常數(shù)(n和k),厚度結(jié)果會(huì)及時(shí)的以直覺的測量結(jié)果顯示對于進(jìn)階使用者,,可以進(jìn)一步以F3-CS測量折射率, F3-CS可在任何運(yùn)行Windows XP到 Windows8 64位作業(yè)系統(tǒng)的計(jì)算機(jī)上運(yùn)行, USB電纜則提供電源和通信功能. 成功測量光刻膠要面對一些獨(dú)特的挑戰(zhàn), 而 Filmetrics 自動(dòng)測量系統(tǒng)成功地解決這些問題,。

硬涂層厚度測量Filmetrics 系統(tǒng)在汽車和航空工業(yè)得到廣泛應(yīng)用,,用于測量硬涂層和其他保護(hù)性薄膜的厚度,。F10-HC 是為彎曲表面和多層薄膜 (例如,, 底涂/硬涂層) 而專門設(shè)計(jì)的。

汽車前燈在汽車前燈組件的制造中需要進(jìn)行多點(diǎn)測量,,因?yàn)橥繉雍穸葘τ谄焚|(zhì)至關(guān)重要,。 外側(cè)硬涂層和聚碳酸酯鏡頭內(nèi)側(cè)的防霧層以及反射器上的涂層的厚度都是很重要的,。 這些用途中的每一項(xiàng)是特殊的挑戰(zhàn),而 Filmetrics 已經(jīng)開發(fā)出軟件,、硬件和應(yīng)用知識(shí)以便為用戶提供正確的解決方案,。

測量范例帶HC選項(xiàng)的F10-AR收集測量厚度的反射率信息。這款儀器采用光學(xué)接觸探頭,,它的設(shè)計(jì)降低了背面反射,。接觸探頭安置在亞克力表明。FILMeature軟件自動(dòng)分析收集的光譜信息,,給出涂層厚度,。在這個(gè)例子中,亞克力板上還有一層與硬涂層折射率非常近似的底漆,。 可測量的層數(shù): 通常能夠測量薄膜堆內(nèi)的三層**薄膜,。 在某些情況下,能夠測量到十幾層,。安徽膜厚儀聯(lián)系電話

監(jiān)測控制生產(chǎn)過程中移動(dòng)薄膜厚度,。高達(dá)100 Hz的采樣率可以在多個(gè)測量位置得到。碳化硅膜厚儀價(jià)格怎么樣

F10-HC輕而易舉而且經(jīng)濟(jì)有效地分析單層和多層硬涂層F10-HC 以 Filmetrics F20 平臺(tái)為基礎(chǔ),,根據(jù)光譜反射數(shù)據(jù)分析快速提供薄膜測量結(jié)果,。 F10-HC 先進(jìn)的模擬算法是為測量聚碳酸酯和其它單層和多層硬涂層(例如,底涂/硬涂層)專門設(shè)計(jì)的,。

全世界共有數(shù)百臺(tái) F10-HC 儀器在工作,,幾乎所有主要汽車硬涂層公司都在使用它們。

像我們所有的臺(tái)式儀器一樣,,F(xiàn)10-HC 可以連接到您裝有 Windows 計(jì)算機(jī)的 USB 端口并在幾分鐘內(nèi)完成設(shè)定,。

包含的內(nèi)容:集成光譜儀/光源裝置FILMeasure 8 軟件FILMeasure **軟件 (用于遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)分析)CP-1-1.3 探頭BK7 參考材料TS-Hardcoat-4um 厚度標(biāo)準(zhǔn)備用燈

額外的好處:應(yīng)用工程師可立刻提供幫助(周一 - 周五)網(wǎng)上的 “手把手” 支持 (需要連接互聯(lián)網(wǎng))硬件升級計(jì)劃 碳化硅膜厚儀價(jià)格怎么樣

岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司專注技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品研發(fā),發(fā)展規(guī)模團(tuán)隊(duì)不斷壯大,。公司目前擁有較多的高技術(shù)人才,,以不斷增強(qiáng)企業(yè)重點(diǎn)競爭力,加快企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新,,實(shí)現(xiàn)穩(wěn)健生產(chǎn)經(jīng)營,。誠實(shí)、守信是對企業(yè)的經(jīng)營要求,,也是我們做人的基本準(zhǔn)則,。公司致力于打造***的磁記錄,半導(dǎo)體,,光通訊生產(chǎn),,測試儀器的批發(fā)。公司深耕磁記錄,,半導(dǎo)體,,光通訊生產(chǎn),,測試儀器的批發(fā),正積蓄著更大的能量,,向更廣闊的空間,、更寬泛的領(lǐng)域拓展。