輪廓儀的主要客戶群體

300mm集成電路技術(shù)封裝生產(chǎn)線檢測

集成電路工藝技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化

國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室

高 效太陽能電池技術(shù)研發(fā),、產(chǎn)業(yè)化

MEMS技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化

新型顯示技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化

超高精密表面工程技術(shù)

輪廓儀是一種兩坐標(biāo)測量儀器,，儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行,，傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化,，在X和Z方向分別采樣，并轉(zhuǎn)換成電信號,，該電信號經(jīng)放大和處理,，再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號儲存在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的存儲器中，計(jì)算機(jī)對原始表而輪廓進(jìn)行數(shù)字濾波,，分離掉表而粗糙度成分后再進(jìn)行計(jì)算,，測量結(jié)果為計(jì)算出的符介某種曲線的實(shí)際值及其離基準(zhǔn)點(diǎn)的坐標(biāo)，或放大的實(shí)際輪廓曲線,，測量結(jié)果通過顯示器輸出,，也可由打印機(jī)輸出。（來自網(wǎng)絡(luò)） 反射光通過MPD的***減小到聚焦的部分落在CCD相機(jī)上,。實(shí)驗(yàn)室輪廓儀聯(lián)系電話

NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能

? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置,，一鍵式操作，自動數(shù)據(jù)存儲

? 一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)

? 支持連接MES系統(tǒng),，數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC

? 具備異常報警,，急停等功能，報警信息可儲存

? MTBF ≥ 1500 hrs

? 產(chǎn)能 : 45s/點(diǎn) （移動 + 聚焦 + 測量）（掃描范圍 50um）

? 具備 Global alignment & Unit alignment

? 自動聚焦范圍 ： ± 0.3mm

? XY運(yùn)動速度

**快

如果需要了解更多詳細(xì)參數(shù),，請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司,。

我們主要經(jīng)營鍵合機(jī)、光刻機(jī),、輪廓儀,，隔振臺等設(shè)備。 輪廓測量輪廓儀實(shí)際價格NanoX-8000 的XY 平臺比較大移動速度：200mm/s 。

輪廓的角度處理:  

角度處理：兩直線夾角,、直線與Y軸夾角,、直線與X軸夾角點(diǎn)線處理：兩直線交點(diǎn)、交點(diǎn)到直線距離,、交點(diǎn)到交點(diǎn)距離,、交點(diǎn)到圓心距離、交點(diǎn)到點(diǎn)距離圓處理：圓心距離,、圓心到直線的距離,、交點(diǎn)到圓心的距離、直線到切點(diǎn)的距離線處理：直線度,、凸度,、LG凸度、對數(shù)曲線 ,。

白光輪廓儀的典型應(yīng)用：

對各種產(chǎn)品,，不見和材料表面的平面度，粗糙度,，波溫度,，面型輪廓，表面缺 陷,，磨損情況,，腐蝕情況，孔隙間隙,，臺階高度,，完全變形情況，加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析,。  

    比較大視場Thefilm3D以10倍物鏡優(yōu)異地提供更寛廣的2毫米視野,，其數(shù)位變焦功能有助于緩解不同應(yīng)用時切換多個物鏡的需要，更進(jìn)一步減少總體成本,。手動式物鏡轉(zhuǎn)盤能一次搭載四組物鏡,，能滿足需要多種倍率物鏡交替使用的測量應(yīng)用。索取技術(shù)資料索取報價性能規(guī)格厚度范圍,WSI50nm-10mm厚度范圍,PSI0-3μm樣品反射率範(fàn)圍-100 %電腦要求機(jī)械規(guī)格Z范圍100mmPiezo(壓電)范圍500μmXY平臺類型手動或自動XY平臺范圍100mmx100mm相機(jī)2592x1944(5百萬像素)系統(tǒng)尺寸,，寬x深x高300mmx300mmx550mm系統(tǒng)重量15kg物鏡1(NikonCFICEpiPlan)放大倍率5X10X20X50X100X視場xmmxmmxmmxmmxmm采樣空間2μmμmμmμmμm1分別出售2樣本上之像素大小常見的選購配件：urionNano30主動式防震臺4微米,，2微米，和100納米多臺階高度標(biāo)準(zhǔn),。菜單式系統(tǒng)設(shè)置,，一鍵式操作，自動數(shù)據(jù)存儲,。

輪廓儀的技術(shù)原理

被測表面(光)與參考面(光)之間的光程差（高度差）形成干涉

移相法(PSI)  高度和干涉相位

f = (2p/l ) 2 h

形貌高度: < 120nm

精度: < 1nm

RMS重復(fù)性: 0.01nm

垂直掃描法

(VSI+CSI)  

精度： ?/1000   干涉信號~光程差位置

形貌高度: nm-mm,

精度: >2nm

干涉測量技術(shù)：快速靈活,、超納米精度,、測量精度不受物鏡倍率影響

以下來自網(wǎng)絡(luò)：

輪廓儀，能描繪工件表面波度與粗糙度,，并給出其數(shù)值的儀器,，采用精密氣浮導(dǎo)軌為直線基準(zhǔn)。輪廓測試儀是對物體的輪廓,、二維尺寸,、二維位移進(jìn)行測試與檢驗(yàn)的儀器，作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分***,。

輪廓儀可用于：散熱材料表面粗糙度分析（粗糙度控制）,，生物,、醫(yī)藥新技術(shù),，微流控器件。臺式輪廓儀服務(wù)為先

支持連接MES系統(tǒng),，數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC,。實(shí)驗(yàn)室輪廓儀聯(lián)系電話

白光干涉輪廓儀對比激光共聚焦輪廓儀

白光干涉3D顯微鏡：

干涉面成像，

多層垂直掃描

比較好高度測量精度：< 1nm

高度精度不受物鏡影響

性價比好

激光共聚焦3D顯微鏡：

點(diǎn)掃描合成面成像,，

多層垂直掃描

Keyence（日本）

比較好高度測量精度：～10nm

高度精度由物鏡決定,，1um精度@10倍

90萬-130萬

三維光學(xué)輪廓儀采用白光軸向色差原理（性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀）對樣品表面進(jìn)行快速、重復(fù)性高,、高 分辨率的三維測量,，測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌，臺階高度,，給MEMS,、半導(dǎo)體材料、太陽能電池,、醫(yī)療工程,、制藥、生物材料,，光學(xué)元件,、陶瓷和先進(jìn)材料的研發(fā)和生產(chǎn)提供了一個精確的、價格合理的計(jì)量方案,。（來自網(wǎng)絡(luò)） 實(shí)驗(yàn)室輪廓儀聯(lián)系電話

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司致力于儀器儀表,，是一家其他型公司。公司自成立以來,，以質(zhì)量為發(fā)展,，讓匠心彌散在每個細(xì)節(jié)，公司旗下磁記錄,，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)深受客戶的喜愛。公司從事儀器儀表多年,，有著創(chuàng)新的設(shè)計(jì),、強(qiáng)大的技術(shù)，還有一批**的專業(yè)化的隊(duì)伍,，確保為客戶提供良好的產(chǎn)品及服務(wù),。岱美儀器技術(shù)服務(wù)立足于全國市場，依托強(qiáng)大的研發(fā)實(shí)力,，融合前沿的技術(shù)理念,，飛快響應(yīng)客戶的變化需求。