輪廓儀產(chǎn)品概述：  

NanoX-2000/3000

系列 3D 光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測(cè)量（PSI）,、白光垂直掃描干涉測(cè)量（VSI）和單色光

垂直掃描干涉測(cè)量（CSI）等技術(shù)的基礎(chǔ)上,，以其納米級(jí)測(cè)量準(zhǔn)確度和重復(fù)性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測(cè)件的表面粗

糙度,、表面輪廓、臺(tái)階高度,、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等,。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS,、航空航天,、精密加

工、表面工程技術(shù),、材料,、太陽(yáng)能電池技術(shù)等領(lǐng)域。

想要了解更多的信息,，請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器,。 隔振系統(tǒng)：集成氣浮隔振 + 大理石基石。3D輪廓儀輪廓測(cè)量應(yīng)用

NanoX-8000 3D輪廓測(cè)量主要技術(shù)參數(shù)

3D測(cè)量主要技術(shù)指標(biāo)（1）：

測(cè)量模式： PSI + VSI + CSI

Z軸測(cè)量范圍： 大行程PZT 掃描 （300um 標(biāo)配/500um選配）

10mm 精密電機(jī)拓展掃描

CCD相機(jī)： 1920x1200 高速相機(jī)（標(biāo)配）

干涉物鏡： 2.5X, 5X, 10X（標(biāo)配）, 20X, 50X, 100X(NIKON )

物鏡切換： 5孔電動(dòng)鼻切換 FOV： 1100x700um(10X物鏡), 220x140um(50X物鏡)

Z軸聚焦： 高精密直線平臺(tái)自動(dòng)聚焦

照明系統(tǒng)： 高 效長(zhǎng)壽白光LED + 濾色鏡片電動(dòng)切換（綠色/藍(lán)色）

傾斜調(diào)節(jié)： ±5°電動(dòng)調(diào)節(jié)

橫向分辨率： ≥0.35μm（與所配物鏡有關(guān)）

3D測(cè)量主要技術(shù)指標(biāo)（2）：

垂直掃描速度： PSI : <10s,，VSI/CSI：< 38um/s

高度測(cè)量范圍： 0.1nm – 10mm

表面反射率： > 0.5%

測(cè)量精度: PSI: 垂直分辨率 < 0.1nm

準(zhǔn)確度 < 1nm

RMS重復(fù)性 < 0.01nm (1σ)

臺(tái)階高重復(fù)性：0.15nm(1σ)

VSI/CSI：垂直分辨率 < 0.5nm

準(zhǔn)確度<1%

重復(fù)性<0.1% (1σ,，10um臺(tái)階高) 太陽(yáng)能電池輪廓儀NanoX-8000隔振系統(tǒng)：集成氣浮隔振 + 大理石基石。

    輪廓儀是用容易理解的機(jī)械技術(shù)測(cè)量薄膜厚度,。它的工作原理是測(cè)量測(cè)量劃過(guò)薄膜的檢測(cè)筆的高度(見(jiàn)右圖),。輪廓儀的主要優(yōu)點(diǎn)是可以測(cè)量所有固體膜，包括不透明的厚金屬膜,。更昂貴的系統(tǒng)能測(cè)繪整個(gè)表面輪廓,。(有關(guān)我們的低成本光學(xué)輪廓儀的資訊，請(qǐng)點(diǎn)擊這里).獲取反射光譜指南然而輪廓儀也有不足之處,。首先,，樣本上必須有個(gè)小坎才能測(cè)量薄膜厚度，而小坎通常無(wú)法很標(biāo)準(zhǔn)(見(jiàn)圖),。這樣,，標(biāo)定誤差加上機(jī)械漂移造成5%-10%的測(cè)量誤差。與此相比,，光譜反射儀使用非接觸技術(shù),，不需要任何樣本準(zhǔn)備就可以測(cè)量厚度。只需一秒鐘分析從薄膜反射的光就可確定薄膜厚度和折射率,。光譜反射儀還可以測(cè)量多層薄膜,。輪廓儀和光譜反射儀的主要優(yōu)點(diǎn)列表于下。如需更多光譜反射儀信息請(qǐng)?jiān)L問(wèn)我們官網(wǎng),。

    新型光學(xué)輪廓儀!film3D使得光學(xué)輪廓測(cè)量更易負(fù)擔(dān)*后,，表面粗糙度和表面形貌測(cè)量可以用比探針式輪廓儀成本更低的儀器來(lái)進(jìn)行。film3D具有3倍於于其成本儀器的次納米級(jí)垂直分辨率,film3D同樣使用了現(xiàn)今*高 分辨率之光學(xué)輪廓儀的測(cè)量技術(shù)包含垂直掃描干涉(VSI)及相移干涉(PSI)。這就是您需要的解析力每film3D帶有直觀的粗糙度,，表面形貌和臺(tái)階高度的測(cè)量軟件,。所有常見(jiàn)如ISO25178所規(guī)范的粗糙度參數(shù)都支持，也包括軟件功能用于形貌分析,，如形狀去除和波長(zhǎng)過(guò)濾,，都包含在基film3D軟件。對(duì)于更進(jìn)階的功能,，F(xiàn)ilmetrics提供了我們的合作伙伴TrueGage的TrueMap軟件可進(jìn)一步處理film3D數(shù)據(jù)，這當(dāng)然也與業(yè)界其他標(biāo)準(zhǔn)分析軟件兼容,。其他輪廓儀列為選備的功能已經(jīng)是我們的標(biāo)準(zhǔn)配備為什么需要額外支付每位使用者所需要的功能,？每film3D都已標(biāo)配自動(dòng)化X/Y平臺(tái)包含tip/tilt功能。以我們的階高標(biāo)準(zhǔn)片建立標(biāo)準(zhǔn)每film3D配備了一個(gè)10微米階高標(biāo)準(zhǔn)片,，可達(dá)％準(zhǔn)確度,。另我們還提供具有100nm，2微米以及4微米等多階高標(biāo)準(zhǔn)片,。*大視場(chǎng)Thefilm3D以10倍物鏡優(yōu)異地提供更寬廣的2毫米視野,其數(shù)位變焦功能有助于緩解不同應(yīng)用時(shí)切換多個(gè)物鏡的需要,。更進(jìn)一步減少總體成本。反射光通過(guò)MPD的***減小到聚焦的部分落在CCD相機(jī)上,。

    比較大視場(chǎng)Thefilm3D以10倍物鏡優(yōu)異地提供更寛廣的2毫米視野,，其數(shù)位變焦功能有助于緩解不同應(yīng)用時(shí)切換多個(gè)物鏡的需要，更進(jìn)一步減少總體成本,。手動(dòng)式物鏡轉(zhuǎn)盤能一次搭載四組物鏡,，能滿足需要多種倍率物鏡交替使用的測(cè)量應(yīng)用。索取技術(shù)資料索取報(bào)價(jià)性能規(guī)格厚度范圍,WSI50nm-10mm厚度范圍,PSI0-3μm樣品反射率範(fàn)圍-100 %電腦要求機(jī)械規(guī)格Z范圍100mmPiezo(壓電)范圍500μmXY平臺(tái)類型手動(dòng)或自動(dòng)XY平臺(tái)范圍100mmx100mm相機(jī)2592x1944(5百萬(wàn)像素)系統(tǒng)尺寸,，寬x深x高300mmx300mmx550mm系統(tǒng)重量15kg物鏡1(NikonCFICEpiPlan)放大倍率5X10X20X50X100X視場(chǎng)xmmxmmxmmxmmxmm采樣空間2μmμmμmμmμm1分別出售2樣本上之像素大小常見(jiàn)的選購(gòu)配件：urionNano30主動(dòng)式防震臺(tái)4微米,，2微米，和100納米多臺(tái)階高度標(biāo)準(zhǔn),。共聚焦顯微鏡包括LED光源,、旋轉(zhuǎn)多***盤、帶有壓電驅(qū)動(dòng)器的物鏡和CCD相機(jī),。上海輪廓儀美元報(bào)價(jià)

粗糙度儀的功能是測(cè)量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量,。3D輪廓儀輪廓測(cè)量應(yīng)用

輪廓儀、粗糙度儀,、三坐標(biāo)的區(qū)別

關(guān)于輪廓儀和粗糙度儀

  輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品,，輪廓儀主要功能是測(cè)量零件表面的輪廓形狀，比如：汽車零件中的溝槽的槽深,、槽寬,、倒角（包括倒角位置、倒角尺寸、角度等）,，圓柱表面素線的直線度等參數(shù),。總之,，輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓,。粗糙度儀的功能是測(cè)量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量，通俗地講,，就是零件表面加工得光不光（粗糙度老國(guó)標(biāo)叫光潔度）,，即粗糙度反映的是零件加工表面的微觀情況。

關(guān)于三坐標(biāo)測(cè)量輪廓度及粗糙度

  三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是不能測(cè)量粗糙度的,，至于測(cè)量零件的表面輪廓 ,，要視三坐標(biāo)的測(cè)量精度及零件表面輪廓度的要求了，如果你的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)精度比較高,，但零件輪廓度要求不可,，是可以用三坐標(biāo)來(lái)代替的。一般三坐標(biāo)精度都在2-3um左右,，而輪廓儀都在2um以內(nèi),，還有就是三坐標(biāo)可以測(cè)量大尺寸零件的輪廓，因?yàn)樗旋堥T式三坐標(biāo)和關(guān)節(jié)臂三坐標(biāo),，而輪廓儀主要是用來(lái)測(cè)量一些小的精密零件輪廓尺寸的,，加上粗糙度模塊也可以測(cè)量粗糙度。 3D輪廓儀輪廓測(cè)量應(yīng)用

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司致力于儀器儀表,，以科技創(chuàng)新實(shí)現(xiàn)***管理的追求,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)作為磁記錄、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國(guó)際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】磁記錄、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國(guó)際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】的企業(yè)之一,，為客戶提供良好的磁記錄，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn),，測(cè)試儀器的批發(fā)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終以本分踏實(shí)的精神和必勝的信念,，影響并帶動(dòng)團(tuán)隊(duì)取得成功,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終關(guān)注儀器儀表行業(yè)。滿足市場(chǎng)需求,，提高產(chǎn)品價(jià)值,，是我們前行的力量。