非晶態(tài)多晶硅硅元素以非晶和晶體兩種形式存在, 在兩級之間是部分結(jié)晶硅。部分結(jié)晶硅又被叫做多晶硅,。

非晶硅和多晶硅的光學常數(shù)(n和k)對不同沉積條件是獨特的,，必須有精確的厚度測量。 測量厚度時還必須考慮粗糙度和硅薄膜結(jié)晶可能的風化,。

Filmetrics 設(shè)備提供的復(fù)雜的測量程序同時測量和輸出每個要求的硅薄膜參數(shù),， 并且“一鍵”出結(jié)果。

FSM拉曼的應(yīng)用：局部應(yīng)力,； 局部化學成分,；局部損傷,。盒厚膜厚儀免稅價格

樣品視頻包括硬件和照相機的F20系統(tǒng)視頻。視頻實時顯示精確測量點,。 不包括SS-3平臺,。SampleCam-sXsX探頭攝像機包含改裝的sX探頭光學配件，但不包含平臺,。StageBase-XY8-Manual-40mm8“×8” 樣品平臺,，具有SS-3鏡頭與38mm的精密XY平移聚焦平臺。能夠升級成電動測繪與自動對焦,。StageBase-XY10-Auto-100mm10“×10” 全電動樣品平臺,。可以進行100mm高精度XY平移,，包括自動焦距調(diào)節(jié),。SS-Microscope- UVX-1顯微鏡（15倍反射式物鏡）及X-Y平臺。 包含UV光源與照明光纖,。SS-Microscope- EXR-1顯微鏡包含X- Y平臺及照明光纖. 需另選購物鏡. 通常使用顯微鏡內(nèi)建照明,。SS-Trans-Curved用于平坦或彎曲表面的透射平臺，包括光纖,，和 F10-AR 一起使用。 波長范圍 250nm -2500nm,。T-1SS-3 平臺的透射測量可選件,。包括光纖、平臺轉(zhuǎn)接器和平臺支架,。 用于平坦的樣品,。WS-300用于小于 300mm 樣品的平移旋轉(zhuǎn)平臺。重慶實驗室膜厚儀F30測厚范圍：15nm-70μm,；波長：380-1050nm,。

參考材料

備用 BK7 和二氧化硅參考材料。

BG-Microscope顯微鏡系統(tǒng)內(nèi)取背景反射的小型抗反光鏡

BG-F10-RT平臺系統(tǒng)內(nèi)獲取背景反射的抗反光鏡

REF-Al-1mmSubstrate基底 - 高反射率鋁基準

REF-Al-3mmSubstrate基底 - 高反射率鋁基準

REF-BK71?" x 1?" BK7 反射基準,。

REF-F10RT-FusedSilica-2Side背面未經(jīng)處理的石英,，用于雙界面基準。

REF-Si-22" 單晶硅晶圓

REF-Si-44" 單晶硅晶圓

REF-Si-66" 單晶硅晶圓

REF-Si-88" 單晶硅晶圓

REF-SS3-Al專為SS-3樣品平臺設(shè)計之鋁反射率基準片

REF-SS3-BK7專為SS-3樣品平臺設(shè)計之BK7玻璃反射率基準片

REF-SS3-Si專為SS-3樣品平臺設(shè)計之硅反射率基準片

測量眼科設(shè)備涂層厚度光譜反射率可用于測量眼鏡片減反射 (AR) 光譜和殘余顏色,，以及硬涂層和疏水層的厚度,。

測量范例：

F10-AR系統(tǒng)配備HC升級選擇通過反射率信息進行硬涂層厚度測量。這款儀器儀器采用接觸探頭,，從而降低背面反射影響,，并可測凹凸表面。接觸探頭安置在鏡頭表面,。FILMeasure軟件自動分析采集的光譜信息以確定鏡頭是否滿足指定的反射規(guī)格,?？蓽y平均反射率，指定點**小比較大反射率,，以抵消硬涂層的存在,。如果這個鏡頭符合要求，系統(tǒng)操作人員將得到清晰的“很好”指示,。 F30-UV測厚范圍：3nm-40μm,；波長：190-1100nm。

    光纖紫外線,、可見光譜和近紅外備用光纖,。接觸探頭是相當堅固的，但是光纖不能經(jīng)常被抽屜碰撞或者被椅子壓過,。該套件包括指令,，以及簡單的維修工具，新的和舊風格的探頭,。FO-PAT-SMA-SMA-200-22米長,，直徑200um的光纖，兩端配備SMA接頭,。米長,，分叉反射探頭。

通用附件攜帶箱等,。手提電腦手提電腦預(yù)裝FILMeasure軟件,、XP和Microsoft辦公軟件。

電腦提箱用于攜帶F10,、F20,、F30和F40系統(tǒng)的提箱。ConflatFeedthrough真空穿通,，"conflat,、雙出入孔SMA，并通過泄漏測試,。LensPaper-CenterHole**開孔鏡頭紙,，用于保護面朝下的樣品，5本各100張,。 應(yīng)用：襯底厚度(不受圖案硅片,、有膠帶、凹凸或者粘合硅片影響),，平整度,。Filmetrics F3-CS膜厚儀24小時在線服務(wù)

F40測量范圍；20nm-40μm;波長：400-850nm,。盒厚膜厚儀免稅價格

厚度標準：

所有 Filmetrics 厚度標準都是得到驗證可追溯的 NIST 標準,。

S-Custom-NIST：在客戶提供的樣品上定制可追溯的 NIST 厚度校準,。 

TS-Focus-SiO2-4-3100SiO2-on-Si ：厚度標準，外加調(diào)焦區(qū)和單晶硅基準,，厚度大約 3100A,，4" 晶圓。

TS-Focus-SiO2-4-10000SiO2-on-Si ：厚度標準,，外加調(diào)焦區(qū)和單晶硅基準,，厚度大約 10000A，4" 晶圓,。

TS-Hardcoat-4μm：丙烯酸塑料硬涂層厚度標準,，厚度大約 4um，直徑 2",。

TS-Hardcoat-Trans：背面透明的硬涂層,，可用于透射測量。

TS-Parylene-4um：丙烯酸塑料上的聚對二甲苯厚度標準,，厚度大約 4um ,，直徑2"。

TS-Parylene-8um：硅基上的聚對二甲苯厚度標準,，厚度大約 8um,，23mm x 23mm。

TS-SiO2-4-7200：硅基上的二氧化硅厚度標準,，厚度大約 7200A,，4" 晶圓。

TS-SiO2-4-7200-NIST：可追溯的 NIST SiO2-4-7200 厚度標準,。

TS-SiO2-6-Multi：多厚度硅基上的二氧化硅標準: 125埃米，250埃米,，500埃米,，1000埃米，5000埃米,，和 10000埃米 (+/-10%誤差),，6英寸晶圓。TS-SS3-SiO2-8000：專為SS-3樣品平臺設(shè)計之二氧化硅厚度標準片,厚度大約為 8000A,。 盒厚膜厚儀免稅價格

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位,，交通便利，環(huán)境優(yōu)美,，是一家其他型企業(yè),。是一家有限責任公司企業(yè)，隨著市場的發(fā)展和生產(chǎn)的需求,，與多家企業(yè)合作研究,，在原有產(chǎn)品的基礎(chǔ)上經(jīng)過不斷改進,，追求新型，在強化內(nèi)部管理,，完善結(jié)構(gòu)調(diào)整的同時,，良好的質(zhì)量、合理的價格,、完善的服務(wù),，在業(yè)界受到寬泛好評。以滿足顧客要求為己任,；以顧客永遠滿意為標準,；以保持行業(yè)優(yōu)先為目標，提供***的磁記錄,，半導體,，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā),。岱美儀器技術(shù)服務(wù)順應(yīng)時代發(fā)展和市場需求,，通過**技術(shù)，力圖保證高規(guī)格高質(zhì)量的磁記錄,，半導體,，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā),。