FSM 8018 VITE測試系列設備

VITE技術介紹：

VITE是傅里葉頻域技術，利用近紅外光源的相位剪切技術（Phase shear technology）

設備介紹

適用于所有可讓近紅外線通過的材料：硅、藍寶石,、砷化鎵,、磷化銦、碳化硅,、玻璃、石  英、聚合物…………

應用:

   襯底厚度(不受圖案硅片,、有膠帶、凹凸或者粘合硅片影響)

   平整度

   厚度變化 (TTV)

   溝槽深度

   過孔尺寸,、深度,、側壁角度

   粗糙度

薄膜厚度

不同半導體材料的厚度

   環(huán)氧樹脂厚度

   襯底翹曲度

   晶圓凸點高度(bump height)

MEMS 薄膜測量

TSV 深度、側壁角度...

F50測厚范圍：20nm-70μm,；波長：380-1050nm,。膜厚儀有哪些品牌

F40 系列將您的顯微鏡變成薄膜測量工具F40 產(chǎn)品系列用于測量小到 1 微米的光斑。 對大多數(shù)顯微鏡而言,，F(xiàn)40 能簡單地固定在 c 型轉接器上,，這樣的轉接器是顯微鏡行業(yè)標準配件。

F40 配備的集成彩色攝像機,，能夠對測量點進行準確監(jiān)控,。 在 1 秒鐘之內就能測定厚度和折射率。 像我們所有的臺式儀器一樣,，F(xiàn)40 需要連接到您裝有 Windows 計算機的 USB 端口上并在數(shù)分鐘內完成設定,。

F40：20nm-40μm 400-850nm

F40-EXR：20nm-120μm 400-1700nm

F40-NIR：40nm-120μm 950-1700nm

F40-UV：4nm-40μm 190-1100nm

F40-UVX：4nm-120μm 190-1700nm 官方授權膜厚儀研發(fā)可以用嗎一般較短波長 (例如， F50-UV) 可用于測量較薄的薄膜，而較長波長可以測量更厚,、更不平整和更不透明的薄膜,。

    光刻膠）polyerlayers（高分子聚合物層）polymide（聚酰亞胺）polysilicon（多晶硅）amorphoussilicon（非晶硅）基底實例：對于厚度測量，大多數(shù)情況下所要求的只是一塊光滑,、反射的基底,。對于光學常數(shù)測量，需要一塊平整的鏡面反射基底,；如果基底是透明的,，基底背面需要進行處理使之不能反射。包括：silicon（硅）glass（玻璃）aluminum（鋁）gaas（砷化鎵）steel（鋼）polycarbonate（聚碳酸脂）polymerfilms（高分子聚合物膜）應用半導體制造液晶顯示器光學鍍膜photoresist光刻膠oxides氧化物nitrides氮化物cellgaps液晶間隙polyimide聚酰亞胺ito納米銦錫金屬氧化物hardnesscoatings硬鍍膜anti-reflectioncoatings增透鍍膜filters濾光f20使用**仿真活動來分析光譜反射率數(shù)據(jù),。標準配置和規(guī)格F20-UVF20F20-NIRF20-EXR只測試厚度1nm~40μm15nm~100μm100nm~250μm15nm~250μm測試厚度和n&k值50nmandup100nmandup300nmandup100nmandup波長范圍200-1100nm380-1100nm950-1700nm380-1700nm準確度大于％或2nm精度1A2A1A穩(wěn)定性光斑大小20μm至可選樣品大小1mm至300mm及更大探測器類型1250-元素硅陣列512-元素砷化銦鎵1000-元素硅&512-砷化銦鎵陣列光源鎢鹵素燈,。

硬涂層厚度測量Filmetrics 系統(tǒng)在汽車和航空工業(yè)得到廣泛應用，用于測量硬涂層和其他保護性薄膜的厚度,。F10-HC 是為彎曲表面和多層薄膜 (例如,， 底涂/硬涂層) 而專門設計的。

汽車前燈在汽車前燈組件的制造中需要進行多點測量,，因為涂層厚度對于品質至關重要,。 外側硬涂層和聚碳酸酯鏡頭內側的防霧層以及反射器上的涂層的厚度都是很重要的。 這些用途中的每一項是特殊的挑戰(zhàn),，而 Filmetrics 已經(jīng)開發(fā)出軟件,、硬件和應用知識以便為用戶提供正確的解決方案。

測量范例帶HC選項的F10-AR收集測量厚度的反射率信息,。這款儀器采用光學接觸探頭,，它的設計降低了背面反射。接觸探頭安置在亞克力表明,。FILMeature軟件自動分析收集的光譜信息,，給出涂層厚度。在這個例子中,，亞克力板上還有一層與硬涂層折射率非常近似的底漆,。 基本上所有光滑的、半透明的或低吸收系數(shù)的薄膜都可以測量,。

接觸探頭測量彎曲和難測的表面

CP-1-1.3測量平面或球形樣品,，結實耐用的不銹鋼單線圈。

CP-1-AR-1.3可以抑 制背面反射,，對 1.5mm 厚的基板可抑 制 96%,。 鋼制單線圈外加PVC涂層，比較大可測厚度 15um,。

CP-2-1.3用于探入更小的凹表面,，直徑 17.5mm,。

CP-C6-1.3探測直徑小至 6mm 的圓柱形和球形樣品外側。

CP-C12-1.3用于直徑小至 12mm 圓柱形和球形樣品外側,。

CP-C26-1.3用于直徑小至 26mm 圓柱形和球形樣品外側,。

CP-BendingRod-L350-2彎曲長度 300mm，總長度 350mm 的接觸探頭,。 用于難以到達的區(qū)域,，但不會自動對準表面。

CP-ID-0to90Deg-2用于食品和飲料罐頭內壁的接觸探頭,。

CP-RA-3mmDia-200mmL-2直徑**小的接觸探頭,，配備微型直角反射鏡，用來測量小至直徑 3mm 管子的內壁,，不能自動對準表面,。

CP-RA-10mmHigh-2配備微型直角反射鏡，可以在相隔 10mm 的兩個平坦表面之間進行測量,。 測量厚度: 15 — 780 μm (單探頭) ,； 3 mm (雙探頭總厚度測量)。Filmetrics F40膜厚儀國內代理

F20-UV測厚范圍：1nm - 40μm,；波長：190-1100nm,。膜厚儀有哪些品牌

由于在重大工程、工業(yè)裝備和質量保證,、基礎科研中,，儀器儀表都是必不可少的基礎技術和裝備重點，除傳統(tǒng)領域的需求外,，新興的智能制造、離散自動化,、生命科學,、新能源、海洋工程,、軌道交通等領域也會產(chǎn)生巨大需求,。中國的新型工業(yè)化進程，信息化和工業(yè)化融合的進一步加深,，帶動各個工業(yè)領域對于磁記錄,，半導體，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)等產(chǎn)品的需求,。磁記錄、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務，國際貿易,、轉口貿易,，商務信息咨詢服務。 【依法須經(jīng)批準的項目,，經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務，國際貿易,、轉口貿易,，商務信息咨詢服務。 【依法須經(jīng)批準的項目,，經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】產(chǎn)品普遍運用于工業(yè),、農業(yè)、交通,、科技,、環(huán)保、**,、文教衛(wèi)生,、大家生活等各個領域，在旺盛市場需求的帶動下和我國宏觀調控政策的引導下,，我國儀器儀表行業(yè)的發(fā)展有了長足的進步空間,。儀器儀表在工業(yè)發(fā)展中具有重要作用，這也使得儀器儀表得到快讀發(fā)展,。各行各業(yè)對儀器儀表的市場需求也在不斷提升,，銷售企業(yè)正在發(fā)展中尋求技術創(chuàng)新和質量提升。儀器儀表的質量,、性能關系到工業(yè)安全,，必須重視。膜厚儀有哪些品牌

岱美儀器技術服務（上海）有限公司主要經(jīng)營范圍是儀器儀表,，擁有一支專業(yè)技術團隊和良好的市場口碑,。公司自成立以來，以質量為發(fā)展,，讓匠心彌散在每個細節(jié),，公司旗下磁記錄，半導體,，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)深受客戶的喜愛,。公司從事儀器儀表多年，有著創(chuàng)新的設計,、強大的技術,，還有一批**的專業(yè)化的隊伍，確保為客戶提供良好的產(chǎn)品及服務,。岱美儀器技術服務憑借創(chuàng)新的產(chǎn)品,、專業(yè)的服務、眾多的成功案例積累起來的聲譽和口碑,，讓企業(yè)發(fā)展再上新高,。