納米壓印光刻（NIL）技術(shù)

EVG是納米壓印光刻（NIL）設(shè)備和集成工藝的市場**供應(yīng)商,。EVG從19年前的研究方法中率先并掌握了NIL，并實現(xiàn)了從2英寸化合物半導體晶圓到300 mm晶圓甚至大面積面板的各種尺寸基板的批量生產(chǎn),。NIL是產(chǎn)生納米尺度分辨率圖案的**有前途且相當有成本效益的工藝,，可用于生物MEMS,，微流體，電子學以及**近各種衍射光學元件的各種商業(yè)應(yīng)用,。

其中EVG紫外光納米壓印系統(tǒng)型號包含：

EVG®610

EVG®620NT

EVG®6200NT

EVG®720

EVG®7200

EVG®7200LA

HERCULES®NIL

EVG®770

IQAligner®

熱壓納米壓抑系統(tǒng)型號包含：

EVG®510HE

EVG®520HE

詳細的參數(shù),，請聯(lián)系我們岱美有限公司,。

EVG ? 720是自動SmartNIL ? UV紫外光納米壓印光刻系統(tǒng)。天津納米壓印推薦廠家

EVG610特征：

頂部和底部對準能力

高精度對準臺

自動楔形誤差補償機制

電動和程序控制的曝光間隙

支持***的UV-LED技術(shù)

**小化系統(tǒng)占地面積和設(shè)施要求

分步流程指導

遠程技術(shù)支持

多用戶概念（無限數(shù)量的用戶帳戶和程序,，可分配的訪問權(quán)限,，不同的用戶界面語言）

敏捷處理和光刻工藝之間的轉(zhuǎn)換

臺式或帶防震花崗巖臺的單機版

EVG610附加功能：

鍵對準

紅外對準

納米壓印光刻 

μ接觸印刷

EVG610技術(shù)數(shù)據(jù)：

晶圓直徑（基板尺寸）

標準光刻：比較大150毫米的碎片

柔軟的UV-NIL：比較大150毫米的碎片

解析度：≤40 nm（分辨率取決于模板和工藝）

支持流程：柔軟的UV-NIL

曝光源：汞光源或紫外線LED光源

自動分離：不支持

工作印章制作：外部

熱壓印納米壓印三維芯片應(yīng)用EVG ? 770是分步重復納米壓印光刻系統(tǒng)，使用分步重復納米壓印光刻技術(shù),，可進行有效的母版制作,。

    在EVG的NILPhotonics?解決方案支援中心，雙方合作研發(fā)用于制造光學傳感器的新材料,，以及適用于大眾化市場的晶圓級光學元件,。（奧地利）與WINDACH（德國），2019年11月27日――EV集團(EVG)這一全球**的為微機電系統(tǒng),、納米技術(shù)與半導體市場提供晶圓鍵合與光刻設(shè)備的供應(yīng)商,，***宣布與高科技工業(yè)粘合劑制造商DELO在晶圓級光學元件(WLO)領(lǐng)域開展合作。這兩家公司均在光學傳感器制造領(lǐng)域處于**地位,。它們的合作將充分利用EVG的透鏡注塑成型與納米壓印光刻(NIL)加工設(shè)備與DELO先進的粘合劑與抗蝕材料,，在工業(yè)，汽車,，消費類電子產(chǎn)品市場開發(fā)與應(yīng)用新型光學設(shè)備,，例如生物特征身份認證，面部識別,。目前雙方正在EVG的NILPhotonics?解決方案支援中心（位于EVG總部,，奧地利Florian）以及DELO在德國Windach的總部展開合作。雙方致力于改善與加快材料研發(fā)周期,。EVG的NILPhotonics解決方案支援中心為NIL供應(yīng)鏈的客戶與合作伙伴提供了開放的創(chuàng)新孵化器,，旨在通過合作來縮短創(chuàng)新設(shè)備與應(yīng)用的研發(fā)與推廣周期。該中心的基礎(chǔ)設(shè)施包括**技術(shù)的潔凈室與支持NIL制造的主要步驟的設(shè)備,，例如分步重復母版,，透鏡模制，以及EVG的SmartNIL?技術(shù),，晶圓鍵合與必要的測量設(shè)備,。

EVG ® 720自動SmartNIL

® UV納米壓印光刻系統(tǒng)

自動全視野的UV納米壓印溶液達150毫米，設(shè)有EVG's專有SmartNIL ®技術(shù)

EVG720系統(tǒng)利用EVG的創(chuàng)新SmartNIL技術(shù)和材料專業(yè)知識,，能夠大規(guī)模制造微米和納米級結(jié)構(gòu),。具有SmartNIL技術(shù)的EVG720系統(tǒng)能夠在大面積上印刷小至40 nm *的納米結(jié)構(gòu)，具有****的吞吐量,，非常適合批量生產(chǎn)下一代微流控和光子器件,，例如衍射光學元件（ DOEs）。

*分辨率取決于過程和模板

如果需要詳細的信息，請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司,。也可以訪問官網(wǎng),，獲得更多信息。 納米壓印是一種用于大規(guī)模制造微米級和納米級結(jié)構(gòu)的低成本的技術(shù),，大批量替代光刻技術(shù),。

    其中包括家用電器、醫(yī)藥,、電子,、光學、生命科學,、汽車和航空業(yè),。肖特在全球34個國家和地區(qū)設(shè)有生產(chǎn)基地和銷售辦事處。公司目前擁有員工超過15500名,，2017/2018財年的銷售額為,。總部位于德國美因茨的母公司SCHOTTAG由卡爾蔡司基金會（CarlZeissFoundation）全資擁有,?？柌趟净饡堑聡鴼v史**悠久的私立基金會之一，同時也是德國規(guī)模比較大的科學促進基金會之一,。作為一家基金公司,，肖特對其員工，社會和環(huán)境負有特殊責任,。關(guān)于EV集團（EVG）EV集團（EVG）是為半導體,、微機電系統(tǒng)（MEMS）、化合物半導體,、功率器件和納米技術(shù)器件制造提供設(shè)備與工藝解決方案的**供應(yīng)商,。其主要產(chǎn)品包括：晶圓鍵合、薄晶圓處理,、光刻/納米壓印（NIL）與計量設(shè)備,，以及涂膠機,、清洗機和檢測系統(tǒng)。EV集團成立于1980年,，可為遍及全球的眾多客戶和合作伙伴網(wǎng)絡(luò)提供各類服務(wù)與支持,。SmartNIL，NILPhotonics及EVGroup標識是EVGroup的注冊商標,SCHOTTRealView?是SCHOTT的注冊商標,。（來自網(wǎng)絡(luò),。EVG?720/EVG?7200/EVG?7200LA是自動化的全場域納米壓印解決方案，適用于第3代基材。天津納米壓印推薦廠家

EVG620 NT是以其靈活性和可靠性而聞名的,，因為它以**小的占位面積提供了***的掩模對準技術(shù),。天津納米壓印推薦廠家

    ”EV集團的技術(shù)研發(fā)與IP主管MarkusWimplinger說，“通過與供應(yīng)鏈的關(guān)鍵企業(yè)的合作,，例如DELO,，我們能夠進一步提高效率，作為與工藝和設(shè)備**們一同研究并建立關(guān)鍵的新生產(chǎn)線制造步驟的中心,?！薄癊VG和DELO分別是晶圓級光學儀器與NIL設(shè)備與光學材料的技術(shù)與市場**企業(yè)。雙方在將技術(shù)與工藝流程應(yīng)用于大規(guī)模生產(chǎn)方面有可靠的經(jīng)驗,”DELO的董事總經(jīng)理RobertSaller說道,?！巴ㄟ^合作，我們將提供自己獨特的技術(shù),，將晶圓級工藝技術(shù)應(yīng)用于光學器件和光電器件制造中,，EVG也成為我們***產(chǎn)品開發(fā)的理想合作伙伴。這種合作還將使我們以應(yīng)用**和前列合作伙伴的身份為客戶服務(wù),。"晶圓級光學元件的應(yīng)用解決方案EVG的晶圓級光學器件解決方案為移動式消費電子產(chǎn)品提供多種新型的光學傳感設(shè)備,。主要的例子是：3D感應(yīng)，飛行時間,，結(jié)構(gòu)光,，生物特征身份認證，面部識別,虹膜掃描,，光學指紋,，頻譜檢測，環(huán)境感應(yīng)與紅外線成像,。其它應(yīng)用領(lǐng)域包括汽車照明,，光地毯，平視顯示器,，車內(nèi)感應(yīng),，激光雷達，內(nèi)窺鏡照相機醫(yī)學成像,，眼科設(shè)備與手術(shù)機器人,。EVG的晶圓級光學儀器解決方案得到公司的NILPhotonics解決方案支援中心的支持。DELO創(chuàng)新的多功能材料幾乎可以在世界上每部手機上找到,。天津納米壓印推薦廠家

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司發(fā)展規(guī)模團隊不斷壯大,，現(xiàn)有一支專業(yè)技術(shù)團隊，各種專業(yè)設(shè)備齊全,。在岱美儀器技術(shù)服務(wù)近多年發(fā)展歷史,，公司旗下現(xiàn)有品牌岱美儀器技術(shù)服務(wù)等,。公司堅持以客戶為中心、磁記錄,、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準的項目，經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準的項目，經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】市場為導向,，重信譽,，保質(zhì)量，想客戶之所想,，急用戶之所急,，全力以赴滿足客戶的一切需要。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終以質(zhì)量為發(fā)展,，把顧客的滿意作為公司發(fā)展的動力,，致力于為顧客帶來***的磁記錄，半導體,，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)。