輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用：

晶圓的IC制造過程可簡(jiǎn)單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程，其中由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小,，任何微小的黏附異物和下次均會(huì)導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺 陷，因此必須對(duì)光罩和晶圓的表面輪廓進(jìn)行檢測(cè),，檢測(cè)相應(yīng)的輪廓尺寸,。

白光輪廓儀的典型應(yīng)用：

對(duì)各種產(chǎn)品，不見和材料表面的平面度,，粗糙度,，波溫度，面型輪廓,，表面缺 陷,，磨損情況，腐蝕情況,，孔隙間隙,，臺(tái)階高度，完全變形情況,，加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析,。

輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用。Bruker輪廓儀技術(shù)原理

NanoX-2000/3000

系列 3D 光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測(cè)量（PSI）,、白光垂直掃描干涉測(cè)量（VSI）和單色光

垂直掃描干涉測(cè)量（CSI）等技術(shù)的基礎(chǔ)上,，以其納米級(jí)測(cè)量準(zhǔn)確度和重復(fù)性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測(cè)件的表面粗

糙度、表面輪廓,、臺(tái)階高度,、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應(yīng)用于集成電路制造,、MEMS,、航空航天、精密加

工,、表面工程技術(shù),、材料、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域,。

使用范圍廣: 兼容多種測(cè)量和觀察需求  

保護(hù)性: 非接觸式光學(xué)輪廓儀

耐用性更強(qiáng),， 使用無損 

可操作性:一鍵式操作，操作更簡(jiǎn)單,，更方便  

滿足您需求的輪廓儀  

使用范圍廣: 兼容多種測(cè)量和觀察需求  

保護(hù)性: 非接觸式光學(xué)輪廓儀

耐用性更強(qiáng),， 使用無損 

可操作性:一鍵式操作，操作更簡(jiǎn)單,，更方便  

智能性:特殊形狀能夠只能計(jì)算特征參數(shù)  

個(gè)性化: 定制化客戶報(bào)告模式 

更好用戶體驗(yàn)： 迅捷的售后服務(wù),，個(gè)性化應(yīng)用軟件支持

1.精度高,壽命長(zhǎng)---采用超高精度氣浮導(dǎo)軌作為直線測(cè)量基準(zhǔn)，具有穩(wěn)定性好,、承載大,、**磨損等優(yōu)點(diǎn)，達(dá)到國(guó)內(nèi)同類產(chǎn)品較高精度,。  2.高精度光柵尺及進(jìn)口采集卡---保證數(shù)據(jù)采樣分辨率,，準(zhǔn)確度高，穩(wěn)定性好,。（網(wǎng)絡(luò)）

輪廓儀的自動(dòng)拼接功能：

條件： 被測(cè)區(qū)域明顯大于視場(chǎng)的區(qū)域,，使用自動(dòng)圖片拼接。  

需要點(diǎn)擊自動(dòng)拼接,， 輪廓儀會(huì)把移動(dòng)路徑上的拍圖自動(dòng)拼接起來,。

軟件會(huì)自適應(yīng)計(jì)算路徑上移動(dòng)的偏差，自動(dòng)消除移動(dòng)中偏差,，減小誤差,。

但是誤差是一定存在的。

白光輪廓儀的典型應(yīng)用：

對(duì)各種產(chǎn)品,，不見和材料表面的平面度，粗糙度,，波溫度,，面型輪廓，表面缺 陷,，磨損情況,，腐蝕情況，孔隙間隙,，臺(tái)階高度,，完全變形情況，加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析,。  

幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸,，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和集體,，特征圖形的位置和數(shù)量等）,。

    新型光學(xué)輪廓儀!film3D使得光學(xué)輪廓測(cè)量更易負(fù)擔(dān)*后，表面粗糙度和表面形貌測(cè)量可以用比探針式輪廓儀成本更低的儀器來進(jìn)行,。film3D具有3倍於于其成本儀器的次納米級(jí)垂直分辨率,film3D同樣使用了現(xiàn)今*高 分辨率之光學(xué)輪廓儀的測(cè)量技術(shù)包含垂直掃描干涉(VSI)及相移干涉(PSI),。這就是您需要的解析力每film3D帶有直觀的粗糙度,，表面形貌和臺(tái)階高度的測(cè)量軟件。所有常見如ISO25178所規(guī)范的粗糙度參數(shù)都支持,，也包括軟件功能用于形貌分析,，如形狀去除和波長(zhǎng)過濾，都包含在基film3D軟件,。對(duì)于更進(jìn)階的功能,，F(xiàn)ilmetrics提供了我們的合作伙伴TrueGage的TrueMap軟件可進(jìn)一步處理film3D數(shù)據(jù)，這當(dāng)然也與業(yè)界其他標(biāo)準(zhǔn)分析軟件兼容,。其他輪廓儀列為選備的功能已經(jīng)是我們的標(biāo)準(zhǔn)配備為什么需要額外支付每位使用者所需要的功能,？每film3D都已標(biāo)配自動(dòng)化X/Y平臺(tái)包含tip/tilt功能。以我們的階高標(biāo)準(zhǔn)片建立標(biāo)準(zhǔn)每film3D配備了一個(gè)10微米階高標(biāo)準(zhǔn)片,，可達(dá)％準(zhǔn)確度,。另我們還提供具有100nm，2微米以及4微米等多階高標(biāo)準(zhǔn)片,。*大視場(chǎng)Thefilm3D以10倍物鏡優(yōu)異地提供更寬廣的2毫米視野,其數(shù)位變焦功能有助于緩解不同應(yīng)用時(shí)切換多個(gè)物鏡的需要,。更進(jìn)一步減少總體成本。物鏡是輪廓儀****的部件,， 物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測(cè)的精度提出需求,。ADE輪廓儀有哪些品牌

擯棄傳統(tǒng)檢測(cè)方法耗時(shí)耗力，精確度低的缺點(diǎn),，**提高加工效率,。Bruker輪廓儀技術(shù)原理

輪廓儀產(chǎn)品概述：  

NanoX-2000/3000

系列 3D 光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測(cè)量（PSI）、白光垂直掃描干涉測(cè)量（VSI）和單色光

垂直掃描干涉測(cè)量（CSI）等技術(shù)的基礎(chǔ)上,，以其納米級(jí)測(cè)量準(zhǔn)確度和重復(fù)性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測(cè)件的表面粗

糙度,、表面輪廓、臺(tái)階高度,、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等,。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS,、航空航天,、精密加

工、表面工程技術(shù),、材料,、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域。

想要了解更多的信息,，請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器,。 Bruker輪廓儀技術(shù)原理

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司主營(yíng)品牌有岱美儀器技術(shù)服務(wù)，發(fā)展規(guī)模團(tuán)隊(duì)不斷壯大,，該公司其他型的公司,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)是一家有限責(zé)任公司企業(yè),，一直“以人為本，服務(wù)于社會(huì)”的經(jīng)營(yíng)理念;“誠(chéng)守信譽(yù),，持續(xù)發(fā)展”的質(zhì)量方針,。公司擁有專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)，具有磁記錄,，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn)，測(cè)試儀器的批發(fā)等多項(xiàng)業(yè)務(wù),。岱美儀器技術(shù)服務(wù)自成立以來,，一直堅(jiān)持走正規(guī)化、專業(yè)化路線,，得到了廣大客戶及社會(huì)各界的普遍認(rèn)可與大力支持,。