如何正確使用輪廓儀

準(zhǔn)備工作

1.測量前準(zhǔn)備,。

2.開啟電腦,、打開機器電源開關(guān)、檢查機器啟動是否正常,。

3.擦凈工件被測表面,。

測量

1.將測針正確,、平穩(wěn)、可靠地移動在工件被測表面上,。

2.工件固定確認工件不會出現(xiàn)松動或者其它因素導(dǎo)致測針與工件相撞的情況出現(xiàn)

3.在儀器上設(shè)置所需的測量條件,。

4.開始測量。測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動桌子的情況產(chǎn)生,。

5.測量完畢,，根據(jù)圖紙對結(jié)果進行分析，標(biāo)出結(jié)果,，并保存,、打印。

輪廓的角度處理:  

角度處理：兩直線夾角,、直線與Y軸夾角,、直線與X軸夾角點線處理：兩直線交點、交點到直線距離,、交點到交點距離,、交點到圓心距離、交點到點距離圓處理：圓心距離、圓心到直線的距離,、交點到圓心的距離,、直線到切點的距離線處理：直線度、凸度,、LG凸度,、對數(shù)曲線

包含了從納米到微米級別的輪廓、線粗糙度,、面粗糙度等二維,、三維參數(shù)，作為評定該物件是否合格的標(biāo)準(zhǔn),。浙江輪廓儀技術(shù)原理

輪廓儀的物鏡知多少?  

白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,，以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，典型結(jié)果包括：

表面形貌（粗糙度,，平面度,，平行度，臺階高度,，錐角等）

幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸,，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和集體,，特征圖形的位置和數(shù)量等）

白光干涉系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng),，通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋，使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x,。  

因此物鏡是輪廓儀****的部件,，

物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求，為了滿足各種精度的需求,，需要提供各種物鏡,，例如標(biāo)配的10×， 還有2.5×,，5×,，20×，50×,，100×,，可選。  

不同的鏡頭價格有很大的差別,，因此需要量力根據(jù)需求選配對應(yīng)的鏡頭哦,。 材料表面輪廓儀價格輪廓儀可用于Oled 特征結(jié)構(gòu)測量，表面粗糙度,，外延片表面缺 陷檢測,，硅片外延表面缺 陷檢測,。

NanoX-8000 3D輪廓測量主要技術(shù)參數(shù)

3D測量主要技術(shù)指標(biāo)（1）：

測量模式： PSI + VSI + CSI

Z軸測量范圍： 大行程PZT 掃描 （300um 標(biāo)配/500um選配）

10mm 精密電機拓展掃描

CCD相機： 1920x1200 高速相機（標(biāo)配）

干涉物鏡： 2.5X, 5X, 10X（標(biāo)配）, 20X, 50X, 100X(NIKON )

物鏡切換： 5孔電動鼻切換 FOV： 1100x700um(10X物鏡), 220x140um(50X物鏡)

Z軸聚焦： 高精密直線平臺自動聚焦

照明系統(tǒng)： 高 效長壽白光LED + 濾色鏡片電動切換（綠色/藍色）

傾斜調(diào)節(jié)： ±5°電動調(diào)節(jié)

橫向分辨率： ≥0.35μm（與所配物鏡有關(guān)）

3D測量主要技術(shù)指標(biāo)（2）：

垂直掃描速度： PSI : <10s，VSI/CSI：< 38um/s

高度測量范圍： 0.1nm – 10mm

表面反射率： > 0.5%

測量精度: PSI: 垂直分辨率 < 0.1nm

準(zhǔn)確度 < 1nm

RMS重復(fù)性 < 0.01nm (1σ)

臺階高重復(fù)性：0.15nm(1σ)

VSI/CSI：垂直分辨率 < 0.5nm

準(zhǔn)確度<1%

重復(fù)性<0.1% (1σ,，10um臺階高)

1.5. 系統(tǒng)培訓(xùn)的注意事項

    如何使用電子書閱讀軟件和軟,、硬件的操作手冊；

    數(shù)據(jù)采集功能的講解：通訊端口,、連接計算器,、等待時間等參數(shù)的解釋和參數(shù)設(shè)置；

    實際演示一一講解,；

    如何做好備份和恢復(fù)備份資料；

    當(dāng)場演示各種報表的操作并進行操作解說,；

    數(shù)據(jù)庫文件應(yīng)定時作備份,，大變動時更應(yīng)做好備份以防止系統(tǒng)重新安裝時造成資料數(shù)據(jù)庫的流失；

    在系統(tǒng)培訓(xùn)過程中如要輸入一些臨時數(shù)據(jù)應(yīng)在培訓(xùn)結(jié)束后及時刪除這些資料,。

    備注：系統(tǒng)培訓(xùn)完成后應(yīng)請顧客詳細閱讀軟件操作手冊,，并留下公司“客戶服務(wù)中心”的電話與個人名片，以方便顧客電話聯(lián)系咨詢,。 通過光學(xué)表面三維輪廓儀的掃描檢測,，得出物件的誤差和超差參數(shù)，**提高物件在生產(chǎn)加工時的精確度,。

NanoX-系列產(chǎn)品PCB測量應(yīng)用測試案例

測量種類

?

基板A Sold Mask 3D形貌,、尺寸

?

基板A Sold Mask粗糙度

?

基板A 綠油區(qū)域3D 形貌

?

基板A 綠油區(qū)域 Pad 粗糙度

?

基板A 綠油區(qū)域粗糙度

?

基板A 綠油區(qū)域 pad寬度

?

基板A Trace 3D形貌和尺寸

?

基板B 背面 Pad

NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能

? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置，一鍵式操作,，自動數(shù)據(jù)存儲

? 一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)

? 支持連接MES系統(tǒng),，數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC

? 具備異常報警，急停等功能,，報警信息可儲存

? MTBF ≥ 1500 hrs

? 產(chǎn)能 : 45s/點 （移動 + 聚焦 + 測量）（掃描范圍 50um）

? 具備 Global alignment & Unit alignment

? 自動聚焦范圍 ： ± 0.3mm

? XY運動速度 **快

隔振系統(tǒng)：集成氣浮隔振 + 大理石基石。浙江輪廓儀技術(shù)原理

輪廓儀,，能描繪工件表面波度與粗糙度,，并給出其數(shù)值的儀器，采用精密氣浮導(dǎo)軌為直線基準(zhǔn),。輪廓測試儀是對物體的輪廓,、二維尺寸、二維位移進行測試與檢驗的儀器,，作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分***,。（來自網(wǎng)絡(luò)）

先進的輪廓儀集成模塊

60年世界水平半導(dǎo)體檢測技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗 

所有的關(guān)鍵硬件采用美國、德國,、日本等 

PI ,，納米移動平臺及控制

Nikon,，干涉物鏡

NI，信號控制板和Labview64

控制軟件

TMC 隔震平臺

世界先進水平的計算機軟硬件技術(shù)平臺

VS2012/64位,，.NET/C#/WPF

Intel Xeon 計算機

浙江輪廓儀技術(shù)原理

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司主要經(jīng)營范圍是儀器儀表,，擁有一支專業(yè)技術(shù)團隊和良好的市場口碑。公司業(yè)務(wù)分為磁記錄,，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā)等,，目前不斷進行創(chuàng)新和服務(wù)改進,，為客戶提供良好的產(chǎn)品和服務(wù)。公司從事儀器儀表多年,，有著創(chuàng)新的設(shè)計,、強大的技術(shù)，還有一批**的專業(yè)化的隊伍,，確保為客戶提供良好的產(chǎn)品及服務(wù),。在社會各界的鼎力支持下，持續(xù)創(chuàng)新,，不斷鑄造***服務(wù)體驗,，為客戶成功提供堅實有力的支持。