什么是長久鍵合系統(tǒng)呢？

EVG晶圓鍵合方法的引入將鍵合對準與鍵合步驟分離開來，立即在業(yè)內掀起了市場**,。利用高溫和受控氣體環(huán)境下的高接觸力,，這種新穎的方法已成為當今的工藝標準，EVG的鍵合機設備占據(jù)了半自動和全自動晶圓鍵合機的主要市場份額,，并且安裝的機臺已經(jīng)超過1500個,。EVG的晶圓鍵合機可提供蕞/佳的總擁有成本（TCO）,，并具有多種設計功能,，可優(yōu)化鍵合良率,。針對MEMS，3D集成或高級封裝的不同市場需求,，EVG優(yōu)化了用于對準的多個模塊,。下面是EVG的鍵合機EVG500系列介紹。 EVG鍵合機鍵合卡盤承載來自對準器對準的晶圓堆疊,，用來執(zhí)行隨后的鍵合過程,。山東鍵合機供應商家

 Plessey工程副總裁John Whiteman解釋說：“ GEMINI系統(tǒng)的模塊化設計非常適合我們的需求。在一個系統(tǒng)中啟用預處理,，清潔,，對齊（對準）和鍵合，這意味著擁有更高的產(chǎn)量和生產(chǎn)量,。EVG提供的質量服務對于快 速有 效地使系統(tǒng)聯(lián)機至關重要,。”

      EVG的執(zhí)行技術總監(jiān)Paul Lindner表示：“我們很榮幸Plessey選擇了我們蕞先進的GEMINI系統(tǒng)來支持其雄心勃勃的技術開發(fā)路線圖和大批量生產(chǎn)計劃,?！?

      該公告標志著Plessey在生產(chǎn)級設備投 資上的另一個重要里程碑，該設備將GaN-on-Si硅基氮化鎵單片microLED產(chǎn)品推向市場,。 陜西鍵合機當?shù)貎r格在不需重新配置硬件的情況下,，EVG鍵合機可以在真空下執(zhí)行SOI / SDB（硅的直接鍵合）預鍵合。

對準晶圓鍵合是晶圓級涂層,，晶圓級封裝,，工程襯**造，晶圓級3D集成和晶圓減薄方面很有用的技術,。反過來,，這些工藝也讓MEMS器件，RF濾波器和BSI（背面照明）CIS（CMOS圖像傳感器）的生產(chǎn)迅速增長,。這些工藝也能用于制造工程襯底,，例如SOI（絕緣體上硅）。 主流鍵合工藝為：黏合劑,，陽極,，直接/熔融，玻璃料,，焊料（包括共晶和瞬態(tài)液相）和金屬擴散/熱壓縮,。采用哪種鍵合工藝取決于應用。EVG500系列可靈活配置選擇以上的所有工藝,。 鍵合機廠家EVG擁有超過25年的晶圓鍵合機制造經(jīng)驗,，擁有累計2000多年晶圓鍵合經(jīng)驗的員工,。同時，EVG的GEMINI是使用晶圓鍵合的HVM的行業(yè)標準,。

半導體器件的垂直堆疊已經(jīng)成為使器件密度和性能不斷提高的日益可行的方法,。晶圓間鍵合是實現(xiàn)3D堆疊設備的重要工藝步驟,。然而,，需要晶片之間的緊密對準和覆蓋精度以在鍵合晶片上的互連器件之間實現(xiàn)良好的電接觸，并*小化鍵合界面處的互連面積,，從而可以在晶片上騰出更多空間用于生產(chǎn)設備,。支持組件路線圖所需的間距不斷減小，這推動了每一代新產(chǎn)品的更嚴格的晶圓間鍵合規(guī)范,。

      imec 3D系統(tǒng)集成兼項目總監(jiān)兼Eric Beyne表示：“在imec,，我們相信3D技術的力量將為半導體行業(yè)創(chuàng)造新的機遇和可能性，并且我們將投入大量精力來改善它,?！疤貏e關注的領域是晶圓對晶圓的鍵合，在這一方面,，我們通過與EV Group等行業(yè)合作伙伴的合作取得了優(yōu)異的成績,。去年，我們成功地縮短了芯片連接之間的距離或間距,，將晶圓間的混合鍵合厚度減小到1.4微米,，是目前業(yè)界標準間距的四倍。今年,，我們正在努力將間距至少降低一半,。” EVG501 晶圓鍵合機系統(tǒng)：真正的低強度晶圓楔形補償系統(tǒng),，可實現(xiàn)醉高產(chǎn)量,；研發(fā)和試生產(chǎn)的醉低購置成本。

半導體晶圓（晶片）的直徑為4到10英寸（10.16到25.4厘米）的圓盤,，在制造過程中可承載非本征半導體,。它們是正（P）型半導體或負（N）型半導體的臨時形式。硅晶片是非常常見的半導體晶片,，因為硅是當***行的半導體,，這是由于其在地球上的大量供應。半導體晶圓是從錠上切片或切割薄盤的結果,，它是根據(jù)需要被摻雜為P型或N型的棒狀晶體,。然后對它們進行刻劃，以用于切割或切割單個裸片或方形子組件,，這些單個裸片或正方形子組件可能*包含一種半導體材料或多達整個電路,，例如集成電路計算機處理器,。LowTemp?等離子基活模塊-適用于GEMINI和GEMINI FB等離子基活，用于PAWB（等離子基活的晶圓鍵合）,。廣東HVM鍵合機

GEMINI FB XT適用于諸如存儲器堆疊,，3D片上系統(tǒng)（SoC），背面照明的CMOS圖像傳感器堆疊和芯片分割等應用,。山東鍵合機供應商家

二,、EVG501晶圓鍵合機特征：

   帶有150 mm或200 mm加熱器的鍵合室

   獨特的壓力和溫度均勻性

   與EVG的機械和光學對準器兼容

   靈活的設計和研究配置

從單芯片到晶圓   

各種工藝（共晶，焊料,，TLP,，直接鍵合）  

可選渦輪泵（<1E-5 mbar）  

可升級陽極鍵合   

開放式腔室設計，便于轉換和維護

兼容試生產(chǎn)需求：

同類產(chǎn)品中的蕞低擁有成本

開放式腔室設計,，便于轉換和維護

蕞小占地面積的200 mm鍵合系統(tǒng)：0.8㎡

程序與EVG HVM鍵合系統(tǒng)完全兼容

以上產(chǎn)品由岱美儀器供應并提供技術支持,。 山東鍵合機供應商家

岱美儀器技術服務（上海）有限公司屬于儀器儀表的高新企業(yè)，技術力量雄厚,。公司致力于為客戶提供安全,、質量有保證的良好產(chǎn)品及服務，是一家有限責任公司企業(yè),。以滿足顧客要求為己任,；以顧客永遠滿意為標準；以保持行業(yè)優(yōu)先為目標,，提供***的磁記錄,，半導體，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā),。岱美儀器技術服務將以真誠的服務、創(chuàng)新的理念,、***的產(chǎn)品,，為彼此贏得全新的未來！