輪廓儀的物鏡知多少?  

白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,，以三維非接觸時(shí)方法測(cè)量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，典型結(jié)果包括：

表面形貌（粗糙度,，平面度,，平行度，臺(tái)階高度,，錐角等）

幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸,，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和集體,，特征圖形的位置和數(shù)量等）

白光干涉系統(tǒng)基于無(wú)限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng),，通過(guò)干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋，使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x,。  

因此物鏡是輪廓儀****的部件,，

物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測(cè)的精度提出需求，為了滿足各種精度的需求,，需要提供各種物鏡,，例如標(biāo)配的10×， 還有2.5×,，5×,，20×，50×,，100×,，可選。  

不同的鏡頭價(jià)格有很大的差別,，因此需要量力根據(jù)需求選配對(duì)應(yīng)的鏡頭哦,。

輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用：

晶圓的IC制造過(guò)程可簡(jiǎn)單看作是將光罩上的電路圖通過(guò)UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過(guò)程，其中由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小,，任何微小的黏附異物和下次均會(huì)導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺 陷,，因此必須對(duì)光罩和晶圓的表面輪廓進(jìn)行檢測(cè)，檢測(cè)相應(yīng)的輪廓尺寸,。 自動(dòng)聚焦范圍 ： ± 0.3mm,。輪廓測(cè)量?jī)x輪廓儀一級(jí)代理

    新型光學(xué)輪廓儀!film3D使得光學(xué)輪廓測(cè)量更易負(fù)擔(dān)*后，表面粗糙度和表面形貌測(cè)量可以用比探針式輪廓儀成本更低的儀器來(lái)進(jìn)行,。film3D具有3倍於于其成本儀器的次納米級(jí)垂直分辨率,film3D同樣使用了現(xiàn)今*高 分辨率之光學(xué)輪廓儀的測(cè)量技術(shù)包含垂直掃描干涉(VSI)及相移干涉(PSI),。這就是您需要的解析力每film3D帶有直觀的粗糙度，表面形貌和臺(tái)階高度的測(cè)量軟件,。所有常見(jiàn)如ISO25178所規(guī)范的粗糙度參數(shù)都支持,，也包括軟件功能用于形貌分析,，如形狀去除和波長(zhǎng)過(guò)濾，都包含在基film3D軟件,。對(duì)于更進(jìn)階的功能,，F(xiàn)ilmetrics提供了我們的合作伙伴T(mén)rueGage的TrueMap軟件可進(jìn)一步處理film3D數(shù)據(jù)，這當(dāng)然也與業(yè)界其他標(biāo)準(zhǔn)分析軟件兼容,。其他輪廓儀列為選備的功能已經(jīng)是我們的標(biāo)準(zhǔn)配備為什么需要額外支付每位使用者所需要的功能,？每film3D都已標(biāo)配自動(dòng)化X/Y平臺(tái)包含tip/tilt功能,。以我們的階高標(biāo)準(zhǔn)片建立標(biāo)準(zhǔn)每film3D配備了一個(gè)10微米階高標(biāo)準(zhǔn)片,，可達(dá)％準(zhǔn)確度。另我們還提供具有100nm,，2微米以及4微米等多階高標(biāo)準(zhǔn)片,。*大視場(chǎng)Thefilm3D以10倍物鏡優(yōu)異地提供更寬廣的2毫米視野,其數(shù)位變焦功能有助于緩解不同應(yīng)用時(shí)切換多個(gè)物鏡的需要。更進(jìn)一步減少總體成本,。湖北輪廓儀共聚焦顯微鏡包括LED光源,、旋轉(zhuǎn)多***盤(pán)、帶有壓電驅(qū)動(dòng)器的物鏡和CCD相機(jī),。

輪廓儀的物鏡知多少?  

白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,，以三維非接觸時(shí)方法測(cè)量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，典型結(jié)果包括：

表面形貌（粗糙度,，平面度,，平行度，臺(tái)階高度,，錐角等）

幾何特征（關(guān)鍵孔徑尺寸,，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和集體,，特征圖形的位置和數(shù)量等）

白光干涉系統(tǒng)基于無(wú)限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng),，通過(guò)干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋，使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x,。  

因此物鏡是輪廓儀****的部件,，

物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測(cè)的精度提出需求，為了滿足各種精度的需求,，需要提供各種物鏡,，例如標(biāo)配的10×， 還有2.5×,，5×,，20×，50×,，100×,，可選。  

不同的鏡頭價(jià)格有很大的差別，因此需要量力根據(jù)需求選配對(duì)應(yīng)的鏡頭哦,。

輪廓儀產(chǎn)品概述：  

NanoX-2000/3000

系列 3D 光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測(cè)量（PSI）,、白光垂直掃描干涉測(cè)量（VSI）和單色光

垂直掃描干涉測(cè)量（CSI）等技術(shù)的基礎(chǔ)上，以其納米級(jí)測(cè)量準(zhǔn)確度和重復(fù)性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測(cè)件的表面粗

糙度,、表面輪廓,、臺(tái)階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等,。廣泛應(yīng)用于集成電路制造,、MEMS、航空航天,、精密加

工,、表面工程技術(shù)、材料,、太陽(yáng)能電池技術(shù)等領(lǐng)域,。

想要了解更多的信息，請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器,。 共焦顯微鏡通過(guò)壓電驅(qū)動(dòng)器和物鏡的精確垂直位移來(lái)實(shí)現(xiàn),。

NanoX-系列輪廓儀**性客戶

? 集成電路相關(guān)產(chǎn)業(yè)

– 集成電路先進(jìn)封裝和材料：華天科技，通富微電子,，江蘇納佩斯

半導(dǎo)體,，華潤(rùn)安盛等

? MEMS相關(guān)產(chǎn)業(yè)

– 中科院蘇州納米所，中科電子46所,，華東光電集成器件等

? 高 效太陽(yáng)能電池相關(guān)產(chǎn)業(yè)

– 常州億晶光電,，中國(guó)臺(tái)灣速位科技、山東衡力新能源等

? 微電子,、FPD,、PCB等產(chǎn)業(yè)

– 三星電機(jī)、京東方,、深圳夏瑞科技等  

具備 Global alignment & Unit alignment

自動(dòng)聚焦范圍 ： ± 0.3mm

XY運(yùn)動(dòng)速度 **快

如果有什么問(wèn)題,，請(qǐng)聯(lián)系我們。

傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細(xì)節(jié).粗糙度輪廓儀出廠價(jià)

NanoX-8000的XY光柵分辨率 0.1um,，定位精度 5um,，重復(fù)精度 1um。輪廓測(cè)量?jī)x輪廓儀一級(jí)代理

輪廓儀對(duì)精密加工的意義

現(xiàn)代化高新技術(shù)的飛速發(fā)展離不開(kāi)硬件設(shè)施和軟件系統(tǒng)的配套支持,，在精密加工領(lǐng)域同樣如此,，雖然我們?cè)谏钪胁辉⒁獾匠芗庸ぎa(chǎn)品的“身影”，但是它卻與我們的生活息息相關(guān),。例如在光學(xué)玻璃,、集成電路,、汽車(chē)零部件、機(jī)器人**器件,、航空航天材料,、****設(shè)備等領(lǐng)域，都需要對(duì)加工的成品進(jìn)行檢測(cè),，從物體表面光滑到粗糙的參數(shù),，其中包含了從納米到微米級(jí)別的輪廓、線粗糙度,、面粗糙度等二維,、三維參數(shù)，作為評(píng)定該物件是否合格的標(biāo)準(zhǔn),。因此光學(xué)輪廓儀應(yīng)運(yùn)而生,，以下是表面三維輪廓儀對(duì)精密加工的作用： 輪廓測(cè)量?jī)x輪廓儀一級(jí)代理

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司是一家磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣(mài)除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國(guó)際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門(mén)批準(zhǔn)后方可開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣(mài)除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國(guó)際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門(mén)批準(zhǔn)后方可開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】的公司,，致力于發(fā)展為創(chuàng)新務(wù)實(shí),、誠(chéng)實(shí)可信的企業(yè)。公司自創(chuàng)立以來(lái),，投身于磁記錄,，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn),，測(cè)試儀器的批發(fā),，是儀器儀表的主力軍,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)不斷開(kāi)拓創(chuàng)新，追求出色,，以技術(shù)為先導(dǎo),，以產(chǎn)品為平臺(tái)，以應(yīng)用為重點(diǎn),，以服務(wù)為保證,，不斷為客戶創(chuàng)造更高價(jià)值，提供更優(yōu)服務(wù),。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終關(guān)注儀器儀表行業(yè),。滿足市場(chǎng)需求，提高產(chǎn)品價(jià)值,，是我們前行的力量,。