F3-sX 系列:
F3-sX 系列能測量半導(dǎo)體與介電層薄膜厚度到3毫米,而這種較厚的薄膜與較薄的薄膜相比往往粗糙且均勻度較為不佳
波長選配F3-sX系列使用近紅外光來測量薄膜厚度,,即使有許多肉眼看來不透光(例如半導(dǎo)體),。 F3-s980 是波長為980奈米的版本,是為了針對成本敏銳的應(yīng)用而設(shè)計,F3-s1310是針對重?fù)诫s硅片的**jia化設(shè)計,F3-s1550則是為了**厚的薄膜設(shè)計,。附件附件包含自動化測繪平臺,,一個影像鏡頭可看到量測點(diǎn)的位置以及可選配可見光波長的功能使厚度測量能力**薄至15奈米。 監(jiān)測控制生產(chǎn)過程中移動薄膜厚度,。高達(dá)100 Hz的采樣率可以在多個測量位置得到,。美國進(jìn)口膜厚儀合理價格
參考材料
備用 BK7 和二氧化硅參考材料。
BG-Microscope顯微鏡系統(tǒng)內(nèi)取背景反射的小型抗反光鏡
BG-F10-RT平臺系統(tǒng)內(nèi)獲取背景反射的抗反光鏡
REF-Al-1mmSubstrate基底 - 高反射率鋁基準(zhǔn)
REF-Al-3mmSubstrate基底 - 高反射率鋁基準(zhǔn)
REF-BK71?" x 1?" BK7 反射基準(zhǔn),。
REF-F10RT-FusedSilica-2Side背面未經(jīng)處理的石英,,用于雙界面基準(zhǔn),。
REF-Si-22" 單晶硅晶圓
REF-Si-44" 單晶硅晶圓
REF-Si-66" 單晶硅晶圓
REF-Si-88" 單晶硅晶圓
REF-SS3-Al專為SS-3樣品平臺設(shè)計之鋁反射率基準(zhǔn)片
REF-SS3-BK7專為SS-3樣品平臺設(shè)計之BK7玻璃反射率基準(zhǔn)片
REF-SS3-Si專為SS-3樣品平臺設(shè)計之硅反射率基準(zhǔn)片 介電材料膜厚儀可以試用嗎幾乎任何形狀的樣品厚度和折射率的自動測繪。人工加載或機(jī)器人加載均可,。
接觸探頭測量彎曲和難測的表面
CP-1-1.3測量平面或球形樣品,,結(jié)實耐用的不銹鋼單線圈。
CP-1-AR-1.3可以抑 制背面反射,,對 1.5mm 厚的基板可抑 制 96%,。 鋼制單線圈外加PVC涂層,比較大可測厚度 15um,。
CP-2-1.3用于探入更小的凹表面,,直徑 17.5mm。
CP-C6-1.3探測直徑小至 6mm 的圓柱形和球形樣品外側(cè),。
CP-C12-1.3用于直徑小至 12mm 圓柱形和球形樣品外側(cè),。
CP-C26-1.3用于直徑小至 26mm 圓柱形和球形樣品外側(cè)。
CP-BendingRod-L350-2彎曲長度 300mm,,總長度 350mm 的接觸探頭,。 用于難以到達(dá)的區(qū)域,但不會自動對準(zhǔn)表面,。
CP-ID-0to90Deg-2用于食品和飲料罐頭內(nèi)壁的接觸探頭,。
CP-RA-3mmDia-200mmL-2直徑**小的接觸探頭,配備微型直角反射鏡,,用來測量小至直徑 3mm 管子的內(nèi)壁,,不能自動對準(zhǔn)表面。
CP-RA-10mmHigh-2配備微型直角反射鏡,,可以在相隔 10mm 的兩個平坦表面之間進(jìn)行測量,。
非晶態(tài)多晶硅硅元素以非晶和晶體兩種形式存在, 在兩級之間是部分結(jié)晶硅。部分結(jié)晶硅又被叫做多晶硅,。
非晶硅和多晶硅的光學(xué)常數(shù)(n和k)對不同沉積條件是獨(dú)特的,,必須有精確的厚度測量。 測量厚度時還必須考慮粗糙度和硅薄膜結(jié)晶可能的風(fēng)化,。
Filmetrics 設(shè)備提供的復(fù)雜的測量程序同時測量和輸出每個要求的硅薄膜參數(shù),, 并且“一鍵”出結(jié)果。
測量范例多晶硅被***用于以硅為基礎(chǔ)的電子設(shè)備中,。這些設(shè)備的效率取決于薄膜的光學(xué)和結(jié)構(gòu)特性,。隨著沉積和退火條件的改變,這些特性隨之改變,,所以準(zhǔn)確地測量這些參數(shù)非常重要,。監(jiān)控晶圓硅基底和多晶硅之間,加入二氧化硅層,,以增加光學(xué)對比,,其薄膜厚度和光學(xué)特性均可測得,。F20可以很容易地測量多晶硅薄膜的厚度和光學(xué)常數(shù),,以及二氧化硅夾層厚度,。Bruggeman光學(xué)模型被用來測量多晶硅薄膜光學(xué)特性。
F20測厚范圍:15nm - 70μm,;波長:380-1050nm,。
光纖紫外線、可見光譜和近紅外備用光纖,。接觸探頭是相當(dāng)堅固的,,但是光纖不能經(jīng)常被抽屜碰撞或者被椅子壓過。該套件包括指令,,以及簡單的維修工具,,新的和舊風(fēng)格的探頭。FO-PAT-SMA-SMA-200-22米長,,直徑200um的光纖,,兩端配備SMA接頭。米長,,分叉反射探頭,。
通用附件攜帶箱等。手提電腦手提電腦預(yù)裝FILMeasure軟件,、XP和Microsoft辦公軟件,。
電腦提箱用于攜帶F10、F20,、F30和F40系統(tǒng)的提箱,。ConflatFeedthrough真空穿通,"conflat,、雙出入孔SMA,,并通過泄漏測試。LensPaper-CenterHole**開孔鏡頭紙,,用于保護(hù)面朝下的樣品,,5本各100張。 可測量的層數(shù): 通常能夠測量薄膜堆內(nèi)的三層**薄膜,。 在某些情況下,,能夠測量到十幾層。四川膜厚儀出廠價
F30樣品層:分子束外延和金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積: 可以測量平滑和半透明的,,或輕度吸收的薄膜,。美國進(jìn)口膜厚儀合理價格
鏡頭組件Filmetrics 提供幾十種不同鏡頭配置。訂制專門用途 的鏡片一般在幾天之內(nèi)可以完成,。
LA-GL25-25-30-EXR用于 60-1000mm 工作距離的直徑 1" 鏡頭組件,,30mm 焦距鏡頭,。KM-GL25用于直徑 1" 鏡頭的簡化動力支架。 可以在兩個軸上斜向調(diào)節(jié),。 8-32 安裝螺紋,。KM-F50用于直徑 0.5" 鏡頭的簡化動力支架。 還可以用于 F50,??商峁┎煌溺R頭組合。LA-F50/SS-13-20-UVX小光斑 (200um) 選項,,可見光, 近紅外或紫外線,。
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岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司發(fā)展規(guī)模團(tuán)隊不斷壯大,,現(xiàn)有一支專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊,各種專業(yè)設(shè)備齊全,。專業(yè)的團(tuán)隊大多數(shù)員工都有多年工作經(jīng)驗,,熟悉行業(yè)專業(yè)知識技能,致力于發(fā)展岱美儀器技術(shù)服務(wù)的品牌,。我公司擁有強(qiáng)大的技術(shù)實力,,多年來一直專注于磁記錄、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),,國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),,國際貿(mào)易,、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目,,經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動】的發(fā)展和創(chuàng)新,打造高指標(biāo)產(chǎn)品和服務(wù),。自公司成立以來,,一直秉承“以質(zhì)量求生存,,以信譽(yù)求發(fā)展”的經(jīng)營理念,始終堅持以客戶的需求和滿意為重點(diǎn),,為客戶提供良好的磁記錄,,半導(dǎo)體,光通訊生產(chǎn),,測試儀器的批發(fā),,從而使公司不斷發(fā)展壯大,。