輪廓儀的性能

測(cè)量模式 ：

移相干涉（PSI）,，白光垂直掃描干涉（VSI），單色光垂直掃描干涉（CSI）

樣 品 臺(tái) ：

150mm/200mm/300mm 樣品臺(tái)（可選配）

XY 平移：±25mm/150mm/200mm/300mm,，傾斜：±5°

可選手動(dòng)/電動(dòng)樣品臺(tái)

CCD 相機(jī)像素：

標(biāo)配：1280×960

視場(chǎng)范圍：

560×750um（10×物鏡）

具體視場(chǎng)范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機(jī)

光學(xué)系統(tǒng)：

同軸照明無限遠(yuǎn)干涉成像系統(tǒng)

光 源：

高 效 LED

Z 方向聚焦 80mm 手動(dòng)聚焦（可選電動(dòng)聚焦）

Z 方向掃描范圍 精密 PZT 掃描(可選擇高精密機(jī)械掃描,，拓展達(dá) 10mm )

縱向分辨率 ＜0.1nm

RMS 重復(fù)性* 0.005nm，1σ

臺(tái)階測(cè)量** 準(zhǔn)確度 ≤0.75％,；重復(fù)性 ≤0.1%,，1σ

橫向分辨率 ≥0.35um（100 倍物鏡）

檢測(cè)速度 ≤ 35um/sec , 與所選的 CCD 輪廓儀對(duì)載物臺(tái)xy行程為140*110mm（可擴(kuò)展），Z向測(cè)量范圍比較大可達(dá)10mm,。晶圓輪廓儀聯(lián)系電話

輪廓儀的自動(dòng)拼接功能：

條件： 被測(cè)區(qū)域明顯大于視場(chǎng)的區(qū)域,，使用自動(dòng)圖片拼接。  

需要點(diǎn)擊自動(dòng)拼接,， 輪廓儀會(huì)把移動(dòng)路徑上的拍圖自動(dòng)拼接起來,。

軟件會(huì)自適應(yīng)計(jì)算路徑上移動(dòng)的偏差，自動(dòng)消除移動(dòng)中偏差,，減小誤差,。

但是誤差是一定存在的。

白光輪廓儀的典型應(yīng)用：

對(duì)各種產(chǎn)品,，不見和材料表面的平面度,，粗糙度，波溫度,，面型輪廓,，表面缺 陷，磨損情況,，腐蝕情況,，孔隙間隙，臺(tái)階高度,，完全變形情況,，加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。  

半導(dǎo)體設(shè)備輪廓儀價(jià)格怎么樣視場(chǎng)范圍：560×750um（10×物鏡） 具體視場(chǎng)范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機(jī) ,。

    隨著時(shí)代的發(fā)展,，輪廓儀也越來重要了，不少的產(chǎn)品檢測(cè)都需要通過輪廓儀進(jìn)行檢測(cè),，***就讓我們來了解一下輪廓儀的工作原理與應(yīng)用吧,。輪廓儀工作原理輪廓儀是一種雙坐標(biāo)測(cè)量儀器。儀器傳感器相對(duì)于測(cè)量的工件臺(tái)以恒定速度滑動(dòng),。傳感器的觸針檢測(cè)測(cè)量儀表的幾何變化,，并分別在X和Z方向上對(duì)其進(jìn)行采樣，并將其轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。電信號(hào)被放大和處理,，然后轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)并存儲(chǔ)在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的存儲(chǔ)器中,。計(jì)算機(jī)以數(shù)字方式過濾原始表格的輪廓，分離表面并計(jì)算粗糙度分量,，測(cè)量結(jié)果為計(jì)算符號(hào),。某個(gè)曲線的實(shí)際值及其與參考點(diǎn)的坐標(biāo)，或放大的實(shí)際輪廓曲線,。測(cè)量結(jié)果通過顯示器輸出,，也可以由打印機(jī)輸出。輪廓儀應(yīng)用輪廓儀***用于機(jī)械加工,、汽車,、摩托車、精密五金,、精密工具,、刀 具、模具,、光學(xué)元件等行業(yè)適用于研究機(jī)構(gòu),、大學(xué)、計(jì)量機(jī)構(gòu)和企業(yè)計(jì)量室,。在汽車,，摩托車和制冷行業(yè)，它可以測(cè)量活塞,，活塞銷,，齒輪的總線參數(shù)和汽車，摩托車和壓縮機(jī)的閥門柱塞,，可以測(cè)量各種傾斜部件的參數(shù),。在軸承工業(yè)中，內(nèi)護(hù)套環(huán)的密封槽的形狀（角度,，倒角R,，槽深，槽寬等）,；各種滾子軸承的滾子和套圈母線的冠部,，角度和對(duì)數(shù)曲線；電機(jī)軸,，圓柱銷,，活塞銷，滾針軸承,，圓柱滾子軸承。

2）共聚焦顯微鏡方法 

共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉(zhuǎn)多***盤,、帶有壓電驅(qū)動(dòng)器的物鏡和CCD相機(jī),。LED光源通過多***盤（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面上，從而反射光,。反射光通過MPD的***減小到聚焦的部分落在CCD相機(jī)上,。傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細(xì)節(jié)，但是在共焦圖像中,，通過多***盤的操作濾除模糊細(xì)節(jié)（未聚焦）,，只有來自聚焦平面的光到達(dá)CCD相機(jī)。因此,，共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內(nèi)獲得高 分辨率,。 每個(gè)共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片，在不同的焦點(diǎn)高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊,，共焦顯微鏡通過壓電驅(qū)動(dòng)器和物鏡的精確垂直位移來實(shí)現(xiàn),。200到400個(gè)共焦圖像通常在幾秒內(nèi)被捕獲，之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像,。 隔振系統(tǒng)：集成氣浮隔振 + 大理石基石,。

NanoX-2000/3000

系列 3D 光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測(cè)量（PSI）、白光垂直掃描干涉測(cè)量（VSI）和單色光

垂直掃描干涉測(cè)量（CSI）等技術(shù)的基礎(chǔ)上,，以其納米級(jí)測(cè)量準(zhǔn)確度和重復(fù)性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測(cè)件的表面粗

糙度,、表面輪廓、臺(tái)階高度,、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等,。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS,、航空航天,、精密加

工、表面工程技術(shù),、材料,、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域。

使用范圍廣: 兼容多種測(cè)量和觀察需求  

保護(hù)性: 非接觸式光學(xué)輪廓儀

耐用性更強(qiáng),， 使用無損 

可操作性:一鍵式操作,，操作更簡單，更方便  

共聚焦顯微鏡包括LED光源,、旋轉(zhuǎn)多***盤,、帶有壓電驅(qū)動(dòng)器的物鏡和CCD相機(jī),。晶圓輪廓儀聯(lián)系電話

輪廓儀、粗糙度儀,、三坐標(biāo)的區(qū)別：

關(guān)于輪廓儀和粗糙度儀

  輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品,，輪廓儀主要功能是測(cè)量零件表面的輪廓形狀，比如：汽車零件中的溝槽的槽深,、槽寬,、倒角（包括倒角位置、倒角尺寸,、角度等）,，圓柱表面素線的直線度等參數(shù)?？傊?，輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓。粗糙度儀的功能是測(cè)量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量,，通俗地講,，就是零件表面加工得光不光（粗糙度老國標(biāo)叫光潔度），即粗糙度反映的是零件加工表面的微觀情況,。

  但是,，輪廓儀和粗糙度儀關(guān)系其實(shí)挺密切，現(xiàn)在有一種儀器叫做粗糙度輪廓測(cè)量一體機(jī),，就是在輪廓儀上加裝了粗糙度測(cè)量模塊,，這樣既可以測(cè)量輪廓尺寸，又可以測(cè)量粗糙度,，市場(chǎng)上典型產(chǎn)品就是中圖儀器的SJ5701粗糙度輪廓儀,。

  在結(jié)構(gòu)上，輪廓儀基本上都是臺(tái)式的,，而粗糙度儀以手持式的居多,，當(dāng)然也有臺(tái)式的。 晶圓輪廓儀聯(lián)系電話

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)加太路39號(hào)第五層六十五部位,，擁有一支專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì),。岱美儀器技術(shù)服務(wù)是岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司的主營品牌，是專業(yè)的磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)】磁記錄、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā),、進(jìn)出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)】公司,，擁有自己**的技術(shù)體系,。公司堅(jiān)持以客戶為中心、磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)】磁記錄,、半導(dǎo)體,、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口,、傭金代理（拍賣除外）及其相關(guān)配套服務(wù),，國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,，商務(wù)信息咨詢服務(wù),。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)】市場(chǎng)為導(dǎo)向,，重信譽(yù),，保質(zhì)量，想客戶之所想,，急用戶之所急,，全力以赴滿足客戶的一切需要。岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司主營業(yè)務(wù)涵蓋磁記錄,，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn),，測(cè)試儀器的批發(fā)，堅(jiān)持“質(zhì)量保證,、良好服務(wù),、顧客滿意”的質(zhì)量方針，贏得廣大客戶的支持和信賴,。