隨著時(shí)代的發(fā)展，輪廓儀也越來(lái)重要了，不少的產(chǎn)品檢測(cè)都需要通過(guò)輪廓儀進(jìn)行檢測(cè),，***就讓我們來(lái)了解一下輪廓儀的工作原理與應(yīng)用吧,。輪廓儀工作原理輪廓儀是一種雙坐標(biāo)測(cè)量?jī)x器,。儀器傳感器相對(duì)于測(cè)量的工件臺(tái)以恒定速度滑動(dòng),。傳感器的觸針檢測(cè)測(cè)量?jī)x表的幾何變化，并分別在X和Z方向上對(duì)其進(jìn)行采樣,，并將其轉(zhuǎn)換為電信號(hào),。電信號(hào)被放大和處理，然后轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)并存儲(chǔ)在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的存儲(chǔ)器中,。計(jì)算機(jī)以數(shù)字方式過(guò)濾原始表格的輪廓,，分離表面并計(jì)算粗糙度分量，測(cè)量結(jié)果為計(jì)算符號(hào),。某個(gè)曲線的實(shí)際值及其與參考點(diǎn)的坐標(biāo),，或放大的實(shí)際輪廓曲線。測(cè)量結(jié)果通過(guò)顯示器輸出,，也可以由打印機(jī)輸出,。輪廓儀應(yīng)用輪廓儀***用于機(jī)械加工、汽車,、摩托車,、精密五金、精密工具,、刀 具,、模具、光學(xué)元件等行業(yè)適用于研究機(jī)構(gòu),、大學(xué)、計(jì)量機(jī)構(gòu)和企業(yè)計(jì)量室,。在汽車,，摩托車和制冷行業(yè)，它可以測(cè)量活塞,，活塞銷,，齒輪的總線參數(shù)和汽車，摩托車和壓縮機(jī)的閥門柱塞,，可以測(cè)量各種傾斜部件的參數(shù),。在軸承工業(yè)中，內(nèi)護(hù)套環(huán)的密封槽的形狀（角度,，倒角R,，槽深，槽寬等）,；各種滾子軸承的滾子和套圈母線的冠部,，角度和對(duì)數(shù)曲線,；電機(jī)軸，圓柱銷,，活塞銷,，滾針軸承，圓柱滾子軸承,。NanoX-2000/3000 系列 3D 光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測(cè)量（PSI）,、白光垂直掃描干涉測(cè)量（VSI）和單色光。廣東聯(lián)電輪廓儀
NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能
? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置,，一鍵式操作,，自動(dòng)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)
? 一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)
? 支持連接MES系統(tǒng)，數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC
? 具備異常報(bào)警,，急停等功能,，報(bào)警信息可儲(chǔ)存
? MTBF ≥ 1500 hrs
? 產(chǎn)能 : 45s/點(diǎn) （移動(dòng) + 聚焦 + 測(cè)量）（掃描范圍 50um）
? 具備 Global alignment & Unit alignment
? 自動(dòng)聚焦范圍 ： ± 0.3mm
? XY運(yùn)動(dòng)速度 **快
表面三維微觀形貌測(cè)量的意義
在生產(chǎn)中，表面三維微觀形貌對(duì)工程零件的許多技術(shù)性能的評(píng)家具有**直接的影響,，而且表面三維評(píng)定參數(shù)由于能更***,，更真實(shí)的反應(yīng)零件表面的特征及衡量表面的質(zhì)量而越來(lái)越受到重視，因此表面三維微觀形貌的測(cè)量就越顯重要,。通過(guò)兌三維形貌的測(cè)量可以比較***的評(píng)定表面質(zhì)量的優(yōu)劣,，進(jìn)而確認(rèn)加工方法的好壞以及設(shè)計(jì)要求的合理性，這樣就可以反過(guò)來(lái)通過(guò)知道加工,，優(yōu)化加工工藝以及加工出高質(zhì)量的表面,，確保零件使用功能的實(shí)現(xiàn)。
表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富,，通?？煞譃榻佑|時(shí)和非接觸時(shí)兩種，其中以非接觸式測(cè)量方法為主,。
3D形貌輪廓儀自動(dòng)化測(cè)量輪廓儀可用于Oled 特征結(jié)構(gòu)測(cè)量,，表面粗糙度，外延片表面缺 陷檢測(cè),，硅片外延表面缺 陷檢測(cè),。
輪廓儀的**團(tuán)隊(duì)
夏勇博士，江蘇省雙創(chuàng)人才
15年ADE,，KAL-Tencor半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備公司研發(fā),、項(xiàng)目管理經(jīng)驗(yàn)
SuperSight Inc. CEO/共同創(chuàng)始人，太陽(yáng)能在線檢測(cè)設(shè)備
唐壽鴻博士,，國(guó)家千人****
25年 ADE,，KAL-Tencor半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備公司研發(fā)經(jīng)驗(yàn)
KLA-Tencor ***研發(fā)總監(jiān)，***圖像處理,、算法**
許衡博士,，軟件系統(tǒng)研發(fā)
10 年硅谷世界500強(qiáng)研發(fā)經(jīng)驗(yàn)（BD Medical
Instrument）
光學(xué)測(cè)量,、軟件系統(tǒng)
岱美儀器與**組為您提供輪廓儀的技術(shù)支持，為您排憂解難,。
filmOnline查film3D圖像並與其互動(dòng).請(qǐng)參考我們新型光學(xué)輪廓儀!film3D使得光學(xué)輪廓測(cè)量更易負(fù)擔(dān)***,，表面粗糙度和表面形貌測(cè)量可以用比探針式輪廓儀成本更低的儀器來(lái)進(jìn)行。film3D具有3倍於于其成本儀器的次納米級(jí)垂直分辨率,film3D同樣使用了現(xiàn)今比較高 分辨率之光學(xué)輪廓儀的測(cè)量技術(shù)包含白光干涉(WSI)及相移干涉(PSI),。索取技術(shù)資料索取報(bào)價(jià)這就是您需要的解析力Thefilm3D的直觀軟件包括表面粗糙度,，形狀和臺(tái)階高度的測(cè)量。在數(shù)秒內(nèi),，您可以獲得平面和曲面表面上測(cè)量所有常見(jiàn)的粗糙度參數(shù),。也可以選擇拼接功能軟件升級(jí)來(lái)組合多個(gè)影像以提供大面積測(cè)量。***!**的網(wǎng)路3D影像瀏覽/分析filmOnline可存儲(chǔ),、共享,、查看與分析來(lái)自您的光學(xué)輪廓儀或3D顯微鏡之3D影像。任何臺(tái)式電腦,，平板電腦或智能手機(jī)上都能查看和操作,。享受***的圖像分析功能，包括表面輪廓（粗糙度）和階高 分析,。其他輪廓儀列為選備的功能已經(jīng)是我們的標(biāo)準(zhǔn)配備為什么需要額外支付每位使用者所需要的功能,？每film3D都已標(biāo)配自動(dòng)化X/Y平臺(tái)包含tip/tilt功能。以我們的階高標(biāo)準(zhǔn)片建立標(biāo)準(zhǔn)每film3D配備了一個(gè)10微米階高標(biāo)準(zhǔn)片,，可達(dá)％準(zhǔn)確度,。另我們還提供具有100nm，2微米以及4微米等多階高標(biāo)準(zhǔn)片,。輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓,。
輪廓儀的性能
測(cè)量模式 ：
移相干涉（PSI），白光垂直掃描干涉（VSI）,，單色光垂直掃描干涉（CSI）
樣 品 臺(tái) ：
150mm/200mm/300mm 樣品臺(tái)（可選配）
XY 平移：±25mm/150mm/200mm/300mm,，傾斜：±5°
可選手動(dòng)/電動(dòng)樣品臺(tái)
CCD 相機(jī)像素：
標(biāo)配：1280×960
視場(chǎng)范圍：
560×750um（10×物鏡）
具體視場(chǎng)范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機(jī)
光學(xué)系統(tǒng)：
同軸照明無(wú)限遠(yuǎn)干涉成像系統(tǒng)
光 源：
高 效 LED
Z 方向聚焦 80mm 手動(dòng)聚焦（可選電動(dòng)聚焦）
Z 方向掃描范圍 精密 PZT 掃描(可選擇高精密機(jī)械掃描，拓展達(dá) 10mm )
縱向分辨率 ＜0.1nm
RMS 重復(fù)性* 0.005nm,，1σ
臺(tái)階測(cè)量** 準(zhǔn)確度 ≤0.75％；重復(fù)性 ≤0.1%,，1σ
橫向分辨率 ≥0.35um（100 倍物鏡）
檢測(cè)速度 ≤ 35um/sec , 與所選的 CCD 共焦顯微鏡通過(guò)壓電驅(qū)動(dòng)器和物鏡的精確垂直位移來(lái)實(shí)現(xiàn),。材料表面輪廓儀技術(shù)支持
測(cè)量模式：移相干涉（PSI），白光垂直掃描干涉（VSI）,，單色光垂直掃描干涉（CSI）,。廣東聯(lián)電輪廓儀
NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能
? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置，一鍵式操作,，自動(dòng)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)
? 一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn)
? 支持連接MES系統(tǒng),，數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC
? 具備異常報(bào)警,，急停等功能，報(bào)警信息可儲(chǔ)存
? MTBF ≥ 1500 hrs
? 產(chǎn)能 : 45s/點(diǎn) （移動(dòng) + 聚焦 + 測(cè)量）（掃描范圍 50um）
? 具備 Global alignment & Unit alignment
? 自動(dòng)聚焦范圍 ： ± 0.3mm
? XY運(yùn)動(dòng)速度
**快
如果需要了解更多詳細(xì)參數(shù),，請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司,。
我們主要經(jīng)營(yíng)鍵合機(jī)、光刻機(jī),、輪廓儀,，隔振臺(tái)等設(shè)備。 廣東聯(lián)電輪廓儀
岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司是一家其他型類企業(yè),，積極探索行業(yè)發(fā)展,，努力實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品創(chuàng)新。公司致力于為客戶提供安全,、質(zhì)量有保證的良好產(chǎn)品及服務(wù),，是一家有限責(zé)任公司企業(yè)。以滿足顧客要求為己任,；以顧客永遠(yuǎn)滿意為標(biāo)準(zhǔn),；以保持行業(yè)優(yōu)先為目標(biāo)，提供***的磁記錄,，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn)，測(cè)試儀器的批發(fā),。岱美儀器技術(shù)服務(wù)以創(chuàng)造***產(chǎn)品及服務(wù)的理念,，打造高指標(biāo)的服務(wù)，引導(dǎo)行業(yè)的發(fā)展,。