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膜厚儀膜厚儀技術服務

來源: 發(fā)布時間:2020-10-19

濾光片整平光譜響應。

ND#0.5 衰減整平濾波器.單倍整平濾波器用于改善可見光光譜均勻度 + ND#0.5 衰減整平濾波器.

ND#1 衰減整平濾波器.單倍整平濾波器用于改善可見光光譜均勻度 + ND#1 衰減整平濾波器.

ND#2 衰減整平濾波器.單倍整平濾波器用于改善可見光光譜均勻度 + ND#2 衰減整平濾波器.

420nm 高通濾波器.420nm 高通濾波器於濾波器架.

515nm 高通濾波器.515nm 高通濾波器於濾波器架.

520nm 高通濾波器 +ND1.520nm 高通濾波器 + ND#1 十倍衰減整平濾波器.

520nm 高通濾波器 + ND#2520nm 高通濾波器 + ND#2 一百倍衰減整平濾波器.

550nm 高通濾波器550nm 高通濾波器於濾波器架. F40-EXR范圍:20nm-120μm,;波長:400-1700nm,。膜厚儀膜厚儀技術服務

FSM 8018 VITE測試系列設備

VITE技術介紹:

VITE是傅里葉頻域技術,利用近紅外光源的相位剪切技術(Phase shear technology)

設備介紹

適用于所有可讓近紅外線通過的材料:硅,、藍寶石,、砷化鎵、磷化銦,、碳化硅,、玻璃、石  英,、聚合物…………

應用:

   襯底厚度(不受圖案硅片,、有膠帶、凹凸或者粘合硅片影響)

   平整度

   厚度變化 (TTV)

   溝槽深度

   過孔尺寸,、深度,、側壁角度

   粗糙度

薄膜厚度

不同半導體材料的厚度

   環(huán)氧樹脂厚度

   襯底翹曲度

   晶圓凸點高度(bump height)

MEMS 薄膜測量

TSV 深度、側壁角度...


高精密儀器膜厚儀特點F10-AR在用戶定義的任何波長范圍內(nèi)都能進行比較低,、比較高和平均反射測試,。

厚度測量產(chǎn)品:我們的膜厚測量產(chǎn)品可適用于各種應用。我們大部分的產(chǎn)品皆備有庫存以便快速交貨,。請瀏覽本公司網(wǎng)頁產(chǎn)品資訊或聯(lián)系我們的應用工程師針對您的厚度測量需求提供立即協(xié)助,。


單點厚度測量:

一鍵搞定的薄膜厚度和折射率臺式測量系統(tǒng)。 測量 1nm 到 13mm 的單層薄膜或多層薄膜堆,。

大多數(shù)產(chǎn)品都有庫存而且可立即出貨,。

F20全世界銷量**hao的薄膜測量系統(tǒng)。有各種不同附件和波長覆蓋范圍,。


微米(顯微)級別光斑尺寸厚度測量當測量斑點只有1微米(μm)時,,需要用您自己的顯微鏡或者用我們提供的整個系統(tǒng)。

厚度標準:

所有 Filmetrics 厚度標準都是得到驗證可追溯的 NIST 標準,。

S-Custom-NIST:在客戶提供的樣品上定制可追溯的 NIST 厚度校準,。 

TS-Focus-SiO2-4-3100SiO2-on-Si :厚度標準,外加調(diào)焦區(qū)和單晶硅基準,,厚度大約 3100A,,4" 晶圓。

TS-Focus-SiO2-4-10000SiO2-on-Si :厚度標準,,外加調(diào)焦區(qū)和單晶硅基準,,厚度大約 10000A,4" 晶圓,。

TS-Hardcoat-4μm:丙烯酸塑料硬涂層厚度標準,,厚度大約 4um,直徑 2",。

TS-Hardcoat-Trans:背面透明的硬涂層,,可用于透射測量,。

TS-Parylene-4um:丙烯酸塑料上的聚對二甲苯厚度標準,厚度大約 4um ,,直徑2",。

TS-Parylene-8um:硅基上的聚對二甲苯厚度標準,厚度大約 8um,,23mm x 23mm,。

TS-SiO2-4-7200:硅基上的二氧化硅厚度標準,厚度大約 7200A,,4" 晶圓,。

TS-SiO2-4-7200-NIST:可追溯的 NIST SiO2-4-7200 厚度標準。

TS-SiO2-6-Multi:多厚度硅基上的二氧化硅標準: 125埃米,,250埃米,,500埃米,1000埃米,,5000埃米,,和 10000埃米 (+/-10%誤差),6英寸晶圓,。TS-SS3-SiO2-8000:專為SS-3樣品平臺設計之二氧化硅厚度標準片,厚度大約為 8000A,。 可選粗糙度: 20 — 1000? (RMS)。

FSM 360 拉曼光譜系統(tǒng)

FSM紫外光和可見光拉曼系統(tǒng), 型號360

FSM拉曼的應用

l  局部應力,;

l  局部化學成分

l  局部損傷

紫外光可測試的深度

***的薄膜(SOI 或 Si-SiGe)或者厚樣的近表面局部應力



可見光可測試的深度

良好的厚樣以及多層樣品的局部應力

系統(tǒng)測試應力的精度小于15mpa (0.03cm-1)

全自動的200mm和300mm硅片檢查

自動檢驗和聚焦的能力,。


以上的信息比較有限,如果您有更加詳細的技術問題,,請聯(lián)系我們的技術人員為您解答,。或者訪問我們的官網(wǎng)了解更多信息,。 F3-sX 系列測厚范圍:10μm - 3mm,;波長:960-1580nm。晶圓膜厚儀價格

厚度變化 (TTV) ,;溝槽深度,;過孔尺寸、深度,、側壁角度,。膜厚儀膜厚儀技術服務

F54包含的內(nèi)容:

集成光譜儀/光源裝置

MA-Cmount 安裝轉(zhuǎn)接器 

顯微鏡轉(zhuǎn)接器光纖連接線BK7 

參考材料TS-Focus-SiO2-4-10000 

厚度標準 聚焦/厚度標準4", 6" and 200mm 

參考晶圓真空泵備用燈

型號厚度范圍*波長范圍

F54:20nm-40μm 380-850nm

F54-UV:4nm-30μm 190-1100nm

F54-NIR:40nm-100μm 950-1700nm

F54-EXR:20nm-100μm 380-1700nm

F54-UVX:4nm-100μm190-1700nm

*取決于材料與顯微鏡

額外的好處:每臺系統(tǒng)內(nèi)建超過130種材料庫, 隨著不同應用更超過數(shù)百種應用工程師可立刻提供幫助(周一 - 周五)網(wǎng)上的 “手把手” 支持 (需要連接互聯(lián)網(wǎng))硬件升級計劃 膜厚儀膜厚儀技術服務

岱美儀器技術服務(上海)有限公司發(fā)展規(guī)模團隊不斷壯大,現(xiàn)有一支專業(yè)技術團隊,,各種專業(yè)設備齊全,。在岱美儀器技術服務近多年發(fā)展歷史,公司旗下現(xiàn)有品牌岱美儀器技術服務等,。公司以用心服務為重點價值,,希望通過我們的專業(yè)水平和不懈努力,,將磁記錄、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā),、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,,國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,,商務信息咨詢服務,。 【依法須經(jīng)批準的項目,經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄,、半導體,、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口,、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,,國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,,商務信息咨詢服務,。 【依法須經(jīng)批準的項目,經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】等業(yè)務進行到底,。岱美儀器技術服務始終以質(zhì)量為發(fā)展,,把顧客的滿意作為公司發(fā)展的動力,致力于為顧客帶來***的磁記錄,,半導體,,光通訊生產(chǎn),測試儀器的批發(fā),。