納米壓印光刻設(shè)備-處理結(jié)果：

新應(yīng)用程序的開發(fā)通常與設(shè)備功能的提高緊密相關(guān),。 EVG的NIL解決方案能夠產(chǎn)生具有納米分辨率的多種不同尺寸和形狀的圖案，并在顯示器,，生物技術(shù)和光子應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)了許多新的創(chuàng)新,。HRI SmartNIL®壓印上的單個像素的1.AFM圖像壓印全息結(jié)構(gòu)的AFM圖像

資料來源：EVG與SwissLitho

AG合作（歐盟項目SNM）

2.通過熱壓花在PMMA中復(fù)制微流控芯片

資料來源：EVG

3.高縱橫比（7：1）的10 μm柱陣列

由加拿大國家研究委 員會提供

4.L / S光柵具有優(yōu)化的殘留層,，厚度約為10 nm

資料來源：EVG

5.紫外線成型鏡片300 μm

資料來源：EVG

6.光子晶體用于LED的光提取

多晶硅的蜂窩織構(gòu)化（mc-Si）

由Fraunhofer ISE提供

7.金字塔形結(jié)構(gòu)50 μm

資料來源：EVG

8.**小尺寸的光模塊晶圓級封裝

資料來源：EVG

9.光子帶隙傳感器光柵

資料來源：EVG（歐盟Saphely項目）

10.在強(qiáng)光照射下對HRISmartNIL®烙印進(jìn)行完整的晶圓照相

資料來源：EVG 岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商,，歡迎各位聯(lián)系我們,，探討納米壓印光刻的相關(guān)知識,。四川納米壓印研發(fā)可以用嗎

    該公司的高科技粘合劑以功能與可靠性聞名于世,。根據(jù)客戶的專門需求，公司對這些聚合物作出調(diào)整,，使其具備其它特征,。它們極其適合工業(yè)環(huán)境,，在較短的生產(chǎn)周期時間內(nèi)粘合各種微小的元件,。此外,，DELO紫外線LED固化設(shè)備與點(diǎn)膠閥的可靠度十分杰出,。關(guān)于德路德路(DELO)是世界前列的工業(yè)粘合劑制造商，總部位于德國慕尼黑附近的Windach。在美國,、中國,、新加坡及日本均設(shè)有子公司。2019財政年，公司的780名員工創(chuàng)造了,。該公司產(chǎn)品在全球范圍內(nèi)廣泛應(yīng)用于汽車、消費(fèi)類電子產(chǎn)品與工業(yè)電子產(chǎn)品,。幾乎每一部智能手機(jī)與超過一半的汽車上都使用該公司產(chǎn)品,。DELO的客戶包括博世,、戴姆勒,、華為、歐司朗,、西門子以及索尼等,。關(guān)于EVGroup(EVG)EV集團(tuán)(EVG)是為生產(chǎn)半導(dǎo)體、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS),、化合物半導(dǎo)體,、功率器件以及納米技術(shù)器件制造提供設(shè)備與工藝解決方案的**供應(yīng)商,。該公司主要產(chǎn)品包括晶圓鍵合,、薄晶圓處理,、光刻/納米壓印光刻技術(shù)（NIL）與計量設(shè)備，,，以及涂膠機(jī),、清洗機(jī)與檢測系統(tǒng)。EV集團(tuán)創(chuàng)辦于1980年,，可為遍及全球的眾多客戶與合作伙伴提供各類服務(wù)與支持,。福建納米壓印代理價格SmartNIL 非常適合對具有復(fù)雜納米結(jié)構(gòu)微流控芯片進(jìn)行高精度圖案化，用在下一代藥 物研究和醫(yī)學(xué)診斷設(shè)備生產(chǎn),。

對于壓印工藝,，EVG610允許基板的尺寸從小芯片尺寸到比較大直徑150 mm。納米技術(shù)應(yīng)用的配置除了可編程的高和低接觸力外,，還可以包括用于印章的釋放機(jī)構(gòu),。EV Group專有的卡盤設(shè)計可提供均勻的接觸力，以實(shí)現(xiàn)高產(chǎn)量的壓印,，該卡盤支持軟性和硬性印模,。

EVG610特征：

頂部和底部對準(zhǔn)能力

高精度對準(zhǔn)臺

自動楔形誤差補(bǔ)償機(jī)制

電動和程序控制的曝光間隙

支持***的UV-LED技術(shù)

**小化系統(tǒng)占地面積和設(shè)施要求

分步流程指導(dǎo)

遠(yuǎn)程技術(shù)支持

多用戶概念（無限數(shù)量的用戶帳戶和程序,，可分配的訪問權(quán)限,，不同的用戶界面語言）

敏捷處理和光刻工藝之間的轉(zhuǎn)換

臺式或帶防震花崗巖臺的單機(jī)版

附加功能：

鍵對準(zhǔn)

紅外對準(zhǔn)

納米壓印光刻 

μ接觸印刷

EVG ® 510 HE熱壓印系統(tǒng)

應(yīng)用：高度靈活的熱壓印系統(tǒng),，用于研發(fā)和小批量生產(chǎn)

EVG510 HE半自動熱壓印系統(tǒng)設(shè)計用于對熱塑性基材進(jìn)行高精度壓印,。該設(shè)備配置有通用壓花室以及真空和接觸力功能,，并管理適用于熱壓印的全部聚合物,。結(jié)合高縱橫比壓印和多種脫壓選項,，提供了許多用于高質(zhì)量納米圖案轉(zhuǎn)印的工藝。

EVG ® 510 HE特征：

用于聚合物基材和旋涂聚合物的熱壓印應(yīng)用

自動化壓花工藝

EVG專有的**對準(zhǔn)工藝,，用于光學(xué)對準(zhǔn)的壓印和壓印

完全由軟件控制的流程執(zhí)行

閉環(huán)冷卻水供應(yīng)選項

外部浮雕和冷卻站 岱美儀器代理的SmartNIL是一項關(guān)鍵的啟用技術(shù),，可用于顯示器，生物技術(shù)和光子應(yīng)用中的許多新創(chuàng)新,。

UV-NIL / SmartNIL 納米壓印系統(tǒng)

EV Group為基于紫外線的納米壓印光刻（UV-NIL）提供完整的產(chǎn)品線,，包括不同的單步壓印系統(tǒng),，大面積壓印機(jī)以及用于高 效母版制作的分步重復(fù)系統(tǒng)。除了柔軟的UV-NIL,，EVG還提供其專有的SmartNIL技術(shù)以及多種用途的聚合物印模技術(shù),。高 效，強(qiáng)大的SmartNIL工藝可提供高圖案保真度,，高度均勻的圖案層和**少的殘留層,，并具有易于調(diào)整的晶圓尺寸和產(chǎn)量。EVG的SmartNIL兌現(xiàn)了納米壓印的長期承諾,，即納米壓印是一種用于大規(guī)模生產(chǎn)微米和納米級結(jié)構(gòu)的高性能,，低成本和具有批量生產(chǎn)能力的技術(shù)。

這個系列的型號包括：EVG®610,；EVG®620NT,；EVG®6200NT；EVG®720,；EVG®7200,；EVG®7200LA；HERCULES®NIL,；EVG®770,；IQAligner®。 EVG的SmartNIL技術(shù)是基于紫外線曝光的全場壓印技術(shù),，可提供功能強(qiáng)大的下一代光刻技術(shù),。晶圓片納米壓印技術(shù)支持

HERCULES NIL 300 mm提供市場上**納米壓印功能，具有較低的力和保形壓印,，快速高功率曝光和平滑壓模分離,。四川納米壓印研發(fā)可以用嗎

EVG ® 510 HE特征：

用于聚合物基材和旋涂聚合物的熱壓印應(yīng)用

自動化壓花工藝

EVG專有的**對準(zhǔn)工藝，用于光學(xué)對準(zhǔn)的壓印和壓印

完全由軟件控制的流程執(zhí)行

閉環(huán)冷卻水供應(yīng)選項

外部浮雕和冷卻站

EVG ® 510 HE技術(shù)數(shù)據(jù)：

加熱器尺寸：150毫米 ,，200毫米

比較大基板尺寸：150毫米,，200毫米

**小基板尺寸：單芯片，100毫米

比較大接觸力：10,、20、60 kN

比較高溫度：標(biāo)準(zhǔn)：350°C,；可選：550°C

夾盤系統(tǒng)/對準(zhǔn)系統(tǒng)

150毫米加熱器：EVG ® 610,，EVG ® 620，EVG ® 6200

200毫米加熱器：EVG ® 6200,，MBA300,，的Smart View ® NT

真空：

標(biāo)準(zhǔn)：0.1毫巴

可選：0.00001 mbar

四川納米壓印研發(fā)可以用嗎

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司致力于儀器儀表，以科技創(chuàng)新實(shí)現(xiàn)***管理的追求,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)擁有一支經(jīng)驗豐富,、技術(shù)創(chuàng)新的專業(yè)研發(fā)團(tuán)隊,，以高度的專注和執(zhí)著為客戶提供磁記錄，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn),，測試儀器的批發(fā)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)不斷開拓創(chuàng)新,，追求出色,，以技術(shù)為先導(dǎo)，以產(chǎn)品為平臺,，以應(yīng)用為重點(diǎn),，以服務(wù)為保證，不斷為客戶創(chuàng)造更高價值,，提供更優(yōu)服務(wù),。岱美儀器技術(shù)服務(wù)始終關(guān)注自身，在風(fēng)云變化的時代,，對自身的建設(shè)毫不懈怠,，高度的專注與執(zhí)著使岱美儀器技術(shù)服務(wù)在行業(yè)的從容而自信。