輪廓儀,、粗糙度儀、三坐標(biāo)的區(qū)別：

關(guān)于輪廓儀和粗糙度儀

  輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品,，輪廓儀主要功能是測(cè)量零件表面的輪廓形狀,，比如：汽車零件中的溝槽的槽深,、槽寬、倒角（包括倒角位置,、倒角尺寸,、角度等），圓柱表面素線的直線度等參數(shù),?？傊喞獌x反映的是零件的宏觀輪廓,。粗糙度儀的功能是測(cè)量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量,，通俗地講，就是零件表面加工得光不光（粗糙度老國標(biāo)叫光潔度）,，即粗糙度反映的是零件加工表面的微觀情況,。

  但是，輪廓儀和粗糙度儀關(guān)系其實(shí)挺密切,，現(xiàn)在有一種儀器叫做粗糙度輪廓測(cè)量一體機(jī),，就是在輪廓儀上加裝了粗糙度測(cè)量模塊，這樣既可以測(cè)量輪廓尺寸,，又可以測(cè)量粗糙度,，市場(chǎng)上典型產(chǎn)品就是中圖儀器的SJ5701粗糙度輪廓儀。

  在結(jié)構(gòu)上,，輪廓儀基本上都是臺(tái)式的,，而粗糙度儀以手持式的居多，當(dāng)然也有臺(tái)式的,。 表面形貌（粗糙度,，平面度，平行度,，臺(tái)階高度,，錐角等）。安徽輪廓儀輪廓測(cè)量應(yīng)用

2）共聚焦顯微鏡方法 

共聚焦顯微鏡包括LED光源,、旋轉(zhuǎn)多***盤,、帶有壓電驅(qū)動(dòng)器的物鏡和CCD相機(jī)。LED光源通過多***盤（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面上,，從而反射光,。反射光通過MPD的***減小到聚焦的部分落在CCD相機(jī)上。傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細(xì)節(jié),，但是在共焦圖像中,，通過多***盤的操作濾除模糊細(xì)節(jié)（未聚焦），只有來自聚焦平面的光到達(dá)CCD相機(jī),。因此,，共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內(nèi)獲得高 分辨率,。 每個(gè)共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片，在不同的焦點(diǎn)高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊,，共焦顯微鏡通過壓電驅(qū)動(dòng)器和物鏡的精確垂直位移來實(shí)現(xiàn),。200到400個(gè)共焦圖像通常在幾秒內(nèi)被捕獲，之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像,。 上海輪廓儀推薦型號(hào)配置Barcode 掃描板邊二維碼,，可自動(dòng)識(shí)別產(chǎn)品信息。

輪廓儀的技術(shù)原理

被測(cè)表面(光)與參考面(光)之間的光程差（高度差）形成干涉

移相法(PSI)  高度和干涉相位

f = (2p/l ) 2 h

形貌高度: < 120nm

精度: < 1nm

RMS重復(fù)性: 0.01nm

垂直掃描法

(VSI+CSI)  

精度： ?/1000   干涉信號(hào)~光程差位置

形貌高度: nm-mm,

精度: >2nm

干涉測(cè)量技術(shù)：快速靈活,、超納米精度,、測(cè)量精度不受物鏡倍率影響

以下來自網(wǎng)絡(luò)：

輪廓儀，能描繪工件表面波度與粗糙度,，并給出其數(shù)值的儀器,，采用精密氣浮導(dǎo)軌為直線基準(zhǔn)。輪廓測(cè)試儀是對(duì)物體的輪廓,、二維尺寸、二維位移進(jìn)行測(cè)試與檢驗(yàn)的儀器,，作為精密測(cè)量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分***,。

輪廓儀在集成電路的應(yīng)用

封**ump測(cè)量  

視場(chǎng)：72*96（um）物鏡：干涉50X 檢測(cè)位置：樣品局部

面減薄表面粗糙度分析

封裝：300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析  面粗糙度分析：2D, 3D顯示；線粗糙度分析：Ra, Ry,，Rz,，…

器件多層結(jié)構(gòu)臺(tái)階高  MEMS 器件多層結(jié)構(gòu)分析、工藝控制參數(shù)分析

激光隱形切割工藝控制  世界***的能夠?qū)崿F(xiàn)激光槽寬度,、深度自動(dòng)識(shí)別和數(shù)據(jù)自動(dòng)生成,，**地縮

短了激光槽工藝在線檢測(cè)的時(shí)間，避免人工操作帶來的一致性,，可靠性問題

歡迎咨詢,。 具備異常報(bào)警，急停等功能,，報(bào)警信息可儲(chǔ)存,。

輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用：

晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程，其中由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小,，任何微小的黏附異物和下次均會(huì)導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺 陷,，因此必須對(duì)光罩和晶圓的表面輪廓進(jìn)行檢測(cè)，檢測(cè)相應(yīng)的輪廓尺寸,。

白光輪廓儀的典型應(yīng)用：

對(duì)各種產(chǎn)品,，不見和材料表面的平面度，粗糙度,，波溫度,，面型輪廓,，表面缺 陷，磨損情況,，腐蝕情況,，孔隙間隙，臺(tái)階高度,，完全變形情況,，加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

共焦顯微鏡通過壓電驅(qū)動(dòng)器和物鏡的精確垂直位移來實(shí)現(xiàn),。表面輪廓儀干涉測(cè)量應(yīng)用

NanoX-8000 Z 軸聚焦：100mm行程自動(dòng)聚焦,，0.1um移動(dòng)步進(jìn)。安徽輪廓儀輪廓測(cè)量應(yīng)用

如何正確使用輪廓儀

準(zhǔn)備工作

1.測(cè)量前準(zhǔn)備,。

2.開啟電腦,、打開機(jī)器電源開關(guān)、檢查機(jī)器啟動(dòng)是否正常,。

3.擦凈工件被測(cè)表面,。

測(cè)量

1.將測(cè)針正確、平穩(wěn),、可靠地移動(dòng)在工件被測(cè)表面上,。

2.工件固定確認(rèn)工件不會(huì)出現(xiàn)松動(dòng)或者其它因素導(dǎo)致測(cè)針與工件相撞的情況出現(xiàn)

3.在儀器上設(shè)置所需的測(cè)量條件。

4.開始測(cè)量,。測(cè)量過程中不可觸摸工件更不可人為震動(dòng)桌子的情況產(chǎn)生,。

5.測(cè)量完畢，根據(jù)圖紙對(duì)結(jié)果進(jìn)行分析,，標(biāo)出結(jié)果,，并保存、打印,。

輪廓的角度處理:  

角度處理：兩直線夾角,、直線與Y軸夾角、直線與X軸夾角點(diǎn)線處理：兩直線交點(diǎn),、交點(diǎn)到直線距離,、交點(diǎn)到交點(diǎn)距離、交點(diǎn)到圓心距離,、交點(diǎn)到點(diǎn)距離圓處理：圓心距離,、圓心到直線的距離、交點(diǎn)到圓心的距離,、直線到切點(diǎn)的距離線處理：直線度,、凸度、LG凸度,、對(duì)數(shù)曲線

安徽輪廓儀輪廓測(cè)量應(yīng)用

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)加太路39號(hào)第五層六十五部位,，交通便利,，環(huán)境優(yōu)美，是一家其他型企業(yè),。公司是一家有限責(zé)任公司企業(yè),，以誠信務(wù)實(shí)的創(chuàng)業(yè)精神、專業(yè)的管理團(tuán)隊(duì),、踏實(shí)的職工隊(duì)伍,，努力為廣大用戶提供***的產(chǎn)品。以滿足顧客要求為己任,；以顧客永遠(yuǎn)滿意為標(biāo)準(zhǔn),；以保持行業(yè)優(yōu)先為目標(biāo)，提供***的磁記錄,，半導(dǎo)體,，光通訊生產(chǎn)，測(cè)試儀器的批發(fā),。岱美儀器技術(shù)服務(wù)自成立以來,，一直堅(jiān)持走正規(guī)化、專業(yè)化路線,，得到了廣大客戶及社會(huì)各界的普遍認(rèn)可與大力支持,。