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聯(lián)電輪廓儀有哪些應(yīng)用

來源: 發(fā)布時間:2020-12-09

1)白光輪廓儀的典型應(yīng)用:

對各種產(chǎn)品,,不見和材料表面的平面度,,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺 陷,磨損情況,,腐蝕情況,孔隙間隙,,臺階高度,,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。  

2)共聚焦顯微鏡方法 

共聚焦顯微鏡包括LED光源,、旋轉(zhuǎn)多***盤、帶有壓電驅(qū)動器的物鏡和CCD相機,。LED光源通過多***盤(MPD)和物鏡聚焦到樣品表面上,,從而反射光。反射光通過MPD的***減小到聚焦的部分落在CCD相機上,。傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細節(jié),,但是在共焦圖像中,通過多***盤的操作濾除模糊細節(jié)(未聚焦),,只有來自聚焦平面的光到達CCD相機,。因此,共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內(nèi)獲得高 分辨率。 每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片,,在不同的焦點高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊,,共焦顯微鏡通過壓電驅(qū)動器和物鏡的精確垂直位移來實現(xiàn)。200到400個共焦圖像通常在幾秒內(nèi)被捕獲,,之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像,。





輪廓儀廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS,、航空航天,、精密加 工、表面工程技術(shù),、材料,、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域。聯(lián)電輪廓儀有哪些應(yīng)用

輪廓儀的培訓(xùn)

一,、 培訓(xùn)承諾

    系統(tǒng)建成后,,我公司將為業(yè)主提供為期1天的**培訓(xùn)和技術(shù)資詢;培訓(xùn)地點可以在我公司,,亦或在工程現(xiàn)場;

    系統(tǒng)操作及管理人員的培訓(xùn)人數(shù)為10人,,由業(yè)主指定,,我公司將確保相關(guān)人員正確使用該系統(tǒng);


1.1. 培訓(xùn)對象

    系統(tǒng)操作及管理人員(培訓(xùn)對象須具有專業(yè)技術(shù)的技術(shù)人員或?qū)嶋H值班操作人員),;

    其他業(yè)主指定的相關(guān)人員,。


1.2. 培訓(xùn)內(nèi)容

    系統(tǒng)操作使用說明書。

    培訓(xùn)課程的主要內(nèi)容是系統(tǒng)的操作,、系統(tǒng)的相關(guān)參數(shù)設(shè)定和修改和系統(tǒng)的維修與保養(yǎng)與簡單升級等,,具體內(nèi)容如下:

    * 系統(tǒng)文檔解讀;

    * 系統(tǒng)的技術(shù)特點,、安裝維護和系統(tǒng)管理方式,;

    * 系統(tǒng)一般故障排除。





原裝進口輪廓儀摩擦學(xué)應(yīng)用表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富,,通??煞譃榻佑|時和非接觸時兩種,其中以非接觸式測量方法為主,。

輪廓儀的物鏡知多少?  

白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,,以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,典型結(jié)果包括:

表面形貌(粗糙度,,平面度,,平行度,臺階高度,錐角等)

幾何特征(關(guān)鍵孔徑尺寸,,曲率半徑,,特征區(qū)域的面積和集體,特征圖形的位置和數(shù)量等)

白光干涉系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng),,通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,,使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。  

因此物鏡是輪廓儀****的部件,,

物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求,,為了滿足各種精度的需求,需要提供各種物鏡,,例如標配的10×,, 還有2.5×,5×,,20×,,50×,100×,,可選,。  

不同的鏡頭價格有很大的差別,因此需要量力根據(jù)需求選配對應(yīng)的鏡頭哦,。

白光干涉輪廓儀對比激光共聚焦輪廓儀

白光干涉3D顯微鏡:

干涉面成像,,

多層垂直掃描

比較好高度測量精度:< 1nm

高度精度不受物鏡影響


性價比好

激光共聚焦3D顯微鏡:

點掃描合成面成像,

多層垂直掃描

Keyence(日本)

比較好高度測量精度:~10nm

高度精度由物鏡決定,,1um精度@10倍

90萬-130萬


三維光學(xué)輪廓儀采用白光軸向色差原理(性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀)對樣品表面進行快速,、重復(fù)性高、高 分辨率的三維測量,,測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌,,臺階高度,給MEMS,、半導(dǎo)體材料,、太陽能電池、醫(yī)療工程,、制藥,、生物材料,光學(xué)元件,、陶瓷和先進材料的研發(fā)和生產(chǎn)提供了一個精確的,、價格合理的計量方案。(來自網(wǎng)絡(luò)) 表面形貌(粗糙度,,平面度,,平行度,,臺階高度,錐角等),。

我們的輪廓儀有什么優(yōu)勢呢

世界先進水平的產(chǎn)品技術(shù)

合理的產(chǎn)品價格

24小時到現(xiàn)場的本地化售后服務(wù)

無償產(chǎn)品技術(shù)培訓(xùn)和應(yīng)用技術(shù)支持

個性化的應(yīng)用軟件服務(wù)支持

合理的保質(zhì)期后產(chǎn)品服務(wù)

更佳的產(chǎn)品性價比和更優(yōu)解決方案


非接觸式輪廓儀(光學(xué)輪廓儀)是以白光干涉為原理制成的一款高精度微觀形貌測量儀器,,可測各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度,、微觀幾何輪廓,、曲率等。(本段來自網(wǎng)絡(luò)) 每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片,,在不同的焦點高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊,。半導(dǎo)體設(shè)備輪廓儀樣機試用

測量模式:移相干涉(PSI),白光垂直掃描干涉(VSI),,單色光垂直掃描干涉(CSI),。聯(lián)電輪廓儀有哪些應(yīng)用

    輪廓儀是用容易理解的機械技術(shù)測量薄膜厚度。它的工作原理是測量測量劃過薄膜的檢測筆的高度(見右圖),。輪廓儀的主要優(yōu)點是可以測量所有固體膜,,包括不透明的厚金屬膜。更昂貴的系統(tǒng)能測繪整個表面輪廓,。(有關(guān)我們的低成本光學(xué)輪廓儀的資訊,,請點擊這里).獲取反射光譜指南然而輪廓儀也有不足之處。首先,,樣本上必須有個小坎才能測量薄膜厚度,而小坎通常無法很標準(見圖),。這樣,,標定誤差加上機械漂移造成5%-10%的測量誤差。與此相比,,光譜反射儀使用非接觸技術(shù),不需要任何樣本準備就可以測量厚度,。只需一秒鐘分析從薄膜反射的光就可確定薄膜厚度和折射率,。光譜反射儀還可以測量多層薄膜。輪廓儀和光譜反射儀的主要優(yōu)點列表于下,。如需更多光譜反射儀信息請訪問我們官網(wǎng)。聯(lián)電輪廓儀有哪些應(yīng)用

岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司主要經(jīng)營范圍是儀器儀表,,擁有一支專業(yè)技術(shù)團隊和良好的市場口碑,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)致力于為客戶提供良好的磁記錄,半導(dǎo)體,,光通訊生產(chǎn),測試儀器的批發(fā),,一切以用戶需求為中心,,深受廣大客戶的歡迎,。公司秉持誠信為本的經(jīng)營理念,,在儀器儀表深耕多年,以技術(shù)為先導(dǎo),,以自主產(chǎn)品為重點,,發(fā)揮人才優(yōu)勢,打造儀器儀表良好品牌,。岱美儀器技術(shù)服務(wù)立足于全國市場,,依托強大的研發(fā)實力,融合前沿的技術(shù)理念,,飛快響應(yīng)客戶的變化需求,。