4、微流量傳感器微流量傳感器不僅外形尺寸小,，能達(dá)到很低的測(cè)量量級(jí),，而且死區(qū)容量小,，響應(yīng)時(shí)間短，適合于微流體的精密測(cè)量和控制,。國(guó)內(nèi)外研究的微流量傳感器依據(jù)工作原理可分為熱式（包括熱傳導(dǎo)式和熱飛行時(shí)間式）,、機(jī)械式和諧振式3種,。清華大學(xué)精密儀器系設(shè)計(jì)的閥片式微流量傳感器通過(guò)閥片將流量轉(zhuǎn)換為梁表面彎曲應(yīng)力，再由集成在閥片上的壓敏電橋檢測(cè)出流量信號(hào),。該傳感器的芯片尺寸為3.5mm×3.5mm,，在10ml～200ml/min的氣體流量下，線性度優(yōu)于5%,。5,、微氣體傳感器根據(jù)制作材料的不同，微氣敏傳感器分為硅基氣敏傳感器和硅微氣敏傳感器,。其中前者以硅為襯底,，敏感層為非硅材料，是當(dāng)前微氣敏傳感器的主流,。微氣體傳感器可滿足人們對(duì)氣敏傳感器集成化,、智能化、多功能化等要求,。例如許多氣敏傳感器的敏感性能和工作溫度密切相關(guān),，因而要同時(shí)制作加熱元件和溫度探測(cè)元件，以監(jiān)測(cè)和控制溫度,。MEMS技術(shù)很容易將氣敏元件和溫度探測(cè)元件制作在一起,，保證氣體傳感器優(yōu)良性能的發(fā)揮。顯然,，要獲取大量人類感官無(wú)法直接獲取的信息,，沒(méi)有相適應(yīng)的傳感器是不可能的。嘉定區(qū)品牌傳感器特點(diǎn)

霍爾傳感器分為線性型霍爾傳感器和開(kāi)關(guān)型霍爾傳感器兩種,。1,、線性型霍爾傳感器由霍爾元件、線性放大器和射極跟隨器組成,，它輸出模擬量,。2,、開(kāi)關(guān)型霍爾傳感器由穩(wěn)壓器、霍爾元件,、差分放大器,，斯密特觸發(fā)器和輸出級(jí)組成，它輸出數(shù)字量,?；魻栯妷弘S磁場(chǎng)強(qiáng)度的變化而變化，磁場(chǎng)越強(qiáng),，電壓越高,，磁場(chǎng)越弱，電壓越低,?；魻栯妷褐岛苄。ǔＶ挥袔讉€(gè)毫伏,，但經(jīng)集成電路中的放大器放大,，就能使該電壓放大到足以輸出較強(qiáng)的信號(hào)。若使霍爾集成電路起傳感作用,，需要用機(jī)械的方法來(lái)改變磁場(chǎng)強(qiáng)度,。虹口區(qū)如何傳感器哪里買部分散射光返回到傳感器接收器，被光學(xué)系統(tǒng)接收后成像到雪崩光電二極管上,。

其中,，電容式MEMS加速度計(jì)具有靈敏度高、受溫度影響極小等特點(diǎn),，是MEMS微加速度計(jì)中的主流產(chǎn)品,。微陀螺儀是一種角速率傳感器，主要用于汽車導(dǎo)航的GPS信號(hào)補(bǔ)償和汽車底盤(pán)控制系統(tǒng),，主要有振動(dòng)式,、轉(zhuǎn)子式等幾種。應(yīng)用**多的屬于振動(dòng)陀螺儀,，它利用單晶硅或多晶硅的振動(dòng)質(zhì)量塊在被基座帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的哥氏效應(yīng)來(lái)感測(cè)角速度,。例如汽車在轉(zhuǎn)彎時(shí)，系統(tǒng)通過(guò)陀螺儀測(cè)量角速度來(lái)指示方向盤(pán)的轉(zhuǎn)動(dòng)是否到位,，主動(dòng)在內(nèi)側(cè)或者外側(cè)車輪上加上適當(dāng)?shù)闹苿?dòng)以防止汽車脫離車道,，通常，它與低加速度計(jì)一起構(gòu)成主動(dòng)控制系統(tǒng),。

圖1 傳感器的組成敏感元件直接感受被測(cè)量,，并輸出與被測(cè)量有確定關(guān)系的物理量信號(hào)；轉(zhuǎn)換元件將敏感元件輸出的物理量信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào),；變換電路負(fù)責(zé)對(duì)轉(zhuǎn)換元件輸出的電信號(hào)進(jìn)行放大調(diào)制,；轉(zhuǎn)換元件和變換電路一般還需要輔助電源供電,。常將傳感器的功能與人類5大感覺(jué)***相比擬：光敏傳感器——視覺(jué)聲敏傳感器——聽(tīng)覺(jué)氣敏傳感器——嗅覺(jué)化學(xué)傳感器——味覺(jué)傳感器（圖1）壓敏、溫敏,、流體傳感器——觸覺(jué)敏感元件的分類：物理類,，基于力、熱,、光,、電、磁和聲等物理效應(yīng),。化學(xué)類,，基于化學(xué)反應(yīng)的原理,。生物類，基于酶,、抗體、和***等分子識(shí)別功能,。相信不久的將來(lái)，傳感器技術(shù)將會(huì)出現(xiàn)一個(gè)飛躍,，達(dá)到與其重要地位相稱的新水平。

用作壓阻式傳感器的基片（或稱膜片）材料主要為硅片和鍺片,，硅片為敏感材料而制成的硅壓阻傳感器越來(lái)越受到人們的重視,，尤其是以測(cè)量壓力和速度的固態(tài)壓阻式傳感器應(yīng)用**為普遍,。熱電阻傳感器（圖6）熱電阻測(cè)溫是基于金屬導(dǎo)體的電阻值隨溫度的增加而增加這一特性來(lái)進(jìn)行溫度測(cè)量的,。熱電阻大都由純金屬材料制成，應(yīng)用**多的是鉑和銅,，此外,，已開(kāi)始采用鎳、錳和銠等材料制造熱電阻,。熱電阻傳感器主要是利用電阻值隨溫度變化而變化這一特性來(lái)測(cè)量溫度及與溫度有關(guān)的參數(shù)。在溫度檢測(cè)精度要求比較高的場(chǎng)合,，這種傳感器比較適用,。較為***的熱電阻材料為鉑,、銅,、鎳等，它們具有電阻溫度系數(shù)大,、線性好、性能穩(wěn)定,、使用溫度范圍寬,、加工容易等特點(diǎn),。用于測(cè)量-200℃～+500℃范圍內(nèi)的溫度。在溫度檢測(cè)精度要求比較高的場(chǎng)合,，這種傳感器比較適用,。奉賢區(qū)常見(jiàn)傳感器設(shè)計(jì)

熱電阻測(cè)溫是基于金屬導(dǎo)體的電阻值隨溫度的增加而增加這一特性來(lái)進(jìn)行溫度測(cè)量的,。嘉定區(qū)品牌傳感器特點(diǎn)

電阻應(yīng)變式傳感器中的電阻應(yīng)變片具有金屬的應(yīng)變效應(yīng)，即在外力作用下產(chǎn)生機(jī)械形變,，從而使電阻值隨之發(fā)生相應(yīng)的變化,。電阻應(yīng)變片主要有金屬和半導(dǎo)體兩類,，金屬應(yīng)變片有金屬絲式、箔式,、薄膜式之分,。半導(dǎo)體應(yīng)變片具有靈敏度高（通常是絲式,、箔式的幾十倍）、橫向效應(yīng)小等優(yōu)點(diǎn),。壓阻式壓阻式傳感器是根據(jù)半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)在半導(dǎo)體材料的基片上經(jīng)擴(kuò)散電阻而制成的器件,。其基片可直接作為測(cè)量傳感元件,，擴(kuò)散電阻在基片內(nèi)接成電橋形式,。當(dāng)基片受到外力作用而產(chǎn)生形變時(shí)，各電阻值將發(fā)生變化,，電橋就會(huì)產(chǎn)生相應(yīng)的不平衡輸出。嘉定區(qū)品牌傳感器特點(diǎn)

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