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1,、信息存儲(chǔ)和傳輸——隨著全智能集散控制系統(tǒng)(SmartDistributedSystem)的飛速發(fā)展,,對(duì)智能單元要求具備通信功能,,用通信網(wǎng)絡(luò)以數(shù)字形式進(jìn)行雙向通信,這也是智能傳感器關(guān)鍵標(biāo)志之一,。智能傳感器通過測(cè)試數(shù)據(jù)傳輸或接收指令來實(shí)現(xiàn)各項(xiàng)功能,。如增益的設(shè)置、補(bǔ)償參數(shù)的設(shè)置,、內(nèi)檢參數(shù)設(shè)置,、測(cè)試數(shù)據(jù)輸出等。2,、自補(bǔ)償和計(jì)算功能——多年來從事傳感器研制的工程技術(shù)人員一直為傳感器的溫度漂移和輸出非線性作大量的補(bǔ)償工作,,但都沒有從根本上解決問題。而智能傳感器的自補(bǔ)償和計(jì)算功能為傳感器的溫度漂移和非線性補(bǔ)償開辟了新的道路,。利用激光技術(shù)進(jìn)行測(cè)量的傳感器,。它由激光器、激光檢測(cè)器和測(cè)量電路組成,。虹口區(qū)智能傳感器現(xiàn)貨
酸、堿,、鹽酸,、堿、鹽濃度傳感器通過測(cè)量溶液電導(dǎo)值來確定濃度,。它可以在線連續(xù)檢測(cè)工業(yè)過程中酸,、堿、鹽在水溶液中的濃度含量,。這種傳感器主要應(yīng)用于鍋爐給水處理,、化工溶液的配制以及環(huán)保等工業(yè)生產(chǎn)過程。酸,、堿,、鹽濃度傳感器的工作原理是:在一定的范圍內(nèi),酸堿溶液的濃度與其電導(dǎo)率的大小成比例,。因而,,只要測(cè)出溶液電導(dǎo)率的大小變可得知酸堿濃度的高低。當(dāng)被測(cè)溶液流入**電導(dǎo)池時(shí),,如果忽略電極極化和分布電容,,則可以等效為一個(gè)純電阻。在有恒壓交變電流流過時(shí),,其輸出電流與電導(dǎo)率成線性關(guān)系,,而電導(dǎo)率又與溶液中酸、堿濃度成比例關(guān)系,。因此只要測(cè)出溶液電流,,便可算出酸,、堿、鹽的濃度,。普陀區(qū)標(biāo)準(zhǔn)傳感器檢測(cè)經(jīng)目標(biāo)反射后激光向各方向散射,。
(1)將敏感元件與信號(hào)處理、校準(zhǔn),、補(bǔ)償,、微控制器等進(jìn)行單片集成,研制智能化的壓力傳感器,。(2)進(jìn)一步提高壓力傳感器的靈敏度,,實(shí)現(xiàn)低量程的微壓傳感器。(3)提高工作溫度,,研制高低溫壓力傳感器,。(4)開發(fā)諧振式壓力傳感器。2,、微加速度傳感器硅微加速度傳感器是繼微壓力傳感器之后第二個(gè)進(jìn)入市場(chǎng)的微機(jī)械傳感器,。其主要類型有壓阻式、電容式,、力平衡式和諧振式,。其中相當(dāng)有有吸引力的是力平衡加速度計(jì),其典型產(chǎn)品是Kuehnel等人在1994年報(bào)道的AGXL50型,。
MEMS傳感器是MEMS器件的一個(gè)重要分支,,作為微機(jī)電系統(tǒng)的重要組成部分,MEMS傳感器是實(shí)現(xiàn)微機(jī)電系統(tǒng)感知和信號(hào)處理的功能器件,。這種傳感器采用MEMS制造技術(shù),,即微電子制造技術(shù)和微機(jī)械加工制造技術(shù),其材料,、工作原理,、制作工藝等方面與傳統(tǒng)傳感器有相當(dāng)大的區(qū)別。 [4]MEMS傳感器是基于其敏感材料的特殊效應(yīng)工作的,,它的制作工藝結(jié)合當(dāng)今先進(jìn)的IC微電子加工工藝和MEMS微機(jī)械加工制造工藝來實(shí)現(xiàn),,通過對(duì)材料的微機(jī)械加工,制造出可感受壓力,、溫度,、磁場(chǎng)、加速度等各種參數(shù)的穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)器件(如梁,、膜,、叉指等單一或復(fù)合的結(jié)構(gòu)),從而實(shí)現(xiàn)對(duì)各種相關(guān)參數(shù)的感知,、測(cè)試和轉(zhuǎn)換電阻應(yīng)變片主要有金屬和半導(dǎo)體兩類,,金屬應(yīng)變片有金屬絲式,、箔式、薄膜式之分,。
電阻應(yīng)變式傳感器中的電阻應(yīng)變片具有金屬的應(yīng)變效應(yīng),,即在外力作用下產(chǎn)生機(jī)械形變,從而使電阻值隨之發(fā)生相應(yīng)的變化,。電阻應(yīng)變片主要有金屬和半導(dǎo)體兩類,,金屬應(yīng)變片有金屬絲式、箔式,、薄膜式之分,。半導(dǎo)體應(yīng)變片具有靈敏度高(通常是絲式、箔式的幾十倍),、橫向效應(yīng)小等優(yōu)點(diǎn),。壓阻式壓阻式傳感器是根據(jù)半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)在半導(dǎo)體材料的基片上經(jīng)擴(kuò)散電阻而制成的器件。其基片可直接作為測(cè)量傳感元件,,擴(kuò)散電阻在基片內(nèi)接成電橋形式,。當(dāng)基片受到外力作用而產(chǎn)生形變時(shí),各電阻值將發(fā)生變化,,電橋就會(huì)產(chǎn)生相應(yīng)的不平衡輸出,。熱電阻傳感器主要是利用電阻值隨溫度變化而變化這一特性來測(cè)量溫度及與溫度有關(guān)的參數(shù)。虹口區(qū)智能傳感器現(xiàn)貨
,、開關(guān)型霍爾傳感器由穩(wěn)壓器、霍爾元件,、差分放大器,,斯密特觸發(fā)器和輸出級(jí)組成,它輸出數(shù)字量,。虹口區(qū)智能傳感器現(xiàn)貨
4,、微流量傳感器微流量傳感器不僅外形尺寸小,能達(dá)到很低的測(cè)量量級(jí),,而且死區(qū)容量小,,響應(yīng)時(shí)間短,適合于微流體的精密測(cè)量和控制,。國(guó)內(nèi)外研究的微流量傳感器依據(jù)工作原理可分為熱式(包括熱傳導(dǎo)式和熱飛行時(shí)間式),、機(jī)械式和諧振式3種。清華大學(xué)精密儀器系設(shè)計(jì)的閥片式微流量傳感器通過閥片將流量轉(zhuǎn)換為梁表面彎曲應(yīng)力,,再由集成在閥片上的壓敏電橋檢測(cè)出流量信號(hào),。該傳感器的芯片尺寸為3.5mm×3.5mm,在10ml~200ml/min的氣體流量下,,線性度優(yōu)于5%,。5,、微氣體傳感器根據(jù)制作材料的不同,微氣敏傳感器分為硅基氣敏傳感器和硅微氣敏傳感器,。其中前者以硅為襯底,,敏感層為非硅材料,是當(dāng)前微氣敏傳感器的主流,。微氣體傳感器可滿足人們對(duì)氣敏傳感器集成化,、智能化、多功能化等要求,。例如許多氣敏傳感器的敏感性能和工作溫度密切相關(guān),,因而要同時(shí)制作加熱元件和溫度探測(cè)元件,以監(jiān)測(cè)和控制溫度,。MEMS技術(shù)很容易將氣敏元件和溫度探測(cè)元件制作在一起,,保證氣體傳感器優(yōu)良性能的發(fā)揮。虹口區(qū)智能傳感器現(xiàn)貨
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