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鋁閘閥BUTTERFLY VALVE

來源: 發(fā)布時間:2024-05-07

微泰,,傳輸閥 (I-MOTION),、I型轉換閥、輸送閥,、轉移閥應用于晶圓加工,,半導體加工,可替代VAT閘閥,。其特點是? 主體材料:鋁或不銹鋼? 緊湊型設計? 使用維修配件工具包易于維護? 應用:半導體系統(tǒng)中小于 450mm 晶圓的傳輸和處理室隔離,,傳輸閥 (I-MOTION)、輸送閥,、轉移閥規(guī)格如下:閘門密封類型:傳輸閥 (I-MOTION),、右動轉換閥、驅動方式:氣動,、法蘭尺寸(內徑) 32×222/46×236/50×336/56×500 ,、連接方式:焊接波紋管、閘門密封 Viton O 形圈/硫化密封件,、閥蓋密封:氟橡膠O型圈,、響應時間:≤ 2 sec、工作壓力范圍:1×10-10 mbar to 1200 mbar,、開始時的壓差:≤ 30 mbar,、開啟時壓差: ≤ 1200 mbar r、泄漏率不銹鋼:< 1×10 -9Mbar?/秒/鋁:< 1×10 -5  mbar ?/秒,、維護前可用次數(shù): ≥1,000,000次,、閥體溫度≤ 200 °、機構溫度≤ 80 °C、烤爐溫度≤ 200 °C,、材料:閥體(不銹鋼304)/驅動器(鋁6061陽極氧化),、安裝位置:任意、操作壓力(N2):4 ~ 7 bar,。有中國臺灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導體、日本Micron,、三星半導體和其它的設備使用業(yè)績,,上海安宇泰環(huán)保科技有限公司,。閘閥按閘板結構形式分為單閘板和雙閘板兩種,。鋁閘閥BUTTERFLY VALVE

鋁閘閥BUTTERFLY VALVE,閘閥

微泰半導體主加工設備腔內精確壓力控制的閘閥蝶閥Butterfly Valve,。該蝶閥具有緊湊的設計和堅固的不銹鋼結構,,通過閘板旋轉操作。蝶閥可以實現(xiàn)精確的壓力控制和低真空環(huán)境,。例如半導體和工業(yè)過程,。蝶閥通過控制器和步進電機自動控制到用戶指定的值,保持一致的真空壓力,??梢栽诟哒婵窄h(huán)境中實現(xiàn)精確的壓力控制。如半導體等高真空工藝應用,??刂葡到y(tǒng)閘閥是自動控制到用戶指定的值,通過控制器和步進電機保持一致的真空壓力,。微泰半導體閘閥被廣泛應用于 Evaporation(蒸發(fā)),、Sputtering(濺射)、Diamond growth by MW-PACVD(通過 MW-PACVD 生長金剛石),、PECV,、PVD(Cluster,Roll to Roll)(集群、卷對卷),、Coating(涂層),、Etch(蝕刻)、Diffusion(擴散),、CVD(化學氣相沉積)等設備上,,可替代 HVA 閘閥、VA T閘閥。有中國臺灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導體,、日本Micron、三星半導體和其它的設備使用業(yè)績,。該閘閥由上海安宇泰環(huán)??萍加邢薰咎峁U舭l(fā)閘閥法蘭閘閥微泰,,高壓閘閥應用于? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)(集群,、卷對卷)?CVD(化學氣相沉積)等設備上。

鋁閘閥BUTTERFLY VALVE,閘閥

微泰半導體主加工設備腔內精確壓力控制的閘閥,,三重防護閘閥應用于? Evaporation(蒸發(fā))? Sputtering(濺射)? Diamond growth by MW-PACVD(通過MW-PACVD生長金剛石)? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)(集群,、卷對卷)? Coating(涂層)? Etch(蝕刻)? Diffusion(擴散)?CVD(化學氣相沉積)等設備上。有-屏蔽閘閥:防止氣體和粉末進入閥內的隔離閥,,-三重防護閘閥:屏蔽1和2+保護環(huán)的3重隔離系統(tǒng),,還有步進電機閘閥和鋁閘閥,屏蔽門閥:產品范圍:2.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數(shù):25萬次?響應時間:0.2秒~3秒,;三級預防閘閥,,三重防護閘閥:產品范圍:4~10英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數(shù):25萬次?包括屏蔽功能;步進電機閘閥:產品范圍:2.5~10英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數(shù):25萬次?包括屏蔽功能,;步進電機閘閥,;鋁閘閥:產品范圍:2.5~12英寸?高壓氣動?維護前可用次數(shù):10萬次?響應時間:0.2秒~3秒;有中國臺灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導體,、日本Micron、三星半導體和其它的設備使用業(yè)績,,可替代HVA閘閥,、VAT閘閥。上海安宇泰環(huán)??萍加邢薰?。

微泰半導體閘閥具有獨特的特點:其插板閥主滑閥采用球機構方式,并且在量產工藝設備上經過了性能驗證,。該閘閥由半永久性鋼球陶瓷和板簧組成,,陶瓷與金屬接觸驅動時不會產生顆粒,。目前已向中國臺灣的 Micron、UMC,、AKT,,新加坡的 Micron、Global Foundries,,馬來西亞的英菲尼亞半導體,,日本的 Micron、三星半導體等眾多設備廠批量供貨,,且品質得到認可,,同時也完成了對半導體 Utility 設備和批量生產設備的驗證。與其他廠家閘閥的金屬與金屬接觸驅動會產生大量顆粒不同,,微泰半導體閘閥采用鋼陶瓷球,,在與金屬摩擦時不會損壞,且金屬與陶瓷球之間不會產生 Particle,。半永久板簧(SUS 鋼板)的應用確保了閥門驅動的同步性,,同時還采用了固定球導向器和鋼陶瓷。微泰半導體閘閥廣泛應用于 Evaporation(蒸發(fā)),、Sputtering(濺射),、Diamond growth by MW-PACVD(通過 MW-PACVD 生長金剛石)、PECV,、PVD(Cluster,Roll to Roll)(集群,、卷對卷),、Coating(涂層),、Etch(蝕刻)、Diffusion(擴散),、CVD(化學氣相沉積)等設備上,,可替代 HVIA閘閥、VAT 閘閥,。此外,,該閘閥由上海安宇泰環(huán)保科技有限公司提供,。高壓閘閥結構簡單,,制造和維修比較方便。工作行程小,,啟閉時間短,。密封性好,密封面間磨擦力小,,壽命較長,。

鋁閘閥BUTTERFLY VALVE,閘閥

微泰半導體主加工設備腔內精確壓力控制的閘閥,,氣動多位置閘閥,氣動多定位閘閥,,多定位插板閥,,Pneumatic Multi Position 其特點是1,全開和關閉位置使用帶有位置發(fā)射器的氣動電磁閥進行控制,;2,,所有位置控制都由控制器進行操作。1)控制類型-全開:高速閘門全開操作-全閉:高速閘門全閉操作-位置(POS.)控制:將閘門移動到設定的位置值,;2)操作時間-完全打開?完全關閉:<2秒(取決于速度控制器設置)-位置(POS,。)控制: 0%?100%工作,<MAX18秒(偏差: < ±0.5%),。微泰氣動多位置閘閥,,氣動多定位閘閥,多定位插板閥,,Pneumatic Multi Position,,有中國臺灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導體,、日本Micron,、三星半導體和其它的設備使用業(yè)績。閘閥多應用于石油,、天然氣等輸送管線上,,在半導體加工工程設備上也多用閘閥。蒸發(fā)閘閥AKT

高壓閘閥,,屬于強制密封式閥門,,所以在閥門關閉時,必須向閘板施加壓力,,以強制密封面不泄漏,。鋁閘閥BUTTERFLY VALVE

半導體真空插板閥是一種用于半導體制造過程中的真空系統(tǒng)的閥門,主要作用是控制氣體的流動,,以維持真空環(huán)境的穩(wěn)定,。微泰半導體真空腔體用閘閥(插板閥)其特點包括:1. 高密封性:采用特殊的密封結構,能夠有效地防止氣體泄漏,,保證真空系統(tǒng)的密封性,。2. 耐腐蝕性:材料具有良好的耐腐蝕性,能夠在半導體制造過程中的化學物質環(huán)境中穩(wěn)定工作,。3. 高精度:能夠精確地控制氣體的流量,,滿足半導體制造工藝對精度的要求,。4. 快速響應:可以快速地開啟和關閉,以適應半導體制造過程中的快速氣體控制需求,。5. 可靠性高:設計和制造過程嚴格,,保證了其在長期使用中的可靠性和穩(wěn)定性。有中國臺灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導體,、日本Micron、三星半導體和其它的設備使用業(yè)績,。該閘閥由上海安宇泰環(huán)??萍加邢薰咎峁dX閘閥BUTTERFLY VALVE