閘閥的優(yōu)點(diǎn)(1)流體阻力小因?yàn)殚l閥閥體內(nèi)部介質(zhì)通道是直通的,,介質(zhì)流經(jīng)閘閥時(shí)不改變其流動(dòng)方向,,所以流體阻力小,。(2)啟閉力矩小,,開(kāi)閉較省力因?yàn)殚l閥啟閉時(shí)閘板運(yùn)動(dòng)方向與介質(zhì)流動(dòng)方向相垂直,、與截止閥相比,,閘閥的啟閉較省力,。(3)介質(zhì)流動(dòng)方向不受限制,,不擾流,、不降低壓力介質(zhì)可從閘閥兩側(cè)任意方向流過(guò),、均能達(dá)到使用的目的。更適用于介質(zhì)的流動(dòng)方向可能改變的管路中。(4)結(jié)構(gòu)長(zhǎng)度較短因?yàn)殚l閥的閘板是垂直置于閥體內(nèi)的,,而截止閥閥瓣是水平置于閥體內(nèi)的,,因而結(jié)構(gòu)長(zhǎng)度比截止閥短。(5)密封性能好全開(kāi)時(shí)密封面受沖蝕較小,。(6)全開(kāi)時(shí),,密封面受工作介質(zhì)的沖蝕比截止閥小。(7)體形比較簡(jiǎn)單,,鑄造工藝性較好,,適用范圍廣。微泰...
插板閥,,又稱手動(dòng)刀型閘閥,。是閘閥的一種。刀形閘閥是一種閘板與閥座始終緊密接觸密封的閥門,,其原理是閘板上開(kāi)有一個(gè)通徑大小的圓口,,通過(guò)閘板啟閉使得閘板上圓口跟通徑做完全脫離和相吻合的動(dòng)作。此閥門的優(yōu)點(diǎn)在于閥體通徑無(wú)凹槽,,介質(zhì)不會(huì)卡阻堵塞,,并且具有全通徑流通特性,其密封結(jié)構(gòu)可以分軟密封,、硬密封結(jié)構(gòu),。穿透式刀閘閥是具有精密構(gòu)造,工藝性好,,結(jié)構(gòu)緊湊等特點(diǎn),,密封閥座為活動(dòng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),有防磨損和自動(dòng)補(bǔ)償功能,,因而壽命更長(zhǎng),。在關(guān)閉和開(kāi)啟過(guò)程中閥座跟閘板一直緊貼運(yùn)動(dòng),使得閥門啟閉力穩(wěn)定,,并且具有切斷介質(zhì)等特點(diǎn),。正確安裝、定期維護(hù)以及遵守制造商指南對(duì)于這些閥門的性能發(fā)揮和使用壽命至關(guān)重要,。定制閘閥TRANSFER ...
電動(dòng)閥門一般由電動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)和閥門組成,。電動(dòng)閥運(yùn)用電能作為動(dòng)力來(lái)經(jīng)過(guò)電動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)來(lái)驅(qū)動(dòng)閥門,完成閥門的開(kāi)關(guān)動(dòng)作,。從而到達(dá)對(duì)管道介質(zhì)的開(kāi)關(guān)意圖,。電動(dòng)閥門保護(hù)保養(yǎng)一直是許多用戶朋友所關(guān)心的工作,由于好的日常保護(hù)能夠直接給咱們提高出產(chǎn)功率,,下面咱們就來(lái)看下電動(dòng)閥門的保護(hù)關(guān)鍵:電動(dòng)閥門應(yīng)存枯燥通風(fēng)的室內(nèi),,通路兩頭須阻塞。長(zhǎng)期存放的電動(dòng)閥門應(yīng)定時(shí)查看,鏟除污物,,并在加工面上涂防銹油,。裝置后,應(yīng)定時(shí)進(jìn)行查看,,首要查看項(xiàng)目:密封面磨損狀況。閥桿和閥桿螺母的梯形螺紋磨損狀況,。填料是否過(guò)時(shí)失效,,如有損壞應(yīng)及時(shí)替換。電動(dòng)閥門檢修裝置后,,應(yīng)進(jìn)行密封性能實(shí)驗(yàn),。用真空閘閥時(shí),應(yīng)考慮與工藝氣體的兼容性,、工作壓力范圍,、循環(huán)速...
【氣動(dòng)閘閥的用途】氣動(dòng)閘閥性能可靠、操作切換和維修方便,,已被石油,、化工、海運(yùn)等部門,,用于對(duì)各類介質(zhì)控制 【產(chǎn)品特點(diǎn)】1,、氣動(dòng)閘閥配有氣動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)和手動(dòng)機(jī)構(gòu)2、閘閥執(zhí)行器采用雙層氣缸結(jié)構(gòu),,它與單氣缸式氣動(dòng)閘閥相比,,提升力增大了一倍3、解決了單氣缸式氣動(dòng)閘閥的某些閥板在閥體內(nèi)楔死而打不開(kāi)的弊病4,、具備緩沖機(jī)構(gòu),,能有效地減輕關(guān)閉閥門時(shí)由于活塞下行沖擊而造成的閥板密封面和閥體密封面的磨損,同時(shí)也能避免閘板卡死的現(xiàn)象控制系統(tǒng)和蝶閥使用步進(jìn)電機(jī)操作,,而多定位閘閥使用氣動(dòng)控制操作,。超真空閘閥Global Foundries閘閥真空閘閥的選擇需要考慮以下幾個(gè)關(guān)鍵因素:1.應(yīng)用環(huán)境:確定真空閘閥將用于何種真空環(huán)...
英文名稱;Flange Gate Valve的啟閉件是閘板,閘板的運(yùn)動(dòng)方向與流體方向相垂直,,閘閥只能作全開(kāi)和全關(guān) , 不能作調(diào)節(jié)和節(jié)流,。閘板有兩個(gè)密封面 ,常用的模式閘板閥的兩個(gè)密封面形成楔形、楔形角隨閥門參數(shù)而異 , 通常為 50, 介質(zhì)溫度不高時(shí)為 2°52' ,。楔式閘閥的閘板可以做成一個(gè)整 體,,叫做剛性閘板;也可以做成能產(chǎn)生微量變形的閘板 , 以改善其工藝性 , 彌補(bǔ)密封面角度在加工過(guò)程中產(chǎn)生的偏差 , 這種閘板叫做彈性閘板,。閘閥的種類 ,按密封面配置可分為楔式閘板式閘閥和平行閘板式閘閥 , 楔式閘板式,。本類閥門在管道中一般應(yīng)當(dāng)水平安裝。閘閥關(guān)閉時(shí) , 密封面可以只依靠介質(zhì)壓力來(lái)密封 ,...
真空閘閥的維護(hù)保養(yǎng)為了確保真空閘閥的正常運(yùn)行和延長(zhǎng)使用壽命,需要進(jìn)行定期的維護(hù)保養(yǎng),。以下是一些常見(jiàn)的維護(hù)保養(yǎng)措施:1.定期檢查閥門的密封性能,,確保閥瓣和閥座之間的密封良好,防止氣體泄漏,。2.定期對(duì)閥門進(jìn)行清洗,,去除閥門內(nèi)部的雜質(zhì)和污垢,保持閥門的通暢,。3.檢查閥門的驅(qū)動(dòng)裝置,,確保其工作正常。對(duì)于電動(dòng)或氣動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu),,應(yīng)定期檢查電源或氣源供應(yīng)情況,,確保執(zhí)行機(jī)構(gòu)的穩(wěn)定運(yùn)行。4.對(duì)于長(zhǎng)期未使用的閥門,,應(yīng)定期進(jìn)行啟閉操作,,以防止閥門因長(zhǎng)期靜止而出現(xiàn)故障。5.在使用過(guò)程中,,應(yīng)避免對(duì)閥門施加過(guò)大的力矩或沖擊力,,以免損壞閥門或影響其密封性能。真空閘閥廣泛應(yīng)用于各種真空系統(tǒng)和工藝過(guò)程中,,如半導(dǎo)體生產(chǎn),、電子設(shè)備制...
閘閥是各種類型閥門中應(yīng)用很多的閥門。閘閥根據(jù)閘板的的構(gòu)造又分為兩大類:楔式閘板和平板閘板,。楔式閘閥是閘閥中應(yīng)用很廣的閘閥,,它的密封面與垂直中心線形成某個(gè)角度,即兩個(gè)密封面形成楔形,。密封面的傾斜角度有2度52分,,5度,8度,,10度等,。角度的大小取決于介質(zhì)溫度的高低,一般工作溫度越高,,所取角度越大,,以減少溫度變化時(shí)發(fā)生楔住的可能性。楔式閘閥中,,又有雙閘板,、單閘板和彈性閘板之分。雙閘板的優(yōu)點(diǎn)是:對(duì)密封面的角度的精度要求不高,,溫度變化不易引起楔住現(xiàn)象,,密封面的磨損可以在維修時(shí)加墊片補(bǔ)償,。缺點(diǎn)是,這種結(jié)構(gòu)零件較多,,同時(shí)在粘性介質(zhì)中容易粘結(jié),,影響密封。尤其是當(dāng)上下?lián)醢寤蚵菟菽笍?qiáng)度常年銹蝕后閘板容易脫落失...
單閘板結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,,使用可靠,,但對(duì)密封面的角度的精度要求較高,加工和維修比較困難,,溫度變化時(shí)有楔住的可能,。彈性閘板,它具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,、使用可靠的優(yōu)點(diǎn),,又能產(chǎn)生微量的彈性變形來(lái)彌補(bǔ)密封面角度加工過(guò)程中產(chǎn)生的偏差,,改善了工藝性,,因此這種結(jié)構(gòu)已經(jīng)被廣為采用,但要注意在高溫時(shí)防止楔住,。楔式閘板常用于高溫,、高壓、低溫,、大口徑等工況,。平板閘閥主要用于輸送天然氣、原油,、成品油及中低壓大口徑閥門中,。平板閘閥適用的場(chǎng)合:1.石油、天然氣輸送管線,。帶導(dǎo)流孔的平板閘閥還便于清掃管線,。2.成品油的輸送管線和貯存設(shè)備。3.石油,、天然氣的開(kāi)采井口裝置,,也就是采油樹(shù)用閥。4.常有懸浮顆粒介質(zhì)的管道,。5.城市煤氣輸送管線,。6.自來(lái)...
刀型閘閥,也叫刀形閘閥,、刀閘閥,,適用于帶有懸浮顆粒、纖維材料的紙漿,、污水,、煤漿,、灰渣水泥混合物等介質(zhì)的管道,靠可以切割纖維材料的刀刃形閘板來(lái)切斷這些介質(zhì),。閥體實(shí)際上不存在腔室,,閘板在側(cè)面導(dǎo)向槽內(nèi)升降,并由底部的凸耳緊壓在閥座上,,如需達(dá)到較高的介質(zhì)密封性時(shí),,可選用O形密封閥座實(shí)現(xiàn)雙向密封。按驅(qū)動(dòng)方式分為手動(dòng)刀型閘閥,、氣動(dòng)刀型閘閥,、電動(dòng)刀型閘閥。刀型閘閥操作輕便靈活,、體積小,、通道流暢、流阻小,、重量輕,、易安裝、易拆卸,,公稱尺寸DN50~DN800,,可在工作壓力0.6MPa~1.6MPa,使用溫度≤100℃情況下正常工作,。刀型閘閥其閘板具有剪切功能,,可刮除密封面上的粘著物,自動(dòng)除雜物,。不銹鋼閘板可防止...
運(yùn)轉(zhuǎn)中的電動(dòng)閥門,,各種閥件應(yīng)完全、無(wú)缺,。法蘭螺紋和支架上的螺栓不可短少,,螺紋應(yīng)無(wú)缺無(wú)缺,不允許有松動(dòng)現(xiàn)象,。手輪上的緊固螺母,,如發(fā)現(xiàn)松動(dòng)應(yīng)及時(shí)擰緊,避免磨損銜接處或丟失手輪和銘牌,。手輪如有丟失,,不允許用活扳手替代,應(yīng)及時(shí)配齊,。填料壓蓋不允許傾斜或無(wú)預(yù)緊空隙,。對(duì)簡(jiǎn)單受到雨雪、塵埃,、風(fēng)沙等污物的環(huán)境中的電動(dòng)閥門,,其閥桿要裝置保護(hù)罩,。電動(dòng)閥門上的標(biāo)尺應(yīng)堅(jiān)持無(wú)缺、準(zhǔn)確,、明晰,。電動(dòng)閥門的鉛封、蓋帽,、氣動(dòng)附件等應(yīng)完全無(wú)缺,。保溫夾套應(yīng)無(wú)凹陷、裂紋,。不允許在運(yùn)轉(zhuǎn)中的電動(dòng)閥門上敲打,、站人或支承重物;特別是非金屬電動(dòng)閥門和鑄鐵電動(dòng)閥門,,更要制止,。閘閥啟閉時(shí)較省力。是與截止閥相比而言,,因?yàn)闊o(wú)論是開(kāi)或閉,,閘板運(yùn)動(dòng)方向均...
真空閥可以根據(jù)其工作原理、結(jié)構(gòu)特點(diǎn),、應(yīng)用領(lǐng)域等多種方式分類,。以下是一些常見(jiàn)的分類方法:1.按工作原理分類:o機(jī)械式真空閥:通過(guò)機(jī)械運(yùn)動(dòng)來(lái)控制真空環(huán)境的開(kāi)關(guān),。o電磁式真空閥:利用電磁力來(lái)驅(qū)動(dòng)閥門的開(kāi)啟和關(guān)閉,。o氣動(dòng)式真空閥:使用壓縮空氣或氣體作為動(dòng)力源來(lái)控制閥門動(dòng)作。o熱導(dǎo)式真空閥:利用熱導(dǎo)原理,,通過(guò)加熱或冷卻來(lái)控制真空度,。2.按結(jié)構(gòu)特點(diǎn)分類:o直通式真空閥:流體通道為直線型,適用于高真空系統(tǒng),。o角式真空閥:流體通道呈90度彎曲,,常用于空間受限的場(chǎng)合。o三通式真空閥:具有三個(gè)接口,,可以實(shí)現(xiàn)流體的分流或合流,。o多通路真空閥:具有多個(gè)通道,適用于復(fù)雜的真空系統(tǒng),。3.按應(yīng)用領(lǐng)域分類:o半導(dǎo)體行業(yè)真空閥...
真空閥可以根據(jù)其工作原理,、結(jié)構(gòu)特點(diǎn)、應(yīng)用領(lǐng)域等多種方式分類,。以下是一些常見(jiàn)的分類方法:1.按工作原理分類:o機(jī)械式真空閥:通過(guò)機(jī)械運(yùn)動(dòng)來(lái)控制真空環(huán)境的開(kāi)關(guān),。o電磁式真空閥:利用電磁力來(lái)驅(qū)動(dòng)閥門的開(kāi)啟和關(guān)閉。o氣動(dòng)式真空閥:使用壓縮空氣或氣體作為動(dòng)力源來(lái)控制閥門動(dòng)作,。o熱導(dǎo)式真空閥:利用熱導(dǎo)原理,,通過(guò)加熱或冷卻來(lái)控制真空度,。2.按結(jié)構(gòu)特點(diǎn)分類:o直通式真空閥:流體通道為直線型,適用于高真空系統(tǒng),。o角式真空閥:流體通道呈90度彎曲,,常用于空間受限的場(chǎng)合。o三通式真空閥:具有三個(gè)接口,,可以實(shí)現(xiàn)流體的分流或合流,。o多通路真空閥:具有多個(gè)通道,適用于復(fù)雜的真空系統(tǒng),。3.按應(yīng)用領(lǐng)域分類:o半導(dǎo)體行業(yè)真空閥...
閘閥是一種用于控制流體流動(dòng)的閥門,,通常用于管道中,以實(shí)現(xiàn)流體的開(kāi)啟,、關(guān)閉或調(diào)節(jié)流量,。它的工作原理是通過(guò)旋轉(zhuǎn)或升降閘板來(lái)截?cái)嗷驅(qū)б黧w流動(dòng)。根據(jù)不同的應(yīng)用場(chǎng)景,,閘閥可以分為多種類型,,如手動(dòng)閘閥、電動(dòng)閘閥,、氣動(dòng)閘閥等,。插板閥是一種用于控制流體介質(zhì)的流動(dòng)方向的閥門,其主要特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,、啟閉迅速,、密封性能好,廣泛應(yīng)用于石油,、化工,、水處理等領(lǐng)域。插板閥是一種用于控制流體流動(dòng)的閥門,,廣泛應(yīng)用于管道系統(tǒng)中,,以下是其一些基本應(yīng)用:1.化工行業(yè):在化工生產(chǎn)過(guò)程中,插板閥用于控制介質(zhì)的輸送,,實(shí)現(xiàn)管道的啟閉,。2.污水處理:在污水處理系統(tǒng)中,插板閥用于調(diào)節(jié)水質(zhì)和流量,,保證污水處理效果,。3.水電行業(yè):在水電站中,插板...
閘閥閘閥的工作原理是通過(guò)升降閘板(閥瓣)來(lái)控制流體流動(dòng),。閘板通常位于閥門的底部,,當(dāng)閘板提升時(shí),流體通道打開(kāi),,閥門開(kāi)啟,;當(dāng)閘板下降并密封在閥座上時(shí),,流體通道關(guān)閉,閥門關(guān)閉,。閘閥的這種結(jié)構(gòu)使其在關(guān)閉狀態(tài)下具有良好的密封性能,。蝶閥蝶閥的工作原理是通過(guò)旋轉(zhuǎn)蝶板(閥瓣)來(lái)控制流體的流動(dòng)。蝶板位于閥門的中心,,與管道軸線成一定角度,。當(dāng)?shù)逍D(zhuǎn)至與流體流動(dòng)方向平行時(shí),閥門開(kāi)啟,;旋轉(zhuǎn)至垂直于流體流動(dòng)方向時(shí),,閥門關(guān)閉。蝶閥的這種結(jié)構(gòu)使其在全開(kāi)和全關(guān)狀態(tài)下具有較小的流體阻力,。微泰控制系統(tǒng)閥門是安裝在半導(dǎo)體CVD設(shè)備中的主要閥門,。控制系統(tǒng)閥門起到調(diào)節(jié)腔內(nèi)壓力的作用,。小型閘閥閘閥蝶閥蝶閥在全開(kāi)狀態(tài)下具有較低的流體阻力,,...
英文名稱;Flange Gate Valve的啟閉件是閘板,閘板的運(yùn)動(dòng)方向與流體方向相垂直,,閘閥只能作全開(kāi)和全關(guān) , 不能作調(diào)節(jié)和節(jié)流,。閘板有兩個(gè)密封面 ,常用的模式閘板閥的兩個(gè)密封面形成楔形、楔形角隨閥門參數(shù)而異 , 通常為 50, 介質(zhì)溫度不高時(shí)為 2°52' ,。楔式閘閥的閘板可以做成一個(gè)整 體,,叫做剛性閘板;也可以做成能產(chǎn)生微量變形的閘板 , 以改善其工藝性 , 彌補(bǔ)密封面角度在加工過(guò)程中產(chǎn)生的偏差 , 這種閘板叫做彈性閘板,。閘閥的種類 ,按密封面配置可分為楔式閘板式閘閥和平行閘板式閘閥 , 楔式閘板式,。本類閥門在管道中一般應(yīng)當(dāng)水平安裝,。閘閥關(guān)閉時(shí) , 密封面可以只依靠介質(zhì)壓力來(lái)密封 ,...
微泰,傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng),。它充當(dāng)將位于工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的溝槽。此外,,它極大限度地減少了由于閘板打開(kāi)和關(guān)閉造成的真空壓力變化,,使腔室內(nèi)的真空壓力得以維持。負(fù)責(zé)門控半導(dǎo)體晶圓轉(zhuǎn)移的傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥分為兩種類型:I型和L型? Product Range : 32 x 222 / 46 x 236 ,,50 x 336 / 56 x 500 ,,? Cycles of first service : 1,000,000 ? Response Time : 2sec ? Customer Specified F...
水電站作為重要的可再生能源設(shè)施,,主要通過(guò)水流驅(qū)動(dòng)發(fā)電機(jī)來(lái)生成電能。在水電站的設(shè)計(jì)和運(yùn)行中,,各類閥門至關(guān)重要,,它們?cè)谒鞯目刂啤⒄{(diào)節(jié)和安全保護(hù)中發(fā)揮著關(guān)鍵作用,。本文將探討水電站中常用的幾種閥門及其功能,。1.閘閥是水電站中常用的閥門之一,主要用于截?cái)嗷蜻B接管道流體,。由于其流體阻力較小,,流通能力強(qiáng),因此在水電站的進(jìn)水和出水管道中廣泛應(yīng)用,。閘閥基本上適用于全開(kāi)或全關(guān)狀態(tài),,不適合調(diào)節(jié)流量,通常用于需要徹底封閉的場(chǎng)合,。2.球閥因其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,、密封性好、流體阻力小而受到青睞,。它的開(kāi)關(guān)速度快,,通常用于需要快速啟閉的場(chǎng)合。在水電站中,,球閥常用于水流的控制和分配,。高質(zhì)量的不銹鋼球閥可用于輸送清水和某些化學(xué)介質(zhì)。閘閥...
微泰的傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體 PVD CVD 設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng),,起著將工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的關(guān)鍵作用,,就像一條溝槽。這些閥門能極大程度地減少閘板開(kāi)閉時(shí)造成的真空壓力變化,,使腔室內(nèi)的真空壓力得以穩(wěn)定維持,。負(fù)責(zé)門控半導(dǎo)體晶圓轉(zhuǎn)移的傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥分為 I 型和 L 型兩種。其產(chǎn)品范圍包括多種尺寸規(guī)格,,如 32 x 222,、46 x 236、50 x 336、56 x 500 等,。維護(hù)前使用周期可達(dá) 100 萬(wàn)次,,響應(yīng)時(shí)間為 2 秒,并可根據(jù)客戶要求定制法蘭,。這些轉(zhuǎn)移閥產(chǎn)品有鋁制或不銹鋼制兩種,,用于傳輸晶圓小于 450 毫米的半導(dǎo)體系統(tǒng)和...
閘閥是啟閉件(閘板),由閥桿帶動(dòng),,沿閥座(密封面)做直線升降運(yùn)動(dòng)的閥門,。一般,閘閥不可用來(lái)調(diào)節(jié)流量,,只能作為截?cái)嘌b置使用,,要么完全開(kāi)啟,要么完全關(guān)閉,。在各種類型的閥門中,,閘閥是應(yīng)用很多的一種。既適用于常溫和常壓工況,,也適用于高溫及低溫和高壓及低壓工況,,并可以通過(guò)選用不同的材質(zhì),適用于各種不同的介質(zhì)中,。閘閥具有如下優(yōu)點(diǎn):①流體阻力小,。閘閥閥體內(nèi)部介質(zhì)通道是直通的,介質(zhì)流經(jīng)閘閥時(shí)不改變其流動(dòng)方向,,因而流體阻力較小,。②結(jié)構(gòu)長(zhǎng)度(與管道相連接的兩端面間的距離)較小。由于閘板呈圓盤狀,,是垂直置于閥體內(nèi)的,,而截止閥閥瓣(也呈圓盤狀)是平行置于閥體內(nèi)的,因而與截止閥相比,,其結(jié)構(gòu)長(zhǎng)度較小,。如PN16、DN15...
微泰,傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng),。它充當(dāng)將位于工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的溝槽。此外,,它極大限度地減少了由于閘板打開(kāi)和關(guān)閉造成的真空壓力變化,,使腔室內(nèi)的真空壓力得以維持。負(fù)責(zé)門控半導(dǎo)體晶圓轉(zhuǎn)移的傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥分為兩種類型:I型和L型? Product Range : 32 x 222 / 46 x 236 ,50 x 336 / 56 x 500 ,,? Cycles of first service : 1,000,000 ? Response Time : 2sec ? Customer Specified F...
微泰半導(dǎo)體閘閥具有諸多特點(diǎn):其閥門驅(qū)動(dòng)部分的所有滾子和軸承都經(jīng)過(guò)精心防護(hù)處理,,形成屏蔽和保護(hù)環(huán)(Shield Blocker 和 Protection Ring),通過(guò)三重預(yù)防方式有效切斷粉末(Powder),,從而延長(zhǎng)閥門驅(qū)動(dòng)及使用壽命,。該閘閥采用的三重預(yù)防驅(qū)動(dòng)方式中的 Shield 功能,能夠出色地防止氣體和粉末侵入閥體內(nèi)部,,同時(shí)具備三重保護(hù)驅(qū)動(dòng)保護(hù)環(huán),,可延長(zhǎng) GV 壽命的 Shield 方法,并已供應(yīng)給海外半導(dǎo)體 T 公司,、M 公司和 I 公司的 Utility 設(shè)備,。此外,擋板與閥體之間的距離小于 1mm,,能夠強(qiáng)力阻擋內(nèi)部粉末和氣體的流入,,屏蔽擋板采用 1.5t AL 材料制成,充分考慮...
微泰半導(dǎo)體閘閥的特點(diǎn),,首先介紹一下起三重保護(hù)的保護(hù)環(huán)機(jī)能,,采用鋁質(zhì)材料減少重量,并提高保護(hù)環(huán)的內(nèi)部粗糙度,,防止工程副產(chǎn)物堆積黏附,。提升保護(hù)環(huán)內(nèi)部流速設(shè)計(jì),保護(hù)環(huán)逐步收窄,,提升流速,,防止粉塵黏附。采用三元系O型圈,,保證保護(hù)環(huán)驅(qū)動(dòng)穩(wěn)定(保證30萬(wàn)次驅(qū)動(dòng)),。微泰半導(dǎo)體閘閥應(yīng)用于? Evaporation(蒸發(fā))? Sputtering(濺射)? Diamond growth by MW-PACVD(通過(guò)MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石)? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)(集群、卷對(duì)卷)? Coating(涂層)? Etch(蝕刻)? Diffusion(擴(kuò)散)?CVD(化學(xué)...
微泰高壓閘閥可以應(yīng)用于多種設(shè)備,,如蒸發(fā),、濺射、金剛石生長(zhǎng),、PECV,、PVD集群、卷對(duì)卷,、涂層,、蝕刻、擴(kuò)散和CVD等。它具有陶瓷球機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒和易于維護(hù)等特點(diǎn),,可替代VAT閘閥,。該閥門的規(guī)格包括手動(dòng)或氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式、1.5英寸至14英寸的法蘭尺寸,、CF法蘭類型,、焊接波紋管連接方式、氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM閥門密封,、氟橡膠O型圈閥蓋密封,、≤2秒響應(yīng)時(shí)間、1.5?至6?的操作壓力范圍為1×10-10 mbar至1400 mbar,,8?至14?的操作壓力范圍為1×10-10 mbar至1200 mbar,、≤30 mbar的開(kāi)始時(shí)壓差、≤1400 mbar的6?以下閘門差動(dòng)壓力和≤...
微泰主要產(chǎn)品有1,、-手動(dòng)鎖定閥:操作鎖定按鈕關(guān)閉正在抽吸中的切斷閥門切斷現(xiàn)象的源頭:2,、特殊閥門:全金屬配件構(gòu)成,由電磁閥+傳感器+D-Sub+角閥組成,;3,、三位閥:半開(kāi)功能的壓力控制閥。氣動(dòng)閘閥:?產(chǎn)品范圍:1.5~30英寸?高壓/超高壓都可用?維護(hù)前可用次數(shù):25萬(wàn)次?響應(yīng)時(shí)間:0.2秒~3秒,;手動(dòng)(鎖定)閘閥?產(chǎn)品范圍:1.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護(hù)前可用次數(shù):25萬(wàn)次,;專門用閘閥:產(chǎn)品范圍:1.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護(hù)前可用次數(shù):25萬(wàn)次,響應(yīng)時(shí)間:0.2秒客戶指定的法蘭,,可安裝角閥,;三位閘閥:產(chǎn)品范圍:2.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護(hù)前可用次數(shù):2...
微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,控制系統(tǒng)閘閥,,控制閘閥,、控制系統(tǒng)插板閥、控制系統(tǒng)閘閥具有可隔離的閘閥,,以滑動(dòng)方式操作,,可以在高真空環(huán)境中實(shí)現(xiàn)精確的壓力控制。如半導(dǎo)體等高真空工藝應(yīng)用,??刂葡到y(tǒng)閘閥是自動(dòng)控制到用戶指定的值,通過(guò)控制器和步進(jìn)電機(jī)保持一致的真空壓力,。微泰半導(dǎo)體閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation(蒸發(fā)),、Sputtering(濺射)、Diamond growth by MW-PACVD(通過(guò) MW-PACVD 生長(zhǎng)金剛石),、PECV,、PVD(Cluster,Roll to Roll)(集群,、卷對(duì)卷),、Coating(涂層),、Etch(蝕刻)、Diffusion(擴(kuò)散)...
微泰控制系統(tǒng)閥門是安裝在半導(dǎo)體CVD設(shè)備中的主要閥門,??刂葡到y(tǒng)閥門起到調(diào)節(jié)腔內(nèi)壓力的作用,通過(guò)控制系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)節(jié)閘板的開(kāi)啟和關(guān)閉,。精確控制腔內(nèi)壓力的閥門分為三類:控制系統(tǒng)閘閥,、蝶閥、多定位閘閥,??刂葡到y(tǒng)和蝶閥使用步進(jìn)電機(jī)操作,而多定位閘閥使用氣動(dòng)控制操作,。一,、控制系統(tǒng)閘閥??刂葡到y(tǒng)閘閥具有可隔離的閘閥,,以滑動(dòng)方式操作,可以在高真空環(huán)境中實(shí)現(xiàn)精確的壓力控制,。如半導(dǎo)體等高真空工藝應(yīng)用,。控制系統(tǒng)閘閥是自動(dòng)控制到用戶指定的值,,通過(guò)控制器和步進(jìn)電機(jī)保持一致的真空壓力,。二、蝶閥,。該蝶閥具有緊湊的設(shè)計(jì)和堅(jiān)固的不銹鋼結(jié)構(gòu),,通過(guò)閘板旋轉(zhuǎn)操作。蝶閥可以實(shí)現(xiàn)精確的壓力控制和低真空環(huán)境,。例如半導(dǎo)體和工業(yè)過(guò)程,。蝶閥通過(guò)控...
微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥蝶閥Butterfly Valve。該蝶閥具有緊湊的設(shè)計(jì)和堅(jiān)固的不銹鋼結(jié)構(gòu),,通過(guò)閘板旋轉(zhuǎn)操作,。蝶閥可以實(shí)現(xiàn)精確的壓力控制和低真空環(huán)境。例如半導(dǎo)體和工業(yè)過(guò)程,。蝶閥通過(guò)控制器和步進(jìn)電機(jī)自動(dòng)控制到用戶指定的值,,保持一致的真空壓力??梢栽诟哒婵窄h(huán)境中實(shí)現(xiàn)精確的壓力控制,。如半導(dǎo)體等高真空工藝應(yīng)用,。控制系統(tǒng)閘閥是自動(dòng)控制到用戶指定的值,,通過(guò)控制器和步進(jìn)電機(jī)保持一致的真空壓力,。微泰半導(dǎo)體閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation(蒸發(fā))、Sputtering(濺射),、Diamond growth by MW-PACVD(通過(guò) MW-PACVD 生長(zhǎng)金剛石),、PECV、...
微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,,步進(jìn)電機(jī)插板閥Stepper Motor Gate Valve,,-產(chǎn)品范圍:2.5“~10”-壓力控制-使用步進(jìn)電機(jī)Stepper Motor GV,- Product Range : 2.5” ~ 10”- Pressure Controlled- Using Stepper Motor,用步進(jìn)電機(jī)/控制器操作閥門-通過(guò)步進(jìn)電機(jī)/控制器精確控制閥門的壓力-根據(jù)產(chǎn)品的不同,,控制器可以安裝在客戶需要的地方,,微泰,步進(jìn)電機(jī)插板閥應(yīng)用于? Evaporation(蒸發(fā))? Sputtering(濺射)? Diamond growth by MW-PACVD...
微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,,鋁閘閥(AL Gate Valve)-產(chǎn)品范圍:1.5英寸~10英寸-12英寸可生產(chǎn)的產(chǎn)品尺寸,,閥體材料:鋁、氣動(dòng),、緊湊設(shè)計(jì),、重量輕。閘門,,閥蓋密封:Viton O-Ring使用次數(shù):100000次,,易于維護(hù),低顆粒(陶瓷球機(jī)構(gòu)),。- Body Material : Aluminum - Pneumatic - Compact Design- Light of weight - Gate, Bonnet Seal : Viton O-Ring - Cycles until first service : 100,000 - Easy Mainten...
微泰,,專門用閘閥應(yīng)用于? Evaporation? Sputtering? Diamond growth by MW-PACVD? PECV? PVD? Coating? Etch? Diffusion(擴(kuò)散)?CVD等設(shè)備上??商娲鶹AT閘閥,。期特點(diǎn)是*使用維修配件工具包易于維護(hù)*將電磁閥和位置傳感器連接到15針D-Sub*鎖定功能*限位開(kāi)關(guān)*?速度控制器&電磁閥(2Port+N2Port)用不銹鋼管連接(φ6)*應(yīng)用:泵隔離,產(chǎn)品工藝水平要求高的地方。專門用閘閥規(guī)格如下:驅(qū)動(dòng)方式:氣動(dòng),、法蘭尺寸:4英寸~ 8英寸,、法蘭類型:ISO, JIS, ASA, CF、連接方式:焊接波紋管,、閥門...