微泰半導(dǎo)體閘閥的特點(diǎn)：閥門驅(qū)動(dòng)部分的所有滾子和軸承都進(jìn)行了防護(hù)處理，形成屏蔽和保護(hù)環(huán)（Shield Blocker 和 Protection Ring）用三重預(yù)防方式切斷粉末（Powder），延長(zhǎng)閥門驅(qū)動(dòng)和使用壽命,。三重預(yù)防驅(qū)動(dòng)方式的Shield功能可防止氣體和粉末侵入閥體內(nèi)部,，有三重保護(hù)驅(qū)動(dòng)保護(hù)環(huán)，長(zhǎng)久延長(zhǎng)GV壽命的Shield方法-供應(yīng)給海外半導(dǎo)體T公司,、M公司和I公司Utility設(shè)備,。擋板與閥體的距離小于1mm,，阻擋內(nèi)部粉末和氣體的流入,，屏蔽擋板是采用1.5 t AL材料,，考慮了復(fù)原力，并采用Viton粉末熱壓制成,。三重保護(hù)保護(hù)環(huán)的主要功能說(shuō)明-AL材料的重量減輕和保護(hù)環(huán)內(nèi)部照明的改善-保護(hù)環(huán)內(nèi)部流速的增加-三元環(huán)應(yīng)用確保驅(qū)動(dòng)性能,。高壓閘閥結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制造和維修比較方便,。工作行程小,，啟閉時(shí)間短。密封性好,，密封面間磨擦力小,，壽命較長(zhǎng)。多定位閘閥ALUMINUM GATE VALVE

微泰半導(dǎo)體閘閥具有獨(dú)特的三重保護(hù)保護(hù)環(huán)機(jī)能：采用鋁質(zhì)材料,，減輕重量的同時(shí)提高保護(hù)環(huán)內(nèi)部粗糙度,，有效防止工程副產(chǎn)物的堆積黏附；通過(guò)提升保護(hù)環(huán)內(nèi)部流速設(shè)計(jì),，且保護(hù)環(huán)逐步收窄，進(jìn)一步提升流速,，防止粉塵黏附,；采用三元系 O 型圈，確保保護(hù)環(huán)驅(qū)動(dòng)穩(wěn)定,，可保證 30 萬(wàn)次驅(qū)動(dòng),。該閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）、Sputtering（濺射）,、Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò) MW-PACVD 生長(zhǎng)金剛石）,、PECV、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對(duì)卷）,、Coating（涂層）、Etch（蝕刻）,、Diffusion（擴(kuò)散）,、CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上，能夠替代 HVA 閘閥,、VAT 閘閥,。此閘閥由上海安宇泰環(huán)保科技有限公司提供。手動(dòng)閘閥AKT當(dāng)真空閥打開時(shí),，閘門移出流路,，使氣體以高電導(dǎo)率通過(guò)。

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，鋁閘閥（AL Gate Valve）-產(chǎn)品范圍：1.5英寸~10英寸-12英寸可生產(chǎn)的產(chǎn)品尺寸,，閥體材料：鋁、氣動(dòng),、緊湊設(shè)計(jì),、重量輕。閘門,，閥蓋密封：Viton O-Ring使用次數(shù)：100000次,，易于維護(hù)，低顆粒（陶瓷球機(jī)構(gòu)）,。- Body Material : Aluminum  - Pneumatic - Compact Design- Light of weight - Gate, Bonnet Seal : Viton O-Ring - Cycles until first service : 100,000 - Easy Maintenance - Low Particle (Ceramic Ball Mechanism),，微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥有中國(guó)臺(tái)灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī)，可替代HVA閘閥,、VAT閘閥,。

微泰，蝶閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò)MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對(duì)卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,。可替代VAT閘閥,。微泰蝶閥其特點(diǎn)是? 主體材料：鋁或不銹鋼? 緊湊型設(shè)計(jì)? 高性能集成控制器? 使用維修零件套件輕松維護(hù)? 應(yīng)用：半導(dǎo)體和工業(yè)過(guò)程的壓力控制,。蝶閥規(guī)格如下：法蘭尺寸(內(nèi)徑)：DN40、DN50,、饋通：旋轉(zhuǎn)饋通,、閥門密封：FKM（VITON）、執(zhí)行器：步進(jìn)電機(jī),、壓力范圍：1×10-8 mbar to 1200 mbar ,、開啟壓差：≤ 30 mbar、開啟壓差≤30mbar,、氦泄漏率1X10 -9Mbar/秒,、維護(hù)前可用次數(shù)：250,000次,、閥體溫度≤ 150 °、控制器≤ 35 °C,、材料：閥體STS304/機(jī)制STS304,、安裝位置：任意、接口：RS232,、RS485,、Devicenet、Profibus,、EtherCat,。有中國(guó)臺(tái)灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī)，上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰?。真空閘閥廣泛應(yīng)用于各個(gè)行業(yè)，包括半導(dǎo)體制造,、研發(fā),、分析類儀器和真空鍍膜。

微泰,，超高壓閘閥應(yīng)用于? Evaporation? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò)MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對(duì)卷）? Coating（涂層）? 蝕刻? Diffusion?CVD等設(shè)備上。期特點(diǎn)是*陶瓷球機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒*使用維修配件工具包易于維護(hù)*應(yīng)用:研發(fā)和工業(yè)中的UHV隔離,。高壓閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動(dòng)方式：手動(dòng)或氣動(dòng)、法蘭尺寸：1.5英寸~ 12英寸,、法蘭類型：CF,、連接方式：焊接波紋管（AM350或STS316L）、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM,、閥蓋密封：銅墊圈,、響應(yīng)時(shí)間：≤ 2 sec、操作壓力范圍：1.5? ~ 6? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar,，8? ~ 14? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar ,、開始時(shí)的壓差：≤ 30 mbar、閘門的差動(dòng)壓力：1.5? ~ 6? : ≤ 1400 mbar / 8? ~ 14? ≤ 1200 mbar,、泄漏率：< 1×10 -10 Mbar/秒,、初次維護(hù)前可用次數(shù)：200,000次、閥體溫度≤ 200 °、CTemperature for Actuator≤ 150 °C,、烤爐溫度≤ 200 °C,、材料：閥體(不銹鋼304或316L)/驅(qū)動(dòng)器(鋁6061陽(yáng)極氧化)、安裝位置：任意,、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar,。有中國(guó)臺(tái)灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī)。閘閥的結(jié)構(gòu)緊湊,，閥門剛性好,，通道流暢，流阻數(shù)小,，密封面采用不銹鋼和硬質(zhì)合金,，使用壽命長(zhǎng)。手動(dòng)閘閥AKT

金屬材料高壓閘閥主要有：碳鋼閥門,、合金鋼閥門,、不銹鋼閥門、鑄鐵閥門,、鈦合金閥門,、銅合金閥門等。多定位閘閥ALUMINUM GATE VALVE

微泰半導(dǎo)體閘閥具有諸多特點(diǎn)：其閥門驅(qū)動(dòng)部分的所有滾子和軸承都經(jīng)過(guò)精心防護(hù)處理,，形成屏蔽和保護(hù)環(huán)（Shield Blocker 和 Protection Ring）,，通過(guò)三重預(yù)防方式有效切斷粉末（Powder），從而延長(zhǎng)閥門驅(qū)動(dòng)及使用壽命,。該閘閥采用的三重預(yù)防驅(qū)動(dòng)方式中的 Shield 功能,，能夠出色地防止氣體和粉末侵入閥體內(nèi)部，同時(shí)具備三重保護(hù)驅(qū)動(dòng)保護(hù)環(huán),，可延長(zhǎng) GV 壽命的 Shield 方法,，并已供應(yīng)給海外半導(dǎo)體 T 公司、M 公司和 I 公司的 Utility 設(shè)備,。此外,，擋板與閥體之間的距離小于 1mm，能夠強(qiáng)力阻擋內(nèi)部粉末和氣體的流入,，屏蔽擋板采用 1.5t AL 材料制成,，充分考慮了其復(fù)原力,，并通過(guò) Viton 粉末熱壓工藝制成。而三重保護(hù)保護(hù)環(huán)的主要功能則包括：AL 材料的重量減輕和保護(hù)環(huán)內(nèi)部照明的改善,、保護(hù)環(huán)內(nèi)部流速的增加以及三元環(huán)的應(yīng)用確保了驅(qū)動(dòng)性能的提升,。多定位閘閥ALUMINUM GATE VALVE