微泰,，大閘閥、大型閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過(guò)MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對(duì)卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,。可替代VAT閘閥,。微泰大閘閥,、大型閘閥其特點(diǎn)是*陶瓷球機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒*使用維修配件工具包易于維護(hù)*應(yīng)用:用于研發(fā)和工業(yè)的隔離閥。大閘閥,、大型閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動(dòng)方式：氣動(dòng),、法蘭尺寸（內(nèi)徑）：16? ~ 30?、 法蘭型：ISO,、JIS、ASA ,、饋通：Viton O-Rin,、閥門(mén)密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM、閥蓋密封：氟橡膠O型圈、響應(yīng)時(shí)間：可調(diào)節(jié),、工作壓力范圍：1×10-8 mbar to 1000 mbar ,、維護(hù)前可用次數(shù)：10,000 ~ 100,000次,、開(kāi)啟時(shí)壓差 ≤ 30 mba、泄漏率 < 1×10 -9  mbar ?/sec,、閥體溫度≤ 150 °、機(jī)構(gòu)溫度≤ 80 °C,、烤爐溫度≤ 150 °C、材料：閥體(不銹鋼304或316L)/驅(qū)動(dòng)器(鋁6061陽(yáng)極氧化)、安裝位置：任意,、操作壓力(N2)：6~ 8 bar,。有中國(guó)臺(tái)灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī),，上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰?。 在機(jī)組的給水,、主汽、凝結(jié)水,、抽汽、空氣,、循環(huán)冷卻水、軸冷水等系統(tǒng)中,，均安裝有許多閘閥,。隔離閘閥I型轉(zhuǎn)移閥

半導(dǎo)體真空插板閥是一種用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中的真空系統(tǒng)的閥門(mén),，主要作用是控制氣體的流動(dòng),，以維持真空環(huán)境的穩(wěn)定,。微泰半導(dǎo)體真空腔體用閘閥（插板閥）其特點(diǎn)包括：1. 高密封性：采用特殊的密封結(jié)構(gòu)，能夠有效地防止氣體泄漏,，保證真空系統(tǒng)的密封性,。2. 耐腐蝕性：材料具有良好的耐腐蝕性,，能夠在半導(dǎo)體制造過(guò)程中的化學(xué)物質(zhì)環(huán)境中穩(wěn)定工作,。3. 高精度：能夠精確地控制氣體的流量,，滿(mǎn)足半導(dǎo)體制造工藝對(duì)精度的要求,。4. 快速響應(yīng)：可以快速地開(kāi)啟和關(guān)閉,，以適應(yīng)半導(dǎo)體制造過(guò)程中的快速氣體控制需求,。5. 可靠性高：設(shè)計(jì)和制造過(guò)程嚴(yán)格,，保證了其在長(zhǎng)期使用中的可靠性和穩(wěn)定性。有中國(guó)臺(tái)灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī),。該閘閥由上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰咎峁HV閘閥BUTTERFLY VALVE閘閥按閘板結(jié)構(gòu)形式分為單閘板和雙閘板兩種,。

微泰轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門(mén)系統(tǒng),。它充當(dāng)將位于工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的溝槽。此外,，它極大限度地減少了由于閘板打開(kāi)和關(guān)閉造成的真空壓力變化,，使腔室內(nèi)的真空壓力得以維持。負(fù)責(zé)門(mén)控半導(dǎo)體晶圓轉(zhuǎn)移的轉(zhuǎn)移閥分為兩種類(lèi)型:I型和L型,。一,、I型轉(zhuǎn)移閥。I型轉(zhuǎn)移閥產(chǎn)品由鋁或不銹鋼制成,，用于傳輸晶圓小于450毫米的半導(dǎo)體系統(tǒng)和隔離工藝室,。本型的特點(diǎn)是葉片在垂直方向上快速移動(dòng)，確保完美的腔室壓力維持,。它采用具有LM導(dǎo)向系統(tǒng)和單連桿的內(nèi)部機(jī)構(gòu),，保證高耐用性和長(zhǎng)壽命,。二、L型轉(zhuǎn)移閥,。L型轉(zhuǎn)移閥產(chǎn)品由鋁或不銹鋼制造,，其特點(diǎn)是設(shè)計(jì)緊湊，易于維護(hù),。L型轉(zhuǎn)移閥的特點(diǎn)是閘門(mén)在兩個(gè)階段從垂直到水平方向移動(dòng),，確保完美的腔室壓力維護(hù)。它的內(nèi)部機(jī)構(gòu),，包括一個(gè)LM導(dǎo)向系統(tǒng)和滯留彈簧和楔形營(yíng)地結(jié)構(gòu),，保證了高耐用性和長(zhǎng)壽命，同時(shí)提供穩(wěn)定和精確的運(yùn)動(dòng),。I型和L型轉(zhuǎn)移閥在在閘門(mén)開(kāi)啟和關(guān)閉過(guò)程中極大限度地減少了振動(dòng)，并且對(duì)溫度變化非常穩(wěn)定,，確保了較長(zhǎng)的使用壽命,。此外，即使長(zhǎng)時(shí)間使用柵極,，它們產(chǎn)生的顆粒也很少,，從而避免了晶圓缺陷或主器件的污染。微泰不斷創(chuàng)新,，在開(kāi)發(fā)先進(jìn)的壓力控制和控制閥制造專(zhuān)業(yè)從事真空閘閥不懈努力,。

微泰,傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門(mén)系統(tǒng)。它充當(dāng)將位于工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的溝槽,。I型和L型轉(zhuǎn)移閥是用于半導(dǎo)體PVD CVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門(mén)系統(tǒng)。它們的作用是將位于工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的溝槽,，并極大限度地減少由于閘板打開(kāi)和關(guān)閉造成的真空壓力變化,，以維持腔室內(nèi)的真空壓力。I型轉(zhuǎn)移閥由鋁或不銹鋼制成,，用于傳輸晶圓小于450毫米的半導(dǎo)體系統(tǒng)和隔離工藝室,。其特點(diǎn)是葉片在垂直方向上快速移動(dòng),，以確保完美的腔室壓力維持,。而L型轉(zhuǎn)移閥也由鋁或不銹鋼制造,，其特點(diǎn)是設(shè)計(jì)緊湊,，易于維護(hù),。L型轉(zhuǎn)移閥的閘門(mén)在兩個(gè)階段從垂直到水平方向移動(dòng)，以確保完美的腔室壓力維護(hù)。這兩種類(lèi)型的轉(zhuǎn)移閥都具有高耐用性和長(zhǎng)壽命的優(yōu)點(diǎn),，并且在閘門(mén)開(kāi)啟和關(guān)閉過(guò)程中極大限度地減少了振動(dòng),，對(duì)溫度變化也非常穩(wěn)定,，以確保較長(zhǎng)的使用壽命。如果您需要了解更多關(guān)于微泰傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥的信息,，請(qǐng)聯(lián)系上海安宇泰環(huán)保科技有限公司,。真空閘閥廣泛應(yīng)用于各種真空系統(tǒng)和工藝過(guò)程中,，如半導(dǎo)體生產(chǎn),、電子設(shè)備制造,、科研實(shí)驗(yàn),、航空航天等領(lǐng)域,。

微泰,，定制大型轉(zhuǎn)移閥,，定制大型輸送閥,，?應(yīng)用：大型涂層系統(tǒng),。定制大型轉(zhuǎn)移閥,，定制大型輸送閥規(guī)格如下：驅(qū)動(dòng)方式：氣動(dòng),、法蘭尺寸：（內(nèi)徑）80×500,、（內(nèi)徑）100×400,、（內(nèi)徑）200×1800、（內(nèi)徑）650×1050等法蘭類(lèi)型：定制,、饋通焊接波紋管/O形密封圈、閥門(mén)密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM,、閥蓋密封：氟橡膠O型圈,、響應(yīng)時(shí)間：≤ 2 sec、操作壓力范圍：1×10-10 mbar to 1400 mbar ,、開(kāi)始時(shí)的壓差：≤ 30 mbar,、閘門(mén)上的壓差≤1000 mbar、泄漏率：泄漏率< 5×10 -9 Mbar/秒,、維護(hù)前可用次數(shù)：10,000 ~ 200,000次,、閥體溫度≤ 200 °、機(jī)構(gòu)溫度≤ 80 °C,、烤爐溫度≤ 150 °C,、材料：材料：不銹鋼304、A5083~A7075,、安裝位置：任意,、操作壓力(N2)：6 ~ 8 bar。有中國(guó)臺(tái)灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī)，上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰?。用真空閘閥時(shí)，應(yīng)考慮與工藝氣體的兼容性,、工作壓力范圍,、循環(huán)速度和維護(hù)要求等因素。隔離閘閥I型轉(zhuǎn)移閥

閘閥的結(jié)構(gòu)比較簡(jiǎn)單,，一般由閥體,、閥座、閥桿,、閘板,、閥蓋、密封圈幾部分組成,。隔離閘閥I型轉(zhuǎn)移閥

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，這里介紹一下閥門(mén)控制器-主控制器（Valve Controller Introduction）1英寸和2英寸 / 3英寸和4英寸-本地控制器1英寸和2英寸 / 3英寸和4英寸 -遙控器1英寸和2英寸 / 3英寸和4英寸。1,，開(kāi)放/關(guān)閉速度LCD顯示,；2，當(dāng)閥門(mén)或泵錯(cuò)誤時(shí),，燈點(diǎn)亮：3,，自動(dòng)關(guān)閉功能-防止泵跳閘中的逆流；4,，有閥門(mén)開(kāi)關(guān)位置的信號(hào)輸出信號(hào),；5，鎖定功能-本地/遙控器在解鎖后進(jìn)行快速操作,；6,，無(wú)噪音，功耗低,；7,，歷史管理-打開(kāi)/關(guān)閉/泵關(guān)閉等；8,，UPS功能（1秒），微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，有中國(guó)臺(tái)灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來(lái)西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī),，可替代HVA閘閥,、VAT閘閥。隔離閘閥I型轉(zhuǎn)移閥