微泰,，鋁閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對(duì)卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,。期特點(diǎn)是*不論什么工藝的設(shè)備都可以使用*由半永久性陶瓷球和彈簧組成*應(yīng)用:隔離泵,。鋁閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動(dòng)方式：手動(dòng)、法蘭尺寸：1.5英寸~ 10英寸,、閥體：AL6061 (Anodizing),、機(jī)械裝置：AL6061 (Anodizing),、閥門：O型圈(VITON)、真空密封：O型圈(VITON),、響應(yīng)時(shí)間≤ 3 sec,、驅(qū)動(dòng)器：氣缸、操作泄漏率< 1×10-10 mbar ?/sec,、壓力范圍：< 1×10-10 mbar ?/sec,、開始時(shí)的壓差：≤ 30 mbar、初次維護(hù)前可用次數(shù)100,000次,、閥體溫度≤ 120 °執(zhí)行機(jī)構(gòu)溫度≤ 60 °C,、安裝位置：任意、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar,。有中國(guó)臺(tái)灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī),。可替代VAT閥門,。真空閘閥是真空系統(tǒng)中用于控制氣體進(jìn)出真空室的機(jī)械裝置。加熱閘閥I型轉(zhuǎn)移閥

微泰,傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng)。它充當(dāng)將位于工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的溝槽,。I型和L型轉(zhuǎn)移閥是用于半導(dǎo)體PVD CVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng),。它們的作用是將位于工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的溝槽,，并極大限度地減少由于閘板打開和關(guān)閉造成的真空壓力變化，以維持腔室內(nèi)的真空壓力,。I型轉(zhuǎn)移閥由鋁或不銹鋼制成,，用于傳輸晶圓小于450毫米的半導(dǎo)體系統(tǒng)和隔離工藝室,。其特點(diǎn)是葉片在垂直方向上快速移動(dòng),，以確保完美的腔室壓力維持,。而L型轉(zhuǎn)移閥也由鋁或不銹鋼制造，其特點(diǎn)是設(shè)計(jì)緊湊,，易于維護(hù),。L型轉(zhuǎn)移閥的閘門在兩個(gè)階段從垂直到水平方向移動(dòng)，以確保完美的腔室壓力維護(hù),。這兩種類型的轉(zhuǎn)移閥都具有高耐用性和長(zhǎng)壽命的優(yōu)點(diǎn),，并且在閘門開啟和關(guān)閉過程中極大限度地減少了振動(dòng),，對(duì)溫度變化也非常穩(wěn)定，以確保較長(zhǎng)的使用壽命,。如果您需要了解更多關(guān)于微泰傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥的信息,，請(qǐng)聯(lián)系上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰?。多定位閘閥Micron真空閘閥由一個(gè)滑動(dòng)門或板組成，可以移動(dòng)以阻止或允許通過真空閥體,，從而有效地將腔室與外部環(huán)境隔離。

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥，應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對(duì)卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,。這節(jié)介紹加熱閘閥、加熱式閘閥護(hù)套,、加熱器插入式閥門,。帶加熱器閘閥,，加熱器插入閘閥：產(chǎn)品范圍：2~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護(hù)前可用次數(shù)：20萬次?響應(yīng)時(shí)間：0.2秒~3秒,；客戶指定法蘭，加熱溫度：450℃,；蝶形閥；蝶閥：產(chǎn)品范圍：DN40、DN50隔離?泄漏率：1.0E-9mbar·l/秒,；有中國(guó)臺(tái)灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī),，可替代HVA閘閥,、VAT閘閥,。上海安宇泰環(huán)保科技有限公司

微泰的傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體 PVD CVD 設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng),，起著將工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的關(guān)鍵作用,，就像一條溝槽。這些閥門能極大程度地減少閘板開閉時(shí)造成的真空壓力變化,，使腔室內(nèi)的真空壓力得以穩(wěn)定維持,。負(fù)責(zé)門控半導(dǎo)體晶圓轉(zhuǎn)移的傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥,、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥分為 I 型和 L 型兩種。其產(chǎn)品范圍包括多種尺寸規(guī)格,，如 32 x 222,、46 x 236、50 x 336,、56 x 500 等,。維護(hù)前使用周期可達(dá) 100 萬次，響應(yīng)時(shí)間為 2 秒,，并可根據(jù)客戶要求定制法蘭,。這些轉(zhuǎn)移閥產(chǎn)品有鋁制或不銹鋼制兩種,，用于傳輸晶圓小于 450 毫米的半導(dǎo)體系統(tǒng)和隔離工藝室,。I 型的特點(diǎn)是葉片能在垂直方向上快速移動(dòng)，保證腔室壓力完美維持,，它采用具有 LM 導(dǎo)向系統(tǒng)和單連桿的內(nèi)部機(jī)構(gòu),，確保高耐用性和長(zhǎng)壽命。L 型轉(zhuǎn)移閥產(chǎn)品則設(shè)計(jì)緊湊，易于維護(hù),。I 型和 L 型轉(zhuǎn)移閥在閘門開啟和關(guān)閉過程中能極大限度地減少振動(dòng)，且對(duì)溫度變化非常穩(wěn)定,，能確保較長(zhǎng)的使用壽命。此外,，它們即使長(zhǎng)時(shí)間使用，產(chǎn)生的顆粒也很少,，能避免晶圓缺陷和主器件污染。微泰不斷創(chuàng)新,，在壓力控制和控制閥制造方面持續(xù)努力，專注于真空閘閥的研發(fā),。為了避免在顆粒敏感應(yīng)用中產(chǎn)生顆粒，滑動(dòng)閘門機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)旨在避免閥殼處的摩擦,。

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，鋁閘閥（AL Gate Valve）-產(chǎn)品范圍：1.5英寸~10英寸-12英寸可生產(chǎn)的產(chǎn)品尺寸,，閥體材料：鋁、氣動(dòng),、緊湊設(shè)計(jì),、重量輕。閘門,，閥蓋密封：Viton O-Ring使用次數(shù)：100000次,，易于維護(hù),，低顆粒（陶瓷球機(jī)構(gòu)）。- Body Material : Aluminum  - Pneumatic - Compact Design- Light of weight - Gate, Bonnet Seal : Viton O-Ring - Cycles until first service : 100,000 - Easy Maintenance - Low Particle (Ceramic Ball Mechanism),，微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥有中國(guó)臺(tái)灣Micron,、UMC、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績(jī)，可替代HVA閘閥,、VAT閘閥,。閘閥啟閉時(shí)較省力。是與截止閥相比而言,，因?yàn)闊o論是開或閉,，閘板運(yùn)動(dòng)方向均與介質(zhì)流動(dòng)方向相垂直。三防閘閥蝶形控制閥

真空閘閥的密封裝置確保關(guān)閉時(shí)的高真空完整性,，防止泄漏并維持腔室內(nèi)的真空壓力,。加熱閘閥I型轉(zhuǎn)移閥

微泰半導(dǎo)體閘閥的特點(diǎn)，首先介紹一下起三重保護(hù)的保護(hù)環(huán)機(jī)能,，采用鋁質(zhì)材料減少重量,，并提高保護(hù)環(huán)的內(nèi)部粗糙度，防止工程副產(chǎn)物堆積黏附,。提升保護(hù)環(huán)內(nèi)部流速設(shè)計(jì),，保護(hù)環(huán)逐步收窄，提升流速,，防止粉塵黏附,。采用三元系O型圈，保證保護(hù)環(huán)驅(qū)動(dòng)穩(wěn)定（保證30萬次驅(qū)動(dòng)）,。微泰半導(dǎo)體閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長(zhǎng)金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對(duì)卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上?？商娲鶫VA閘閥,、VAT閘閥。上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰?。加熱閘閥I型轉(zhuǎn)移閥