微泰，控制系統(tǒng)閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上。可替代VAT閘閥,。其特點(diǎn)是? 主體材質(zhì)：不銹鋼? 緊湊型設(shè)計? 帶步進(jìn)電機(jī)的集成壓力控制器? 應(yīng)用：需要壓力控制和隔離的地方?？刂葡到y(tǒng)閘閥規(guī)格如下：法蘭尺寸（ID）：1.5英寸~ 10英寸,、材料：閥體(STS304)/機(jī)構(gòu)STS304、STS420,、饋通：旋轉(zhuǎn)饋通,、執(zhí)行器：步進(jìn)電機(jī)、氦泄漏率1X10-9 mbar.l/sec,、壓力范圍：1×10-8 mbar to 1.4 bar,、閘門上的壓差≤1.4bar、維護(hù)前可用次數(shù)：100,000次,、閥體溫度≤ 150 °,、控制器≤35°C、安裝位置：任意,、接口RS232,、RS485、Devicenet,、Profibus,、EtherCat。有中國臺灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,，上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰尽ｉl閥的結(jié)構(gòu)緊湊,，閥門剛性好,，通道流暢，流阻數(shù)小，密封面采用不銹鋼和硬質(zhì)合金,，使用壽命長,。晶圓閘閥蝶形控制閥

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥蝶閥Butterfly Valve。該蝶閥具有緊湊的設(shè)計和堅固的不銹鋼結(jié)構(gòu),，通過閘板旋轉(zhuǎn)操作,。蝶閥可以實(shí)現(xiàn)精確的壓力控制和低真空環(huán)境。例如半導(dǎo)體和工業(yè)過程,。蝶閥通過控制器和步進(jìn)電機(jī)自動控制到用戶指定的值,，保持一致的真空壓力?？梢栽诟哒婵窄h(huán)境中實(shí)現(xiàn)精確的壓力控制,。如半導(dǎo)體等高真空工藝應(yīng)用?？刂葡到y(tǒng)閘閥是自動控制到用戶指定的值,，通過控制器和步進(jìn)電機(jī)保持一致的真空壓力。微泰半導(dǎo)體閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）,、Sputtering（濺射）,、Diamond growth by MW-PACVD（通過 MW-PACVD 生長金剛石）、PECV,、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）、Coating（涂層）,、Etch（蝕刻）,、Diffusion（擴(kuò)散）、CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,，可替代 HVA 閘閥,、VA T閘閥。有中國臺灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,。該閘閥由上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰咎峁＾D(zhuǎn)移閘閥ALUMINUM GATE VALVE在機(jī)組的給水,、主汽,、凝結(jié)水,、抽汽、空氣,、循環(huán)冷卻水,、軸冷水等系統(tǒng)中，均安裝有許多閘閥,。

微泰,傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng)。它充當(dāng)將位于工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的溝槽,。此外,，它極大限度地減少了由于閘板打開和關(guān)閉造成的真空壓力變化，使腔室內(nèi)的真空壓力得以維持,。負(fù)責(zé)門控半導(dǎo)體晶圓轉(zhuǎn)移的傳輸閥,、轉(zhuǎn)換閥、輸送閥,、轉(zhuǎn)移閥分為兩種類型:I型和L型? Product Range : 32 x 222 / 46 x 236 ,，50 x 336 / 56 x 500 ，? Cycles of first service : 1,000,000 ? Response Time : 2sec ? Customer Specified Flanges ,，轉(zhuǎn)移閥產(chǎn)品由鋁或不銹鋼制成,，用于傳輸晶圓小于450毫米的半導(dǎo)體系統(tǒng)和隔離工藝室。本型的特點(diǎn)是葉片在垂直方向上快速移動,，確保完美的腔室壓力維持,。它采用具有LM導(dǎo)向系統(tǒng)和單連桿的內(nèi)部機(jī)構(gòu)，保證高耐用性和長壽命,。二,、L型轉(zhuǎn)移閥。L型轉(zhuǎn)移閥產(chǎn)品由鋁或不銹鋼制造,，其特點(diǎn)是設(shè)計緊湊,，易于維護(hù)。I型和L型轉(zhuǎn)移閥在在閘門開啟和關(guān)閉過程中極大限度地減少了振動,，并且對溫度變化非常穩(wěn)定,，確保了較長的使用壽命。此外,，即使長時間使用柵極,，它們產(chǎn)生的顆粒也很少，從而避免了晶圓缺陷或主器件的污染,。微泰不斷創(chuàng)新,，在開發(fā)先進(jìn)的壓力控制和控制閥制造專業(yè)從事真空閘閥不懈努力,。

微泰半導(dǎo)體閘閥與其他類型閘閥相比，具有以下一些優(yōu)勢：1. 高精度控制：能更精確地調(diào)節(jié)流體流量,。2. 適應(yīng)半導(dǎo)體環(huán)境：對溫度,、真空等條件有更好的適應(yīng)性。3. 低顆粒產(chǎn)生：減少對晶圓等的污染,。4. 長壽命和可靠性：確保穩(wěn)定運(yùn)行,，減少維護(hù)成本。5. 多功能應(yīng)用：可適用于多種半導(dǎo)體工藝設(shè)備,。微泰半導(dǎo)體閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）,、Sputtering（濺射）、Diamond growth by MW-PACVD（通過 MW-PACVD 生長金剛石）,、PECV,、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）,、Coating（涂層）,、Etch（蝕刻）、Diffusion（擴(kuò)散）,、CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,，可替代 HVA 閘閥、VA T閘閥,。該閘閥由上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰咎峁榱吮苊庠陬w粒敏感應(yīng)用中產(chǎn)生顆粒,，滑動閘門機(jī)構(gòu)的設(shè)計旨在避免閥殼處的摩擦,。

微泰半導(dǎo)體閘閥具有諸多特點(diǎn)：其閥門驅(qū)動部分的所有滾子和軸承都經(jīng)過精心防護(hù)處理，形成屏蔽和保護(hù)環(huán)（Shield Blocker 和 Protection Ring）,，通過三重預(yù)防方式有效切斷粉末（Powder）,，從而延長閥門驅(qū)動及使用壽命。該閘閥采用的三重預(yù)防驅(qū)動方式中的 Shield 功能,，能夠出色地防止氣體和粉末侵入閥體內(nèi)部,，同時具備三重保護(hù)驅(qū)動保護(hù)環(huán)，可延長 GV 壽命的 Shield 方法,，并已供應(yīng)給海外半導(dǎo)體 T 公司,、M 公司和 I 公司的 Utility 設(shè)備。此外,，擋板與閥體之間的距離小于 1mm,，能夠強(qiáng)力阻擋內(nèi)部粉末和氣體的流入，屏蔽擋板采用 1.5t AL 材料制成,，充分考慮了其復(fù)原力,，并通過 Viton 粉末熱壓工藝制成,。而三重保護(hù)保護(hù)環(huán)的主要功能則包括：AL 材料的重量減輕和保護(hù)環(huán)內(nèi)部照明的改善、保護(hù)環(huán)內(nèi)部流速的增加以及三元環(huán)的應(yīng)用確保了驅(qū)動性能的提升,。金屬閥體襯里高壓閥門主要有襯膠閥門,、襯氟閥門、襯鉛閥門,、襯塑閥門,、襯搪瓷閥門?？刂崎l閥蝶形控制閥

控制系統(tǒng)和蝶閥使用步進(jìn)電機(jī)操作,，而多定位閘閥使用氣動控制操作。晶圓閘閥蝶形控制閥

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，插板閥,，氣動（鎖定）閘閥和手動（鎖定）閘閥-按產(chǎn)品尺寸和法蘭類型排列-ID為1.5英寸至30英寸，ISO,、CF&JIS和ASA法蘭等-現(xiàn)有手動閘閥的鎖定功能（Exist Manual GV of Locking Function）。微泰氣動（鎖定）閘閥和手動（鎖定）閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,。有中國臺灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績。晶圓閘閥蝶形控制閥