基于能量高度集中,、熱影響區(qū)小,、無飛濺無熔渣,、不需特殊的氣體環(huán)境,、無后續(xù)工藝、雙光子聚合加工精度可達0.7um等優(yōu)勢,，飛秒激光在誘導(dǎo)金屬微結(jié)構(gòu)加工應(yīng)用方面和精細加工方面都取得了很大的進展,。1.孔加工在1mm厚的不銹鋼薄片上，飛秒激光進行了具有深孔邊緣清晰,、表面干凈等特點的納米級深孔加工,；在金屬薄膜上，鈦寶石飛秒激光加工制備出了微納米級陣列孔,，孔徑至小達2.5um,，孔直徑在2.5~10um間可調(diào),，至小間距可達10um,，很容易實現(xiàn)10-50um間距調(diào)整。2.金屬材料表面改性1999年德國漢諾威激光中心Noltes等人報道了結(jié)合鈦寶石飛秒激光三倍頻光（260nm）和SNOM（掃描進場光學顯微鏡）在金屬鎘層制出了線寬200nm的凹槽,。為以后的無孔徑近場掃描光學顯微鏡（ANSOM）取代SNOM奠定了基礎(chǔ),，獲得了高達70nm的空間分辨率，開拓了遠場技術(shù)在納米范圍下的物理化學特性以及運輸機制的研究,。飛秒激光加工設(shè)備是光,、機、電,、自動化技術(shù)為一體的綜合科學,，是一種先進的智能工具。韓國加工飛秒激光掩模板

飛秒激光在模具制造和加工領(lǐng)域中具有廣泛的應(yīng)用,。飛秒激光是一種極短脈沖的激光,，其脈沖寬度通常在飛秒（即百萬億分之一秒）級別。這種特殊的激光特性使得它在刻蝕和加工方面具有很多優(yōu)勢,，特別是在需要高精度和微觀結(jié)構(gòu)的應(yīng)用中,。在模具制造中，飛秒激光可以用來進行微細圖案的刻蝕,，以實現(xiàn)模具表面的精細加工,。飛秒激光刻蝕可以用于：微納米結(jié)構(gòu)的制備：飛秒激光能夠在模具表面刻蝕出微觀甚至納米級別的結(jié)構(gòu)，這些結(jié)構(gòu)可以用于制備微透鏡陣列,、微流體器件,、微型反應(yīng)器等。光學模具加工：飛秒激光可用于加工光學模具表面,，以創(chuàng)建具有復(fù)雜形狀和微觀結(jié)構(gòu)的光學元件,，如透鏡,、光柵等。3.模具表面改性：飛秒激光可以通過表面改性來改善模具的性能,，例如提高表面硬度,、改善耐磨性等。4.模具修復(fù)：當模具表面出現(xiàn)缺陷或磨損時,，飛秒激光也可以用于局部修復(fù),，從而延長模具的使用壽命。上海超精密飛秒激光加工使用飛秒激光可以實現(xiàn)?0.01mm的鉆孔,，并且正在不斷開發(fā)以實現(xiàn)比這更小尺寸的微米級孔,。

我們的超快激光微加工平臺，只需簡單裝夾即可滿足對于單個噴油嘴上多個不同尺寸噴孔的需求,。設(shè)計人員可以輕松改變各個孔的直徑來微調(diào)每個噴孔所產(chǎn)生的噴霧,。擺脫了鉆孔和電火花加工等方法的工藝束縛，從而快速制作噴油器設(shè)計原型并測試新的燃燒方案,。全球?qū)I(yè)GDI噴油嘴廠商多年前就已經(jīng)開始采用飛秒激光加工的這一先進制造方案,，并通過多次檢測證明通過此方案生產(chǎn)的噴油嘴流量誤差可以控制在1%以內(nèi)。相較其他加工技術(shù)流量誤差在3%以上,，飛秒激光技術(shù)所帶來的穩(wěn)定性優(yōu)勢尤為明顯,。市面上已經(jīng)出現(xiàn)此類的批量生產(chǎn)機型，微孔檢測+激光鉆噴孔或機械鉆盲孔+激光鉆噴孔是該機型的兩款衍生機型,，滿足客戶的各種工藝需求,，是專為GDI大批量生產(chǎn)提供的全自動化的交鑰匙解決方案。目前,，這些超快激光微孔加工解決方案正在世界各地的工廠工作,，協(xié)助汽車制造商生產(chǎn)出高效的噴油器，提高發(fā)動機性能,，并滿足管理機構(gòu)嚴格的排放要求,。

不只是汽車行業(yè)的噴油器微孔，微細小型化是當下的一個明顯趨勢,，迫使各行業(yè)的制造商去挑戰(zhàn)精密微細零件的生產(chǎn),，并有效控制每個零件的生產(chǎn)成本。1）工作空間的有效利用：航空航天應(yīng)用的理想選擇高成本效益的發(fā)動機葉片和燃燒室內(nèi)襯的鉆孔和成型是MicrolutionML-10的特長領(lǐng)域,，該解決方案是根據(jù)航空航天業(yè)的需求而設(shè)計的,。其占地面積小，可以有效降低每平方米的生產(chǎn)成本,。該機床內(nèi)嵌光學相干斷層成像(OCT)系統(tǒng),，允許非接觸式測量、穿透檢測/深度跟蹤、形狀分析和燒蝕實時監(jiān)測,，眾多益處觸手可得,。2）簡化醫(yī)用管材切割的復(fù)雜加工過程使用超快MLTC激光管材切割平臺可以消除大部分甚至所有的后續(xù)加工步驟。這一用于醫(yī)療設(shè)備行業(yè)及其他應(yīng)用的解決方案的特點是能夠以極高的精度快速準確地加工金屬和聚合物管材,。飛秒激光加工3）實現(xiàn)優(yōu)異的邊緣和表面質(zhì)量以及筆直的側(cè)壁創(chuàng)造獨特的形狀,，如負錐度孔、變形孔（包括圓形入口和橢圓形出口）,、星形圖案等,。由于該解決方案采用五軸掃描測頭，可以加工出在機械設(shè)備上不可能實現(xiàn)的形狀,。飛秒激光主要應(yīng)用領(lǐng)域集中在脆性材料加工,，諸如手機LCD屏異形切割、手機攝像頭藍寶石蓋板切割等,。

在氮化硅領(lǐng)域,，飛秒激光技術(shù)已經(jīng)被廣泛應(yīng)用于各種應(yīng)用場景，包括微加工,、光學元件制造,、半導(dǎo)體加工等。例如,，飛秒激光可以用于制作微型通孔,、槽道,、芯片切割等高精度加工任務(wù),。在光學領(lǐng)域，飛秒激光還可以用于制作具有復(fù)雜結(jié)構(gòu)的光學器件,，如光波導(dǎo),、光柵等。另外,，在半導(dǎo)體工業(yè)中,，飛秒激光也可以用于修復(fù)芯片表面缺陷、切割硅片等工藝,。飛秒激光切割和打孔技術(shù)為氮化硅等高硬度材料的加工提供了一種高效,、精密且無損傷的解決方案，有望在未來得到更廣泛的應(yīng)用,。對于飛秒激光而言,，脈沖作用時間已經(jīng)實際小于1 ps，電子沒有足夠的時間將能量傳遞給晶格,。上海微米級飛秒激光精密噴嘴

飛秒激光是指時域脈沖寬度在飛秒（10-15秒）量級的激光,，在時間分辨率上屬于超快激光（ultra-fast laser）。韓國加工飛秒激光掩模板

秒激光在鉬片上打沉頭孔的應(yīng)用鉬片作為一種重要的工業(yè)材料，具有高熔點,、高導(dǎo)電,、高導(dǎo)熱等優(yōu)良性能，廣泛應(yīng)用于電子,、能源,、航空航天等領(lǐng)域。在鉬片上打沉頭孔是鉬片加工中的一項重要技術(shù),，傳統(tǒng)的加工方式存在加工效率低下,、精度不高等問題。而飛秒激光技術(shù)在鉬片上打沉頭孔的應(yīng)用,，則可以很好地解決這些問題,。飛秒激光在鉬片上打沉頭孔的原理是利用飛秒激光的超快、超短,、高能束的特點,，在極短時間內(nèi)對鉬片進行加工，形成所需的沉頭孔,。加工過程中,，飛秒激光的能量被精確地控制，避免了熱影響和熱損傷等問題,，保證了加工質(zhì)量和精度,。同時，飛秒激光加工速度極快,，可以大幅提高加工效率,。韓國加工飛秒激光掩模板