微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥,，多定位閘閥。多定位閘閥是一種利用壓縮空氣或氮?dú)饪刂崎l閥位置的閥門,。它在閥門的頂部有一個內(nèi)置控制器,，可以在本地和遠(yuǎn)程模式下操作。它還具有緊急關(guān)閉功能,，以應(yīng)對泵停止或CDA壓縮干空氣丟失的情況,。其特點(diǎn)之一是能夠遠(yuǎn)程檢查閥門狀態(tài)，并可用于具有不同法蘭類型的各種工藝,。多定位閘閥具有可隔離的閘閥,，以滑動方式操作，適用于需要壓力控制的所有加工領(lǐng)域,。采用手動調(diào)節(jié)控制裝置控制,，用戶可直接控制閘門的開啟和關(guān)閉，以調(diào)節(jié)壓力。微泰半導(dǎo)體多定位閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）,、Sputtering（濺射）,、Diamond growth by MW-PACVD（通過 MW-PACVD 生長金剛石）、PECV,、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）、Coating（涂層）,、Etch（蝕刻）,、Diffusion（擴(kuò)散）、CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上,，可替代 HVA 閘閥,、VA T閘閥。有中國臺灣Micron,、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,。該閘閥由上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰咎峁Ｎ⑻┛刂葡到y(tǒng)閥門是安裝在半導(dǎo)體CVD設(shè)備中的主要閥門,?？刂葡到y(tǒng)閥門起到調(diào)節(jié)腔內(nèi)壓力的作用。超高壓閘閥英菲尼亞半導(dǎo)體

半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的解決方案,，真空插板閥品牌—微泰,。控制系統(tǒng)閥門是安裝在半導(dǎo)體? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備中的主要閥門,。控制系統(tǒng)閥門起到調(diào)節(jié)腔內(nèi)壓力的作用,，通過控制系統(tǒng)自動調(diào)節(jié)閘板的開啟和關(guān)閉,。精確控制腔內(nèi)壓力的閥門分為三類：控制系統(tǒng)閘閥、蝶閥,、多定位閘閥,。控制系統(tǒng)和蝶閥使用步進(jìn)電機(jī)操作,，而多定位閘閥,、多位置閘閥使用氣動控制操作,。有中國臺灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績,。多定位閘閥閘板閥閘閥的結(jié)構(gòu)比較簡單,，一般由閥體、閥座,、閥桿,、閘板、閥蓋,、密封圈幾部分組成,。

微泰半導(dǎo)體閘閥具有諸多特點(diǎn)：其閥門驅(qū)動部分的所有滾子和軸承都經(jīng)過精心防護(hù)處理，形成屏蔽和保護(hù)環(huán)（Shield Blocker 和 Protection Ring）,，通過三重預(yù)防方式有效切斷粉末（Powder）,，從而延長閥門驅(qū)動及使用壽命。該閘閥采用的三重預(yù)防驅(qū)動方式中的 Shield 功能,，能夠出色地防止氣體和粉末侵入閥體內(nèi)部,，同時具備三重保護(hù)驅(qū)動保護(hù)環(huán)，可延長 GV 壽命的 Shield 方法,，并已供應(yīng)給海外半導(dǎo)體 T 公司,、M 公司和 I 公司的 Utility 設(shè)備。此外,，擋板與閥體之間的距離小于 1mm,，能夠強(qiáng)力阻擋內(nèi)部粉末和氣體的流入，屏蔽擋板采用 1.5t AL 材料制成,，充分考慮了其復(fù)原力,，并通過 Viton 粉末熱壓工藝制成。而三重保護(hù)保護(hù)環(huán)的主要功能則包括：AL 材料的重量減輕和保護(hù)環(huán)內(nèi)部照明的改善,、保護(hù)環(huán)內(nèi)部流速的增加以及三元環(huán)的應(yīng)用確保了驅(qū)動性能的提升,。

微泰轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng)。它充當(dāng)將位于工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的溝槽,。此外,，它極大限度地減少了由于閘板打開和關(guān)閉造成的真空壓力變化，使腔室內(nèi)的真空壓力得以維持,。負(fù)責(zé)門控半導(dǎo)體晶圓轉(zhuǎn)移的轉(zhuǎn)移閥分為兩種類型:I型和L型,。一,、I型轉(zhuǎn)移閥。I型轉(zhuǎn)移閥產(chǎn)品由鋁或不銹鋼制成,，用于傳輸晶圓小于450毫米的半導(dǎo)體系統(tǒng)和隔離工藝室,。本型的特點(diǎn)是葉片在垂直方向上快速移動，確保完美的腔室壓力維持,。它采用具有LM導(dǎo)向系統(tǒng)和單連桿的內(nèi)部機(jī)構(gòu),，保證高耐用性和長壽命。二,、L型轉(zhuǎn)移閥,。L型轉(zhuǎn)移閥產(chǎn)品由鋁或不銹鋼制造，其特點(diǎn)是設(shè)計(jì)緊湊,，易于維護(hù),。L型轉(zhuǎn)移閥的特點(diǎn)是閘門在兩個階段從垂直到水平方向移動，確保完美的腔室壓力維護(hù),。它的內(nèi)部機(jī)構(gòu),，包括一個LM導(dǎo)向系統(tǒng)和滯留彈簧和楔形營地結(jié)構(gòu)，保證了高耐用性和長壽命,，同時提供穩(wěn)定和精確的運(yùn)動,。I型和L型轉(zhuǎn)移閥在在閘門開啟和關(guān)閉過程中極大限度地減少了振動，并且對溫度變化非常穩(wěn)定,，確保了較長的使用壽命,。此外，即使長時間使用柵極,，它們產(chǎn)生的顆粒也很少,，從而避免了晶圓缺陷或主器件的污染。微泰不斷創(chuàng)新,，在開發(fā)先進(jìn)的壓力控制和控制閥制造專業(yè)從事真空閘閥不懈努力,。微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥，三重防護(hù)閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）等設(shè)備,。

微泰,，多位閘閥，多位置閘閥,，多定位閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群,、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上?？商娲鶹AT閘閥,。微泰多位閘閥，多位置閘閥,，多定位閘閥其特點(diǎn)是?操作模式：本地和遠(yuǎn)程?緊急情況：自動關(guān)閉?慢速泵送功能,。多位閘閥,，多位置閘閥，多定位閘閥規(guī)格如下：材料：閥體 STS304,， 機(jī)制 STS304,、法蘭尺寸(內(nèi)徑) 4英寸~10英寸、閘門密封 FKM(VITON),、開/關(guān)振動 無振動,、He泄漏率1X10-9 mbar.l/sec、閘門壓差 ≤1.4 bar,、分子流動電導(dǎo)（ISO100）1891 l/s,、閥座 1X10-10 mbar?L/秒、泄漏率閥體 1X10-10 mbar?L/Sec,、壓力范圍 1X10-10mbar 至 1.4 bar、閘門上任一方向的壓差≤1.4 bar,、安裝位置：任意,。有中國臺灣Micron、UMC,、AKT,、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體,、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績，上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰尽?閘閥流動阻力小,。閥體內(nèi)部介質(zhì)通道是直通的,，介質(zhì)成直線流動，流動阻力小,?；瘜W(xué)氣相沉積閘閥I型轉(zhuǎn)移閥

控制系統(tǒng)和蝶閥使用步進(jìn)電機(jī)操作,，而多定位閘閥使用氣動控制操作,。超高壓閘閥英菲尼亞半導(dǎo)體

微泰高壓閘閥可以應(yīng)用于多種設(shè)備，如蒸發(fā),、濺射,、金剛石生長、PECV,、PVD集群、卷對卷,、涂層、蝕刻,、擴(kuò)散和CVD等。它具有陶瓷球機(jī)構(gòu)產(chǎn)生的低顆粒和易于維護(hù)等特點(diǎn),，可替代VAT閘閥。該閥門的規(guī)格包括手動或氣動驅(qū)動方式,、1.5英寸至14英寸的法蘭尺寸、CF法蘭類型,、焊接波紋管連接方式、氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM閥門密封,、氟橡膠O型圈閥蓋密封、≤2秒響應(yīng)時間,、1.5?至6?的操作壓力范圍為1×10-10 mbar至1400 mbar，8?至14?的操作壓力范圍為1×10-10 mbar至1200 mbar,、≤30 mbar的開始時壓差、≤1400 mbar的6?以下閘門差動壓力和≤1200 mbar的8?至14?閘門差動壓力,、<1×10 -10 Mbar/秒的泄漏率、250,000次維護(hù)前可用次數(shù),、閥體溫度≤200°、機(jī)構(gòu)溫度≤80°C,、烤爐溫度≤150°C、閥體不銹鋼304或316L和驅(qū)動器鋁6061陽極氧化,、任意安裝位置和4至7 bar的N2操作壓力,。此外,，微泰高壓閘閥已在中國臺灣Micron、UMC,、AKT、新加坡Micron,Global Foundries,、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron,、三星半導(dǎo)體和其他設(shè)備上得到應(yīng)用。如果您需要了解更多關(guān)于微泰高壓閘閥的信息,，請聯(lián)系上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰尽３邏洪l閥英菲尼亞半導(dǎo)體